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    다중파장 광 전송 시스템에서 광 신호 성능 측정 장치 및그 방법
    451.
    发明授权
    다중파장 광 전송 시스템에서 광 신호 성능 측정 장치 및그 방법 失效
    다중파장광전송시스템에서광신호성능측정장치및그방

    公开(公告)号：KR100445905B1

    公开(公告)日：2004-08-25

    申请号：KR1020010078955

    申请日：2001-12-13

    Applicant: 한국전자통신연구원

    Inventor： 윤지욱 ,  김광준

    IPC: H04B10/07 ,  H04B10/25

    CPC classification number: H04B10/07953 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G02B6/2706 ,  G02B6/2766 ,  G02B6/2793 ,  G02B6/2931 ,  G02B6/29385 ,  G02B6/4215 ,  H04B10/077 ,  H04B10/07955 ,  H04B10/07957

    Abstract: An optical signal performance monitoring apparatus in a multi-channel optical transmission system and a method for monitoring the optical signal performance. The optical signal performance monitoring apparatus in the multi-channel optical transmission system includes an optical input unit for controlling the spot size of an inputted multi-channel optical signal and generating a 1 multi-channel beam; a diffraction and reflection unit for diffracting and reflecting the 1 multi-channel beam; and generating a 2 multi-channel beam which is divided by wavelength and is in parallel with the 1 multi-channel beam; an optical collimation and concentration unit for collimating the 1 multi-channel beam and concentrating the 2 multi-channel beam which is divided by wavelength; and an optical detection unit for measuring the intensity of the 2 multi-channel beam focused by wavelength, and measuring the optical signal-to-noise ratio by measuring the optical intensity corresponding to each wavelength and an amplified spontaneous emission (ASE) noise strength at a point between optical signals.

    Abstract translation: 一种多信道光传输系统中的光信号性能监测装置和监测光信号性能的方法。 多信道光传输系统中的光信号性能监测装置包括：光输入单元，用于控制输入的多信道光信号的光点大小并生成第一多信道波束; 衍射和反射单元，用于衍射和反射第一多通道光束; 以及产生第二多通道波束，该第二多通道波束被波长划分并与第一多通道波束平行; 用于准直第一多通道光束并聚集被波长分开的第二多通道光束的光学准直和聚集单元; 以及光学检测单元，用于测量通过波长聚焦的第二多通道光束的强度，并且通过测量对应于每个波长的光强度和放大的自发发射（ASE）来测量光学信噪比 ）在光信号之间的点处的噪声强度。

    구동수단을 갖는 분광 광도계와 광도 측정방법
    452.
    发明授权
    구동수단을 갖는 분광 광도계와 광도 측정방법 失效
    구동수단을갖는분광광도계와광도측정방법

    公开(公告)号：KR100385563B1

    公开(公告)日：2003-05-27

    申请号：KR1020000072556

    申请日：2000-12-01

    Applicant: 한국과학기술원

    Inventor： 김수현 ,  김경찬 ,  오세백

    IPC: G01N21/31

    CPC classification number: G01J3/2803

    Abstract: A spectrophotometer and spectrophotometry, using a precision drive means at the photodiode array, is disclosed. The drive means precisely moves the photodiode array by a distance equal to the physical interval between the photodiodes of the photodiode array. Therefore, the spectrophotometer and spectrophotometry of this invention primarily measures light intensities of incident light by the photodiode array, and precisely moves the photodiode array using the drive means by the distance equal to the physical interval between photodiodes of the photodiode array, and measures the light intensities of the incident light at desired positions corresponding to the intervals.

