公开(公告)号：CN103874550A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201280039420.X

申请日：2012-12-13

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 杉山晋 ,  市川康司

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。

公开(公告)号：CN102119060A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200980130926.X

申请日：2009-08-19

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 铃木一成 ,  潘毅

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67057 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种能够容易地应对被清洗物的清洗面的大径化的超声波清洗装置。本发明所涉及的超声波清洗装置的特征在于，具备：对传送液(15)赋予超声波能量的超声波振动件(13)；使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管(12)；配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物(21)的保持机构；向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，其中，所述超声波传送管(12)配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜(19)接触。

公开(公告)号：CN100359642C

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN03124037.2

申请日：2003-04-24

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 福井亨

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/66

Abstract: 提供一种半导体处理装置的药液浓度控制装置，它可以使处理用的药液浓度保持不变，同时能保持处理所需要的液面高度。它具有测定药液浓度的浓度测定装置、观测经过浓度反馈控制系统的等待时间后浓度的漂移量的漂移观测装置、计算各药液的补充量的补充量计算装置、预测补充了上述补充量计算装置计算的补充量到达时的浓度的浓度预测装置、使用上述补充量计算装置得到的各药液补充量的总和为定量进行处理的定量补充处理装置、按照上述定量补充处理装置计算的补充量控制药液补充的补充控制装置。根据上述补充量计算装置、上述浓度测定装置和上述漂移观测装置的各测定数据以及上述浓度预测装置的浓度预测数据，相对于预先设定的标准补充量计算各药液的补充量。

公开(公告)号：CN1815727A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200610004006.1

申请日：2006-01-11

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 藤泽洋生 ,  石桥昌 ,  今井玲

IPC: H01L23/49 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L24/85 ,  B23K20/004 ,  B23K2101/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/78 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48095 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/85181 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2224/85399 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种引线回路，包括通过其连接第一接合点(A)和第二接合点(Z)的引线(3)，其中引线(3)包括接合到第一接合点(A)的球(30)，与球(30)相邻的颈部(H)以及从颈部(H)延伸到第二接合点(Z)上的主体部(S)。颈部(H)包括提升部分(h)，其在向着第二接合点(Z)的方向上从接合球(30)倾斜向上延伸，并且提升部分(h)由球(30)的顶部形成，其在球接合的时候已经进入毛细管(4)的开口并且已经成型。通过向着第二接合点(Z)倾斜向上移动毛细管(4)，提升部分(h)通过倾斜球(30)的顶部而形成，其在球接合的同时进入毛细管(4)的开口。

公开(公告)号：CN119562868A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202380013650.7

申请日：2023-06-27

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 广濑彩波 ,  长谷川浩史 ,  今关康博

IPC: B08B3/12

Abstract: 本发明提供检测体以及超声波清洗装置，在发生来自检测体的声压传感器的输出小等异常的情况下，能够判定超声波清洗装置的各部分结构的工作状态是正常还是异常。因此，在检测清洗液的声压的检测体中，具备：支承体，至少一部分浸渍于清洗液中；以及多个声压传感器，在支承体的非液体接触部中绕支承体的中心轴等间隔地配置，具有相互相同的检测特性，多个声压传感器分别检测由通过支承体传播的超声波产生的振动作为声压值。

公开(公告)号：CN114097024B

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202080005508.4

申请日：2020-06-05

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 太田宗吾

IPC: G10K15/04 ,  B08B3/12 ,  G01H11/08 ,  G01H9/00

Abstract: 本发明提供一种可容易地监视超声波振子的振动状态的、使用附带状态监视功能的超声波振子的超声波清洗装置。本发明的超声波清洗装置经由被施加有超声波振动的清洗液来清洗被清洗物，具有朗之万型的附带状态监视功能的超声波振子(5)，所述超声波振子(5)包括以层叠的方式配置且在层叠方向可伸缩的多个压电元件件(11)被施加有交流电压而伸缩，多个压电元件的另一部分作为状态监视用压电元件(12)，以通过激振用压电元件的伸缩而可输出用于状态监视的电压的方式构成。(10)，多个压电元件的一部分作为激振用压电元

公开(公告)号：CN110419230B

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN201780088353.3

申请日：2017-12-21

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 中野彰久

IPC: H04R17/00 ,  B08B3/12 ,  H01L21/304 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明提供一种对液体施加超声波振动的小型且可进行低频的超声波振动的超声波振动子、以及使用所述超声波振动子的低频的点射丛型或洗净槽型的超声波洗净装置。超声波振动子包括：板状的压电元件(3)，具有扩展振动模式；以及振动构件(15)，由远离压电元件的主面(5)且与主面平行地配置并且与液体接触的振动面(17)、与压电元件的侧面接触而固定压电元件的压电元件收纳部(21)、及将振动面与压电元件收纳部连接的振动传递部(16)所构成，振动构件通过振动面、压电元件收纳部及振动传递部而形成围绕主面的空间，振动面通过压电元件收纳部及振动传递部使压电元件的振动传递，并在与扩展振动模式的振动方向正交的方向上振动。

公开(公告)号：CN112400221A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201980023607.2

申请日：2019-06-17

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 久岛真美 ,  安田玉成

IPC: H01L21/60

Abstract: 提供一种能够在不同的两个面以1次的引线接合工序进行接合的引线接合方法。本发明的一方式的引线接合方法，将从毛细管22的前端抽出的线21的一端与第一接合面11a相结合，使所述毛细管在Z方向上移动，使所述毛细管在包括X方向以及Y方向的至少一个的方向上移动，使所述毛细管在包括X方向、Y方向以及Z方向的至少一个的方向上移动多次，使所述毛细管移动到最高的位置，将所述线的另一端与所述第二接合面相结合，通过在任意的定时以旋转轴为中心使第一接合面旋转，从而使第二接合面移动到能接合的位置，在所述线拉伸的一侧第一接合面与第二接合面所形成的角度为200°以上。

公开(公告)号：CN110419230A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201780088353.3

申请日：2017-12-21

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 中野彰久

IPC: H04R17/00 ,  B08B3/12 ,  H01L21/304 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明提供一种对液体施加超声波振动的小型且可进行低频的超声波振动的超声波振动子、以及使用所述超声波振动子的低频的点射丛型或洗净槽型的超声波洗净装置。超声波振动子包括：板状的压电元件3，具有扩展振动模式；以及振动构件15，由远离压电元件3的主面5且与主面5平行地配置并且与液体接触的振动面17、与压电元件3的侧面接触而固定压电元件3的压电元件收纳部21、及将振动面17与压电元件收纳部21连接的振动传递部16所构成，振动构件15通过振动面17、压电元件收纳部21及振动传递部16而形成围绕主面5的空间，振动面17通过压电元件收纳部21及振动传递部16使压电元件3的振动传递，并在与扩展振动模式的振动方向正交的方向上振动。

公开(公告)号：CN108028207A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201780003128.5

申请日：2017-02-28

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 吉野秀纪 ,  三浦雅明

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法，具备：相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线或凸点的工序(e)；将所述键合工作台相对于所述θ轴的锁定解除，利用所述旋转驱动机构使所述键合工作台以所述θ轴为中心而旋转的工序(f)；以及相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在所述基板的剩余的区域键合引线或凸点的工序(g)。