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公开(公告)号：CN111267314B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201911211470.1
申请日：2019-12-02
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。本发明降低由传递压力所致的背压的影响而改良树脂成形品，包括：合模机构，将成形模、成形模合模；柱塞驱动机构，使柱塞在成形模的料筒内移动；夹紧压力检测部，检测合模机构对成形模的夹紧压力；传递压力检测部，检测柱塞驱动机构对树脂的传递压力；以及控制部，基于夹紧压力检测部所检测出的夹紧压力及传递压力检测部所检测出的传递压力来控制合模机构，控制部在所检测出的传递压力上升时，以夹紧压力对应于所述传递压力而上升的方式控制合模机构，且在所检测出的传递压力下降时，以夹紧压力与所述传递压力无关而成为规定值的方式控制合模机构。
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公开(公告)号：CN109473376B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201810980250.4
申请日：2018-08-27
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种切断装置以及半导体封装的搬送方法，在搬送机构中设置分离机构，以简化切断平台的构成。切断装置具备：平台(4)，载置多个半导体芯片经树脂密封而成的工件；切断机构，将工件切断为多个半导体封装(9)与多个废弃部分(32a、32b)；以及搬送机构(33)，对由切断机构切断的多个半导体封装(9)进行吸附并予以搬送，搬送机构(33)具备分别对多个半导体封装(9)进行抽吸的多个抽吸孔(38)，以及使半导体封装(9)与废弃部分(32a、32b)分离的分离机构(43)。
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公开(公告)号：CN109420979B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201810862652.4
申请日：2018-08-01
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B41/06 , B24B7/10 , H01L21/304 , B26D1/12
Abstract: 本发明是一种抑制工件磨削量的不均的加工装置以及加工方法。加工装置是对工件(2)进行加工的加工装置，其包括载置工件(2)的平台(4)、对工件(2)进行磨削的磨削机构(8)、以及对工件(2)的工件厚度方向上的至少工件(2)的一部分的位置进行测定的测定机构(19)，磨削机构(8)具有磨削砂轮(10)，基于由测定机构(19)所测定的测定值，来控制磨削砂轮在工件厚度方向上的位置。
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公开(公告)号：CN113878779A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202110601912.4
申请日：2021-05-31
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种能容易变更树脂材料的供给模式的树脂成型装置和树脂成型品的制造方法。树脂成型装置(D)具备：树脂供给机构(21)，向供给对象物(F)供给树脂材料；成型模(M)，包括上模和与上模对置的下模(LM)；合模机构，在将供给对象物(F)配置于上模和下模(LM)之间的状态下，对成型模(M)进行合模；显示部(6)，基于对供给对象物(F)供给树脂材料的输入，将树脂材料的供给状态图形化而显示；以及控制部(5)，控制树脂供给机构(21)和显示部(6)的工作。
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公开(公告)号：CN113597365A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202080022241.X
申请日：2020-02-27
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置，可减少进行成形的树脂厚度的不均。树脂成形装置1000包括：具有一个模1100及另一个模1200的成形模、一个模楔形机构1310、以及一个模腔块驱动机构1301，可在如下的状态下，即，使用一个模腔块驱动机构1301来使一个模腔块1101移动至事先设定的高度位置为止，且使用一个模楔形机构1310，以限制已移动至所述高度位置为止的一个模腔块1101的与另一个模1200分离的方向的位置的方式进行了固定的状态，将树脂注入一个模腔1106，其后，利用一个模楔形机构1310与一个模腔块驱动机构1301使一个模腔1106的深度变化来进行树脂成形。
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公开(公告)号：CN110385813B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910283815.8
申请日：2019-04-10
Applicant: 东和株式会社
Inventor： 法兼一贵
Abstract: 本发明提供一种粉粒体供给装置，其通过使存在粉粒体的粉粒体供给路振动而使粉粒体移动并自设置于粉粒体供给路的喷出口对供给对象物供给粉粒体。本发明又提供一种树脂成形装置、粉粒体供给方法、及树脂成形品的制造方法。粉粒体供给装置包括：振动部，使粉粒体供给路振动；测量部，测量粉粒体对供给对象物的供给量；以及控制部，以供给量成为所指定的目标量的方式控制振动部的振动。控制部在供给开始后的第1阶段中以连续地供给粉粒体的方式控制振动部，并且在第1阶段之后的第2阶段中以间歇地供给粉粒体的方式控制振动部。
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公开(公告)号：CN113383107A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202080009663.3
申请日：2020-02-18
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , B23B27/14 , B23C5/16 , B23P15/28 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种可应对多种工件的工件保持部及工件保持部旋转单元。本发明的工件保持部60保持棒状的工件W，所述棒状的工件W包括柄部W1、及外径小于所述柄部W1的刀部W2，所述工件保持部60包括形成有贯通孔63a的转接器63及旋转支撑部61，所述贯通孔63a包括：第一孔部63c，能够插入所述柄部W1；及第二孔部63d，形成为与所述第一孔部63c连续，无法插入所述柄部W1且能够插入所述刀部W2，所述旋转支撑部61能够在插入有所述转接器63的状态下保持所述转接器63。
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公开(公告)号：CN113330140A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201980089119.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜品的制造方法，可抑制形成于工件的薄膜的不均的产生。本发明包括：工件保持步骤，以能够以第一旋转轴(旋转轴20)为中心而公转，且能够以第二旋转轴(工件保持部60)为中心而自转的方式保持工件W，所述第二旋转轴(工件保持部60)相对于靶材6(溅射靶材)倾斜；以及成膜步骤，一面进行以所述第一旋转轴为中心的公转、及以所述第二旋转轴为中心的自转，一面利用所述靶材6，对所述工件W进行成膜。
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公开(公告)号：CN113316661A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201980089399.6
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种工件保持部旋转单元，可应对真空处理的角度依赖性。本发明包括：旋转轴20；旋转轮40，能够以所述旋转轴20为中心进行旋转；多个工件保持部60，能够保持工件W，配置成在以所述旋转轴20为中心的圆周上排列，且以能够以相对于所述旋转轴20的轴线倾斜的轴线为中心进行旋转的方式设置于所述旋转轮40；以及固定圆盘70，形成为以所述旋转轴20为中心的圆盘状，并且配置成与多个所述工件保持部60接触，伴随着所述旋转轮40的旋转使所述工件保持部60旋转。
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公开(公告)号：CN110605636B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201910475572.8
申请日：2019-06-03
Applicant: 东和株式会社
Inventor： 高森雄大
Abstract: 本发明是一种卡盘台，用于吸附磨削对象物，所述卡盘台包括：本体，具有能够配置磨削对象物的区域；多孔构件，设置于本体的能够配置磨削对象物的区域内；以及吸附孔配置区域，设置于本体的能够配置磨削对象物的区域内，且设置于多孔构件的外侧。本发明的卡盘台能够一方面抑制工序变得复杂，一方面稳定地吸附保持磨削对象物，进而能够抑制磨削品的外观不良或运行不良的产生。本发明也提供一种磨削装置及磨削品的制造方法。
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