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公开(公告)号：CN118231202A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410352513.2
申请日：2024-03-26
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明公开了一种皮秒超快超短脉冲电子枪，包括光激励部件、脉冲电子束发射部件、真空外壳和电极线；光激励部件包括超快激光器、反射镜；脉冲电子束发射部件包括阴极结构、栅极结构和阳极结构；阴极结构、栅极结构、阳极结构、反射镜形成一个整体置于真空外壳中；栅极结构、阳极结构依次与阴极结构相向设置，并相互隔开，形成真空间隙结构；阴极结构设有冷阴极；栅极结构、阳极结构的中心分别设有第一通孔、第二通孔；反射镜设置在真空外壳中，且与阳极结构相向设置，并位于阳极结构远离栅极结构的一侧；反射镜的中心开设有第三通孔，且第一通孔、第二通孔、第三通孔和阴极结构中心处于同一水平线上。本发明具有功耗低、效率高、尺寸小、响应速度快、可集成的特点。
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公开(公告)号：CN109690287B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201780035894.X
申请日：2017-04-09
Applicant: WI-电荷有限公司
Abstract: 引入了安全性特征的用于向接收器进行光学功率传输的系统，其包括：具有末端反射器和增益介质的光学谐振腔、向增益介质供应功率并且控制其小的信号增益的驱动器、波束转向装置和控制至少波束转向装置和驱动器的控制器。控制器通过输出命令以改变增益介质的小的信号增益、光束的辐射亮度、由该驱动器供应的功率、波束转向装置的扫描速度或扫描方向和位置中的至少一部分，或者记录确定所述光电功率变换器的位置的扫描姿态，从而响应在该系统中出现的安全性风险。控制器还可以确保高的总体辐射效率，并且可以警告并非由目标接收器接收的传输功率。
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公开(公告)号：CN114664614A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210262772.7
申请日：2022-03-17
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本申请公开了一种电子枪，所述电子枪包括：电子源、栅极和阳极，所述电子源用于出射电子束；所述电子源朝向所述栅极和所述阳极的一侧具有微凸起结构，所述微凸起结构在电场的作用下具有自汇聚的透镜效果，用于减小所述电子束的发散角；所述栅极用于对所述电子源施加预设电压，以使得所述电子源出射的电子束局限在所述微凸起结构上产生，减小所述电子束的发散角；其中，所述栅极具有第一通孔，所述微凸起结构和所述第一通孔相对设置，以使得所述电子束通过所述第一通孔入射至所述阳极上，减小所述电子束的交叉点直径。应用本申请提供的技术方案，通过采用具有微凸起结构的电子源，可以获得自汇聚的电子束，减小电子束的发散角。
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公开(公告)号：CN110534385A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910857590.2
申请日：2019-09-09
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: H01J3/14
Abstract: 本发明提供了一种具有整体膜电极棒的电四极透镜组，包括四根沿轴向尺寸一致的柱形电极棒和至少两个固定电极棒的固定板，所述固定板表面具有四个排列成菱形的固定孔和处于四个固定孔中心的束流通孔；所述电极棒轴向与固定板表面垂直固定于所述固定孔内；所述电极棒由绝缘材料制成，电极棒表面沿轴向具有至少两段间隔布置且宽度相等的导电膜，沿电极棒径向看，四个电极棒上的每一段导电膜的两端分别对齐。本发明提供的具有整体膜电极棒的电四极透镜组的优点在于：通过在绝缘电极棒上镀膜形成多段膜电极，使用固定板固定电极棒，确保前后单元透镜的中心轴绝对同轴，提高透镜组的聚焦性能和束流品质，简化了透镜组的结构和安装工艺，便于制造和推广。
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公开(公告)号：CN106601573B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710060856.1
申请日：2017-01-25
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提供一种电磁辐射源，利用电子枪产生环形电子注，利用靠近电子枪一侧的第一光栅使所述电子枪产生的环形电子注产生预群聚，利用靠近与电子枪对应的收集极一侧的第二光栅使群聚的电子团产生相干的特异史密斯‑帕赛尔(Smith‑Purcell)辐射，辐射频率为电子团群聚频率的5到6倍，该辐射频率在太赫兹频段，特异史密斯‑帕赛尔辐射的电磁辐射强度比普通史密斯‑帕赛尔辐射强度高一到两个数量级，因而利用该方法能够产生具有高辐射频率和高辐射强度的太赫兹频段的电磁波。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106601573A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710060856.1
