中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

423 records (took 0.02 seconds)

    Tem-lamella, process for manufacturing the same, and apparatus executing the process
    391.
    发明专利
    Tem-lamella, process for manufacturing the same, and apparatus executing the process 有权
    TEM-LAMELLA，其制造方法以及执行该方法的装置

    公开(公告)号：JP2012042461A

    公开(公告)日：2012-03-01

    申请号：JP2011167687

    申请日：2011-07-29

    Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  Universitaet Ulm ,  ウニヴェルズィテート・ウルム ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

    Inventor： LORENZ LECHNER ,  KAISER UTE ,  BISKUPEK JOHANNES

    IPC: G01N23/225 ,  H01J37/20

    CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24479

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a material sample (TEM-"lamella") suitable for transmission electron microscopy (TEM) studies and in particular an HRTEM-lamella (HR means high resolution), a process for manufacturing the same, and an apparatus for executing the process.SOLUTION: The process for manufacturing a TEM-lamella comprises: a step (S1) of mounting a substrate having a thickness on a support; a step (S3) of manufacturing a first strip-shaped recess on a first side of the substrate at a first angle to the support by using a particle beam; and a step (S5) of manufacturing a second strip-shaped recess on a second side of the substrate at a second angle to the support by using the particle beam. The first and the second strip-shaped recess are manufactured so as to form a thin overlap region. The lamella has a thick rim region and a thin central region, has the first strip-shaped recess on a first flat surface thereof, and has the second strip-shaped recess on a second flat surface thereof. The first and the second strip-shaped recess mutually form an acute or right angle.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供适用于透射电子显微镜（TEM）研究，特别是HRTEM薄片（HR表示高分辨率）的材料样品（TEM-“薄片”），其制造方法， 以及用于执行该过程的装置。 解决方案：制造TEM片的方法包括：将具有厚度的衬底安装在支撑件上的步骤（S1） 通过使用粒子束以与支撑体成一定角度的方式在基板的第一侧上制造第一带状凹部的步骤（S3） 以及通过使用所述粒子束以与支撑体成第二角度在基板的第二侧上制造第二带状凹部的步骤（S5）。 制造第一和第二条形凹部以形成薄的重叠区域。 薄片具有厚的边缘区域和薄的中心区域，在其第一平坦表面上具有第一条形凹部，并且在其第二平坦表面上具有第二条形凹部。 第一和第二条形凹槽相互形成锐角或直角。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

    Transmission electron microscope apparatus having electron spectroscope, sample holder, sample stage, and method for acquiring spectral image
    392.
    发明专利
    Transmission electron microscope apparatus having electron spectroscope, sample holder, sample stage, and method for acquiring spectral image 有权
    具有电子光谱的传输电子显微镜装置，样品架，样品台和获取光谱图像的方法

    公开(公告)号：JP2010009943A

    公开(公告)日：2010-01-14

    申请号：JP2008168044

    申请日：2008-06-27

    Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： TERADA SHOHEI ,  TANIGUCHI YOSHIFUMI

    IPC: H01J37/28 ,  G01N23/04

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transmission electron microscope apparatus, a sample holder, a sample stage and a method for acquiring a spectral image, capable of acquiring the spectral image from a plurality of pieces of samples simultaneously, and measuring a chemical shift of high precision from an electron energy loss spectrum extracted from the spectral image. SOLUTION: The transmission electron microscope apparatus 1 is equipped with an electron gun to emit an electron beam 3, a convergence lens 4 to converge the emitted electron beam 3, a plurality of pieces of sample stages 20, 21 wherein the converged electron beam 3 is irradiated and the samples are arranged, a sample movement control device 22 to move the sample stands, an imaging lens system 7 to image with the electron beam 3 transmitted through a plurality of pieces of samples, an electron spectroscope 8 to spectroscope the electron beam 3 from an energy amount which the imaging electron beam 3 has and to output the spectral image in which convergence positions are made different between an energy dispersion axis and a direction orthogonal to the energy dispersion axis to acquire the spectral image from the plurality numbers of pieces of samples simultaneously, and an image display device 14 to display the acquired spectral image. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够同时从多个样本获取光谱图像的透射电子显微镜装置，样品架，样品台和用于获取光谱图像的方法，并测量 从光谱图像中提取的电子能量损失谱的高精度化学位移。

    解决方案：透射电子显微镜装置1配备有发射电子束3的电子枪，会聚发射电子束3的会聚透镜4，多个样品台20,21，其中会聚电子 光束3被照射并且样本被布置，样品运动控制装置22移动样品台，成像透镜系统7与通过多个样品透射的电子束3成像，电子分光镜8分析 从成像电子束3所具有的能量的电子束3输出会聚位置的能量色散轴与与能量色散轴正交的方向不同的光谱图像，以从多个数字获取光谱图像 的图像显示装置14，显示所采集的光谱图像。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

    Device and method of conveying sample
    393.
    发明专利
    Device and method of conveying sample 有权
    输送样品的装置和方法

    公开(公告)号：JP2008218466A

    公开(公告)日：2008-09-18

    申请号：JP2007049618

    申请日：2007-02-28

    Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： GUNJI TAKESHI ,  SATO HIDETOSHI ,  KAWAKAMI KATSUYA ,  YATABE HIDEKI

