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公开(公告)号：KR1020070059798A
公开(公告)日：2007-06-12
申请号：KR1020050119113
申请日：2005-12-07
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L27/0805 , H03H9/0571 , H03H9/588 , H03H9/706
Abstract: A system on chip structure comprising an air cavity for isolating elements, a duplexer, and a fabrication method thereof are provided to simplify a process by forming the air cavity together when manufacturing an air gap in manufacturing a device such as an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) requiring the air gap. A duplexer(100) includes a substrate(110). A transmitting stage filter(120) is formed in a first area of one surface of the substrate(110). A receiving stage filter(130) is formed in a second area of one surface of the substrate(110). An air cavity(140) is manufactured by etching the substrate(110) between the first area and the second area. The air cavity(140) isolates the transmitting stage filter(120) and the receiving stage filter(130) from each other.
Abstract translation: 提供了一种包括用于隔离元件的空气腔，双工器及其制造方法的片上系统结构，以便在制造诸如FBAR（薄膜体声波）的装置中制造气隙时，通过将气腔形成在一起来简化工艺 谐振器）需要气隙。 双工器（100）包括基板（110）。 透射级过滤器（120）形成在衬底（110）的一个表面的第一区域中。 接收级过滤器（130）形成在衬底（110）的一个表面的第二区域中。 通过在第一区域和第二区域之间蚀刻基板（110）来制造空气腔（140）。 空气腔（140）将发射级过滤器（120）和接收级过滤器（130）彼此隔离。
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公开(公告)号：KR100718095B1
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：KR1020050125525
申请日：2005-12-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 결합 공진 필터 제작 방법이 개시된다. 본 결합 공진 필터 제작 방법은, 기판의 일 표면 상에 제1 전극, 제1 압전층, 제2 전극, 절연층, 제3 전극, 제2 압전층, 제4 전극을 순차적으로 적층하는 단계 각 층을 순차적으로 패터닝하여, 제1 전극 일부, 제2 전극 일부, 제3 전극 일부를 노출시키는 단계, 제1, 2, 3 전극의 노출 영역 및 제4 전극 일부 영역 각각과 연결되는 복수 개의 연결전극을 제작하는 단계 및 제1 전극의 하부에 위치하는 기판 영역을 식각하여 에어 갭을 제작하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 간단한 공정을 통해 결합 공진 필터를 제작할 수 있게 된다.
결합 공진 필터, 연결전극, 에어갭Abstract translation: 公开了一种组合谐振滤波器制造方法。 所述耦合谐振器的制造方法，在基板的一个表面上的第一电极，所述第一压电体层，第二电极，绝缘层，第三电极，第二压电体层，所述方法包括：层叠的第四电极的每一层 在序列中的图案化的，第一电极部分，第二电极部分，所述第三电极的步骤，第一，第二，以及连接到每个曝光区域和所述第三电极的所述第四电极部多个连接电极的露出部分 并且通过蚀刻位于第一电极下方的基板区域来制造气隙。 因此，可以通过简单的工艺来制造耦合谐振滤波器。
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公开(公告)号：KR100635268B1
公开(公告)日：2006-10-19
申请号：KR1020040034970
申请日：2004-05-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/0542 , H03H9/0571 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H9/706 , Y10T29/42
Abstract: 에어갭형 박막벌크음향공진기를 이용한 필터가 개시된다. 본 필터는, 외부단자와 전기적으로 연결되는 제1포트, 제2포트 및 접지포트가 상부 표면에 형성된 기판, 기판 표면 상에 형성되며, 제1포트 및 제2포트를 직렬로 연결하는 적어도 하나의 제1박막벌크음향공진기(Film Bulk Acoustic Resonator), 제1포트 및 제2포트 사이에 형성되는 연결노드에 병렬로 연결되는 적어도 하나의 제2박막벌크음향공진기, 및 제2박막벌크음향공진기 및 접지포트를 직렬로 연결하는 적어도 하나의 인덕터를 포함한다. 본 필터에 구비된 인덕터는 제1 및 2 박막벌크음향공진기와 일체로 제작된다. 이에 따라, 소형 필터를 간단한 공정으로 제조할 수 있게 된다.
박막벌크음향공진기(FBAR), 필터, 듀플렉서, 인덕터-
公开(公告)号：KR100544475B1
公开(公告)日：2006-01-24
申请号：KR1020030005078
申请日：2003-01-25
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01R33/04 , G01R15/185 , G01R33/05
Abstract: 반도체기판에 집적된 자계검출소자가 개시된다. 자계검출소자는 반도체기판에 폐자로를 구성하도록 동일 평면상에 형성된 두 개의 바 형태의 연자성코어를 형성하고, 두 바 형태의 연자성코어를 '8'자 형태로 권선한 형상을 갖는 결합형구조 또는 각 바를 분리하여 권선한 형상을 갖는 분리형구조로 여자코일을 형성한다. 그리고 여자코일에 적층하여 두 바를 함께 솔레노이드 형태로 한꺼번에 권선한 구조 또는 각 바를 분리하여 권선한 구조를 갖도록 자계변화검출코일을 형성한다. 위와 같이 형성된 자계검출소자는 반도체기판에 집적되므로 양산성이나 비용면에서 우수하며, 자속의 누설을 최소화 할 수 있어 초소형임에도 불구하고 고감도의 특성을 가질뿐만 아니라 저소비전력을 실현할 수 있다.