    Abstract translation: 公开了在光电二极管阵列处使用精确驱动装置的分光光度计和分光光度测量法。 驱动装置精确地将光电二极管阵列移动等于光电二极管阵列的光电二极管之间的物理间隔的距离。 因此，本发明的分光光度计和分光光度测量法主要通过光电二极管阵列测量入射光的光强度，并使用驱动装置使光电二极管阵列精确移动与光电二极管阵列的光电二极管之间的物理间隔相等的距离，并测量光 入射光在对应于间隔的期望位置处的强度。

    다중 슬릿을 이용한 분광 측정 방법과 이를 이용한 다중채널 분광기
    453.
    发明公开
    다중 슬릿을 이용한 분광 측정 방법과 이를 이용한 다중채널 분광기 无效
    使用多个狭缝和多通道光谱测量光谱的方法

    公开(公告)号：KR1020020013061A

    公开(公告)日：2002-02-20

    申请号：KR1020000046419

    申请日：2000-08-10

    Applicant: 유일정공 주식회사

    Inventor： 지봉일 ,  최종수

    IPC: G02B27/10

    CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/04 ,  G01J3/20 ,  G01J3/36

    Abstract: PURPOSE: A method for measuring spectrum using a multi slit, and a multi channel spectroscope using the same are provided, which can make it easy to control a position of optical components like a detection member and a slit, and also to control a position of a measured light. CONSTITUTION: The multi channel spectroscope(1) has an optical part(10) controlling a path and a position of a measured light(2) incident on the spectroscope, a detection part(20) measuring a wavelength and a path of the incident measured light, and a control part(30) generating measured data on the basis of the optical information measured from the detection part. The measured light from a light source(4) is incident on the inside of the spectroscope through a focusing lens(12a). Then, a focus of the incident light is focused on a multi slit(14), and the focus on the multi slit is detected by a CCD camera(12b), and then a focus controller(12c) checks whether the incident light is focused on the multi slit accurately. If the incident light is not focused accurately on the multi slit, the focus controller moves a focus lens(14a) by operating a movement unit(14d) prepared in the focus lens.

    Abstract translation: 目的：提供一种使用多缝测量光谱的方法和使用该狭缝的多通道光谱仪，其可以容易地控制诸如检测部件和狭缝的光学部件的位置，并且还可以控制位置 一个测量的光。 构成：多通道光谱仪（1）具有控制入射到分光镜上的测量光（2）的路径和位置的光学部件（10），测量入射的入射波长和路径的检测部件（20） 光和控制部分（30），其根据从检测部分测量的光学信息产生测量数据。 来自光源（4）的测量光通过聚焦透镜（12a）入射到分光镜的内部。 然后，入射光的焦点聚焦在多狭缝（14）上，并且通过CCD照相机（12b）检测多缝的聚焦，然后聚焦控制器（12c）检查入射光是否聚焦 在多缝上准确。 如果入射光没有精确地聚焦在多狭缝上，则聚焦控制器通过操作在聚焦透镜中制备的移动单元（14d）来移动聚焦透镜（14a）。

    脈衝光束之光譜特徵度量衡
    455.
    发明专利
    脈衝光束之光譜特徵度量衡 审中-公开
    脉冲光束之光谱特征度量衡

    公开(公告)号：TW201706579A

    公开(公告)日：2017-02-16

    申请号：TW105114464

    申请日：2016-05-10

    Applicant: 希瑪有限責任公司 ,  CYMER, LLC

    Inventor： 索恩斯 約書亞 強 ,  THORNES, JOSHUA JON

    IPC: G01J3/45 ,  G01J3/26

    CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/027 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J9/00

    Abstract: 本發明提供一種度量衡系統，其包括在脈衝光束之路徑中且經組態以與該脈衝光束相互作用且輸出對應於該脈衝光束之光譜分量之複數個空間分量的一光學頻率分離設備；接收且感測該等輸出空間分量之複數個感測區域；及連接至每一感測區域之一輸出的一控制系統。該控制系統經組態以：對於每一感測區域輸出，量測一或多個脈衝的來自該光學頻率分離設備之該等輸出空間分量之一性質；分析該等經量測性質，包括平均化該等經量測性質以計算該脈衝光束之光譜特徵之一估計值；及判定該脈衝光束之該所估計光譜特徵是否在光譜特徵之值之一可接受範圍內。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种度量衡系统，其包括在脉冲光束之路径中且经组态以与该脉冲光束相互作用且输出对应于该脉冲光束之光谱分量之复数个空间分量的一光学频率分离设备；接收且传感该等输出空间分量之复数个传感区域；及连接至每一传感区域之一输出的一控制系统。该控制系统经组态以：对于每一传感区域输出，量测一或多个脉冲的来自该光学频率分离设备之该等输出空间分量之一性质；分析该等经量测性质，包括平均化该等经量测性质以计算该脉冲光束之光谱特征之一估计值；及判定该脉冲光束之该所估计光谱特征是否在光谱特征之值之一可接受范围内。