申请日：2017-01-25
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提供一种电磁辐射源，利用电子枪产生环形电子注，利用靠近电子枪一侧的第一光栅使所述电子枪产生的环形电子注产生预群聚，利用靠近与电子枪对应的收集极一侧的第二光栅使群聚的电子团产生相干的特异史密斯‑帕赛尔(Smith‑Purcell)辐射，辐射频率为电子团群聚频率的5到6倍，该辐射频率在太赫兹频段，特异史密斯‑帕赛尔辐射的电磁辐射强度比普通史密斯‑帕赛尔辐射强度高一到两个数量级，因而利用该方法能够产生具有高辐射频率和高辐射强度的太赫兹频段的电磁波。
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公开(公告)号：CN103578886A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310559937.8
申请日：2013-11-12
Applicant: 陆振民
Abstract: 本发明公开了一种电磁波发生装置，包括发生电子的电子发生部；供电子发生部入射电子的入射部；在入射部内设置有拦截入射电子并改变入射电子行进方向的变向部，和改变所述入射电子速度与行进方向的导向部，导向部远离电子发生部的一端为阳极端。本发明提供了一种电磁波发生装置，通过电子在入射部内的多次变向，使电子在入射部内行进的过程中，能够更加的集聚，从而使电子在离开入射部后能够相对集中的集聚到一个区域内，从而增加该区域单位面积内所接收的电子数量。
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公开(公告)号：CN102037536A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200980118442.3
申请日：2009-05-15
Applicant: 克伦普集团股份有限公司
IPC: H01J3/14
CPC classification number: G06T3/00 , G01N1/286 , G01N2001/061 , G01N2001/366 , G06T17/10
Abstract: 用于部件的横截面扫描的改进方法和装置采用其中扫描装置的焦平面从不沿垂向方向、即部件/封装组合的台架移动的方向移动的扫描工位。材料去除和扫描的不同步骤与去除表面层之后沿垂向方向移动部件/封装组合，因此将新形成的表面放回不移动焦平面进行下次扫描步骤的中间步骤交替进行。去除工位(不是承载部件/封装组合的台架)在扫描步骤之间重复移入和移出扫描工位的视野。材料去除工位具体构造成去除所要求的部件/封装组合的表面层和形成的碎屑，而无需先前商业应用中独立的环境特性。
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公开(公告)号：CN101438368A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680047932.5
申请日：2006-12-06
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·J·罗 , 乔纳森·G·英格兰 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/18 , H01J37/302 , H01J37/3023 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/1503 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/30488 , H01J2237/31705 , H01L21/266
Abstract: 本发明揭示用于防止寄生的子波束影响离子植入的技术。在一个特定的示范性实施例中，所述技术可实现为一种用于防止寄生的子波束影响离子植入的设备。所述设备可包括经配置以来回地扫描点波束进而形成横跨预定宽度的离子波束的控制器。所述设备还可包括小孔机构，其在保持固定时允许点波束穿过。所述设备可进一步包括同步机构，其耦合到控制器和小孔机构，且经配置以致使小孔机构与经扫描的点波束同步地移动，从而允许经扫描的点波束穿过，但阻挡与点波束相关联的一个或一个以上寄生的子波束。
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公开(公告)号：CN1254382C
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN01818608.4
申请日：2001-10-26
Applicant: 莱克斯马克国际公司
IPC: B41J2/385 , B41J2/435 , B41J2/45 , B41J15/14 , B41J27/00 , G03G13/04 , H01J3/14 , H01J5/16 , H01J40/14 , G03B27/00
CPC classification number: G03G15/326 , G03G15/04072 , G03G2215/0119 , G03G2215/0404
Abstract: 一种成像装置(10)，它包括一个机架(66)，一个容纳产生激光束(38)的打印头(12)的打印头外壳(68)，以及一个位置传感装置(70)。该位置传感装置包括一个位置传感装置构架(72)和一个用于检测激光束位置的位置传感器(56)。该激光传感装置构架被插入该机架和打印头外壳之间。机架、打印头外壳和位置传感装置构架中的每一个都包括至少一个定位部件，其组合起来相对于机架精确定位打印头外壳的位置。
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