자계검출소자, 자기센서, 반도체기판, 집적, 여자코일, 자계변화검출코일-
公开(公告)号：KR100536837B1
公开(公告)日：2005-12-16
申请号：KR1020030008343
申请日：2003-02-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01R33/02
Abstract: 본 발명은 저소비전력으로 측정감도가 높으면서, 초소형으로 값싸게 제조할 수 있는 반도체기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체기판에 집적된 자계검출소자는, 반도체기판에 폐자로를 구성하도록 형성된 연자성코어와; 연자성코어를 권선한 형태의 금속막으로 형성된 자계검출코일; 및 연자성코어에 직접 전류를 흘려 연자성코어를 여자시키는 드라이브 라인;을 포함한다. 이때, 드라이브 라인은 자계검출코일과 직각을 이루도록 형성되고, 연자성코어의 길이방향의 양단에 연결된다.
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Patent Agency Ranking46.发明公开
公开(公告)号：KR1020040104869A
公开(公告)日：2004-12-13
申请号：KR1020030036130
申请日：2003-06-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01R29/08
CPC classification number: G01R33/05
Abstract: PURPOSE: A micro fluxgate sensor manufactured using an amorphous ferroelectric core is provided to improve a sensitivity by using an amorphous magnetic film formed on a silicon substrate. CONSTITUTION: A micro fluxgate sensor includes an amorphous ferroelectric core(150), an excite coil, a magnetic field detection coil, a protection film(210), and a pad. The amorphous ferroelectric core is formed in two bars on a wafer having a seed layer vaporized thereon. The excite coil is formed to wind around the amorphous ferroelectric core. The magnetic field detection coil is formed between the excite coil and has a form to wind around the amorphous ferroelectric core. The protection film is formed on the excite coil and the magnetic field detection coil. The pad is formed by etching the protection film to expose a portion of the excite coil and the magnetic field detection coil.
Abstract translation: 目的：提供使用非晶铁电体芯制造的微通道门传感器，以通过使用形成在硅衬底上的非晶磁性膜来提高灵敏度。 构成：微通道门传感器包括非晶铁电芯（150），激磁线圈，磁场检测线圈，保护膜（210）和垫。 无定形铁电体芯在其上蒸发种子层的晶片上形成为两个棒。 激励线圈形成为缠绕在非晶铁电芯上。 磁场检测线圈形成在激磁线圈之间，并且具有缠绕在非晶铁电体芯上的形式。 保护膜形成在励磁线圈和磁场检测线圈上。 通过蚀刻保护膜以暴露激发线圈和磁场检测线圈的一部分来形成焊盘。
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公开(公告)号：KR1020040072760A
公开(公告)日：2004-08-19
申请号：KR1020030008343
申请日：2003-02-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01R33/02
Abstract: PURPOSE: A fluxgate sensor integrated on a semiconductor substrate and a method for manufacturing the same are provided to measure accurately the magnetic field by improving the structure of the magnetic field detector. CONSTITUTION: A soft magnetic core(40) is formed on a semiconductor substrate in order to form a close magnetic circuit. A magnetic field detection coil is formed with a metal layer, which is wound around the soft magnetic core. A drive line is used for exciting the soft magnetic core by applying directly the current to the soft magnetic core. The drive line makes a right angle with the magnetic field detection coil. The drive line is connected to both ends of the longitudinal direction of the soft magnetic core.
Abstract translation: 目的：提供集成在半导体基板上的磁通门传感器及其制造方法，以通过改进磁场检测器的结构来精确地测量磁场。 构成：在半导体衬底上形成软磁芯（40）以形成紧密的磁路。 磁场检测线圈形成有缠绕在软磁芯上的金属层。 驱动线用于通过将电流直接施加到软磁芯来激励软磁芯。 驱动线与磁场检测线圈成直角。 驱动线与软磁芯的长度方向的两端连接。
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公开(公告)号：KR101910573B1
公开(公告)日：2018-10-22
申请号：KR1020120149753
申请日：2012-12-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J5/20 , G01J5/023 , G01J5/0853
Abstract: 광대역의표면플라즈몬공진기를이용하여넓은대역폭의적외선스펙트럼을검출할수 있는적외선검출기가개시된다. 개시된적외선검출기는, 기판, 상기기판에이격되어배치된광 흡수체, 및상기광 흡수체를기판으로부터이격되도록지지하는한 쌍의열상다리를포함할수 있다. 여기서, 광흡수체는온도변화에따라저항값이변화하는서미스터층, 및상기서미스터층의상부표면과하부표면중 적어도하나의표면에배치되는적어도 2개의공진기층을포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR101861147B1
公开(公告)日：2018-05-28
申请号：KR1020110115922
申请日：2011-11-08
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01J5/12 , B81B2201/0207 , G01J5/024 , G01J5/0285 , G01J5/045 , G01J5/046 , G01J5/06 , G01J5/0853
Abstract: 적외선검출기가개시된다. 개시된적외선검출기는, 기판으로부터이격되어있으며입사되는적외선을흡수하는공진기와, 공진기에접하며흡수된적외선에의한온도변화에따라저항값이변하도록된 열전재료층을구비한다. 열전재료층과기판사이는리드선에의해전기적으로연결된다. 열격리층은, 기판과열전재료층사이에마련되어기판으로의열전달을차단한다. 그라운드평판층은, 적외선광이기판쪽으로진행하는것을차단한다.
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