    具有減少聚焦誤差靈敏度之光學度量
    456.
    发明专利
    具有減少聚焦誤差靈敏度之光學度量 审中-公开
    具有减少聚焦误差灵敏度之光学度量

    公开(公告)号：TW201643405A

    公开(公告)日：2016-12-16

    申请号：TW105105166

    申请日：2016-02-22

    Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

    Inventor： 克里許南 桑卡 ,  KRISHNAN, SHANKAR ,  莊 國榮V ,  ZHUANG, GUORONG V. ,  王 大衛Y ,  WANG, DAVID Y. ,  劉學峰 ,  LIU, XUEFENG

    IPC: G01N21/25 ,  G01N21/95 ,  G01J3/02

    CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/425 ,  G01N21/211 ,  G01N21/55 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068

    Abstract: 本文中呈現用於執行對聚焦誤差具有減少靈敏度之寬頻光譜度量之方法及系統。藉由將量測光點成像至偵測器上使得晶圓表面上之與入射平面對準之方向定向成垂直於偵測器表面上之波長色散方向，而達成對聚焦位置誤差之靈敏度之顯著減少。聚焦誤差靈敏度之此減少在不危及量測準確度之情況下實現減少之聚焦準確度及可重複性要求、較快聚焦時間及對波長誤差之減少靈敏度。在另一態樣中，基於受量測目標之本質而調整在垂直於該入射平面之方向上投影於晶圓平面上之照射光場之尺寸以最佳化所得量測準確度及速度。

    Abstract in simplified Chinese: 本文中呈现用于运行对聚焦误差具有减少灵敏度之宽带光谱度量之方法及系统。借由将量测光点成像至侦测器上使得晶圆表面上之与入射平面对准之方向定向成垂直于侦测器表面上之波长色散方向，而达成对聚焦位置误差之灵敏度之显着减少。聚焦误差灵敏度之此减少在不危及量测准确度之情况下实现减少之聚焦准确度及可重复性要求、较快聚焦时间及对波长误差之减少灵敏度。在另一态样中，基于受量测目标之本质而调整在垂直于该入射平面之方向上投影于晶圆平面上之照射光场之尺寸以最优化所得量测准确度及速度。

    電漿放電輝光之光學監控方法
    458.
    发明专利
    電漿放電輝光之光學監控方法 审中-公开
    等离子放电辉光之光学监控方法

    公开(公告)号：TW201632866A

    公开(公告)日：2016-09-16

    申请号：TW104106853

    申请日：2015-03-04

    Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司 ,  CREATING NANO TECHNOLOGIES, INC.

    Inventor： 李志勇 ,  LEE, JIYUNG ,  徐逸明 ,  HSU, YIMING ,  王立民 ,  WANG, LIMIN ,  周昭旭 ,  CHOU, CHAO HSU ,  黃友俊 ,  HUANG, YU CHUN ,  陳彥政 ,  CHEN, YENCHENG

    IPC: G01N21/67

    CPC classification number: G01J3/443 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2803

    Abstract: 一種電漿放電輝光之光學監控方法，其包含下列步驟。利用偵測器偵測電漿放電輝光，以取得數個光訊號。利用感測電路擷取這些光訊號，並將這些光訊號轉換成數個電訊號。利用運算單元根據這些電訊號來進行計算步驟，以獲得對應電漿放電輝光之數個位置之數個光強度。利用影像重建單元根據電漿放電輝光之這些位置與對應之光強度重建電漿放電輝光之影像。

    Abstract in simplified Chinese: 一种等离子放电辉光之光学监控方法，其包含下列步骤。利用侦测器侦测等离子放电辉光，以取得数个光信号。利用传感电路截取这些光信号，并将这些光信号转换成数个电信号。利用运算单元根据这些电信号来进行计算步骤，以获得对应等离子放电辉光之数个位置之数个光强度。利用影像重建单元根据等离子放电辉光之这些位置与对应之光强度重建等离子放电辉光之影像。

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