    IPC: H01L21/677

    CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/2817 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conveying device of a mini-environment system efficiently conveying a sample to a scanning electron microscope for critical dimension measuring, even when an SMIF-pod (standard mechanical interface-pod) housing only one piece of photomask is used.
    SOLUTION: A storage box capable of housing a plurality of photomasks is provided differently from a load port on a conveying device of a mini-environment system. A mask housing shelf having a plurality of housing units stacked thereon is provided in the storing box, and each of the housing units houses one piece of photomask. Each of the housing units is provided with a sensor for determining whether the photomask is correctly housed. Further, each of the housing units is provided with a sensor for detecting the presence or absence of the photomask.
    COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：为了提供微型环境系统的输送装置，有效地将样品传送到用于临界尺寸测量的扫描电子显微镜，即使当仅容纳一件的SMIF-荚（标准机械接口 - 荚） 的光掩模。 解决方案：能够容纳多个光掩模的存储盒与微型环境系统的输送装置上的负载端口不同。 在收容箱内设置有多个容纳单元的面罩外壳架，并且每个壳体单元容纳一片光掩模。 每个壳体单元设置有用于确定光掩模是否被正确容纳的传感器。 此外，每个壳体单元设置有用于检测光掩模的存在或不存在的传感器。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

    使用條狀和點狀離子束之離子植入裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR ION BEAM IMPLANTATION USING RIBBON AND SPOT BEAMS
    395.
    发明专利
    使用條狀和點狀離子束之離子植入裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR ION BEAM IMPLANTATION USING RIBBON AND SPOT BEAMS 有权
    使用条状和点状离子束之离子植入设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR ION BEAM IMPLANTATION USING RIBBON AND SPOT BEAMS

    公开(公告)号：TWI363363B

    公开(公告)日：2012-05-01

    申请号：TW096121211

    申请日：2007-06-12

    Applicant: 漢辰科技股份有限公司

    Inventor： 陳炯

    IPC: H01J

    CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/1472 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1503 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701

    Abstract: 一種離子植入裝置其係揭露具有多段操作模式，離子植入裝置具有離子源及離子分析裝置以汲取出帶狀離子束。離子植入裝置包含磁體分析裝置以選擇具有特定質譜分析比的離子通過一質量狹縫以投射於基材上，多極透鏡提供控制離子束均勻度及對準性。本發明揭露兩個路徑的離子束，而其第二個路徑整合一可過濾能量的減速或加速系統。最後植入的方法係揭露對靶材的一維掃瞄轉換至二維掃瞄的植入模式。

    Abstract in simplified Chinese: 一种离子植入设备其系揭露具有多段操作模式，离子植入设备具有离子源及离子分析设备以汲取出带状离子束。离子植入设备包含磁体分析设备以选择具有特定质谱分析比的离子通过一质量狭缝以投射于基材上，多极透镜提供控制离子束均匀度及对准性。本发明揭露两个路径的离子束，而其第二个路径集成一可过滤能量的减速或加速系统。最后植入的方法系揭露对靶材的一维扫瞄转换至二维扫瞄的植入模式。

    半導体装置の製造方法、半導体製造装置
    399.
    发明专利
    半導体装置の製造方法、半導体製造装置 有权
    制造半导体装置，半导体制造装置的方法

    公开(公告)号：JPWO2014049696A1

    公开(公告)日：2016-08-22

    申请号：JP2014537877

    申请日：2012-09-26

    Applicant: 三菱電機株式会社

    Inventor： 知秀 寺島 ,  知秀 寺島 ,  康博 吉浦 ,  康博 吉浦 ,  詠子 大月 ,  詠子 大月

    IPC: H01L21/02 ,  H01J37/30 ,  H01L21/683

    CPC classification number: H01L21/263 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/317 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/68

    Abstract: 本願の発明にかかる半導体装置の製造方法は、複数の被処理物を、第1トレイの上と、該第1トレイと接する第2トレイの上に並べる工程と、該第1トレイと該第2トレイが接する接触位置の直上に形成された照射装置から照射物を放出しつつ、該照射装置を該接触位置を横断する方向である第1の方向に沿ってスイングさせ、該第1トレイと該第2トレイを該第1の方向と垂直をなす第2の方向に移動させることで該複数の被処理物に該照射物を照射することを複数回繰り返す複数の照射工程と、該複数の照射工程の間に少なくとも1回実施される、該第1トレイと該第2トレイの該第2の方向に向かう向きを変更せずに該第1トレイと該第2トレイの位置を入れ替える入替工程と、を備える。

    Abstract translation: 制造根据本发明的一个方面，多个工件，上第一托盘上第二盘接触配置第一托盘的一个步骤中，第一托盘和第二半导体器件的方法中 而从直接形成在接触的接触位置的托架照射装置照射释放，照射装置沿横向于接触位置时，第一托盘的第一方向摆动，并且所述 多个照射步骤是通过在第二方向上移动第二托盘垂直所述第一形成方向重复多次照射照射对象的加工对象物的多个，该多个的照射 它的过程中至少进行一次，工序替换互换第一托盘和不朝向所述第一托盘和第二方向的第二托盘改变方向的第二托盘位置 ，包括：a。

Patent Agency Ranking