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公开(公告)号：KR1020070004158A
公开(公告)日：2007-01-09
申请号：KR1020050059519
申请日：2005-07-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G11B7/2433 , G11B7/004
Abstract: A recording medium of a probe type information storing apparatus, a recording method, a reproducing method, and an erasing method are provided to significantly raise the recording density by additively forming a metal-insulator phase change thin film on a phase change thin film. A lower electrode(110) is positioned on a silicon substrate(100). A phase change thin film(120) is positioned on the lower electrode(110), wherein the phase change thin film(120) has a crystalline state. A metal-insulator phase change thin film(130) is positioned on the phase change thin film(120). The lower electrode(110) is formed of any one of Pt, Au, and an amorphous carbon thin film.
Abstract translation: 提供探针型信息存储装置，记录方法，再现方法和擦除方法的记录介质，通过在相变薄膜上相加形成金属 - 绝缘体相变薄膜来显着提高记录密度。 下电极（110）位于硅衬底（100）上。 相变薄膜（120）位于下电极（110）上，其中相变薄膜（120）具有结晶状态。 金属 - 绝缘体相变薄膜（130）位于相变薄膜（120）上。 下电极（110）由Pt，Au和非晶碳薄膜中的任一种形成。
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公开(公告)号：KR1020060011234A
公开(公告)日：2006-02-03
申请号：KR1020040059941
申请日：2004-07-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G11B9/14
Abstract: 본 발명은 탐침형 정보저장장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 외부 진동에 대한 영향을 최소화할 수 있는 휴대용 정보저장장치에 관한 것이다.
본 발명의 탐침형 정보저장장치는 탐침 어레이, 신호처리부, 매체 및 구동기로 이루어진 탐침형 정보저장장치에 있어서, 상기 탐침 어레이와 신호처리부를 외부 케이스에 연결하기 위한 탐침부 스프링 및 상기 매체와 구동기를 외부 케이스에 연결하기 위한 구동부 스프링으로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 탐침형 정보저장장치는 탐침부와 매체부 주위에 스프링을 부가함으로써, 외부 진동에 대한 영향을 최소화할 수 있어 휴대용 정보저장장치로의 사용이 가능하고, 종래의 질량 보상 방법에 비해 기록 면적을 높일 수 있는 장점이 있으며, 탐침부와 매체부 사이의 진동이 줄어들기 때문에 신호대 잡음비가 높아져 고속화 또는 대용량화가 가능한 효과가 있다.
탐침, 스프링, 저장, 매체, 구동-
公开(公告)号：KR100515734B1
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：KR1020030057695
申请日：2003-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N13/16
Abstract: 본 발명은 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널 형성 방법에 관한 것으로, 지지부에서 연장되어 부상된 캔틸레버의 선단에 형성된 탐침과, 상기 캔틸레버의 탐침 하부영역에 형성된 채널과, 채널에 접하여 형성된 소스 및 드레인을 구비한 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널 형성 방법에 있어서, 상기 채널은, 상기 채널을 형성할 제 1 전도성 불순물이 도핑된 실리콘층 상부에 상호 이종물질로 이루어진 적어도 둘 이상의 절연막들을 적층하고, 이 적층된 절연막들의 상부에 폴리실리콘층을 형성한 다음, 상기 폴리실리콘층을 제외하고 순차적으로 절연막들의 측면을 식각하여, 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막 폭을 줄이는 단계와; 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막과 상기 실리콘층에 제 2 전도성 불순물을 주입하고, 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막을 제거하여 상기 절연막 하부의 실리콘층에 채널을 형성하는 단계를 수행하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 전계 효과 트랜지스트를 내장한 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널폭을 100㎚ 이하로 줄일 수 있어, 테라 비트급 탐침형 정보 저장기기에 적용할 수 있는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1020050022032A
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020030058707
申请日：2003-08-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N13/16
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing an AFM field effect transistor cantilever is provided to improve an information sensitivity by enlarging an aspect ratio of a probe. CONSTITUTION: A probe(300) is formed on an upper surface of a second silicon layer of an SOI substrate in which a first silicon layer, a first insulation layer and the second silicon layer are sequentially deposited. A second insulation layer, a third insulation layer, a polysilicon layer, and a photoresist layer are sequentially deposited on the second silicon layer. Then, a first mask pattern of a cantilever is formed on the polysilicon layer. A second mask pattern is formed by sequentially etching the polysilicon layer and the second insulation layer. After forming a pattern of the second silicon layer, a cantilever is formed. Then, a carbon tip is formed at a tip of the probe(300).
Abstract translation: 目的：提供一种制造AFM场效应晶体管悬臂的方法，通过扩大探头的纵横比来提高信息灵敏度。 构成：在SOI衬底的第二硅层的上表面上形成探针（300），其中第一硅层，第一绝缘层和第二硅层依次沉积。 第二绝缘层，第三绝缘层，多晶硅层和光致抗蚀剂层依次沉积在第二硅层上。 然后，在多晶硅层上形成悬臂的第一掩模图案。 通过依次蚀刻多晶硅层和第二绝缘层形成第二掩模图案。 在形成第二硅层的图案之后，形成悬臂。 然后，在探针（300）的前端形成有碳尖端。
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公开(公告)号：KR1020050020051A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030057694
申请日：2003-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N13/16
Abstract: PURPOSE: A MOSFET cantilever for an atomic force microscope is provided to easily perform reading and recording operations by installing a MOSFET in the cantilever for the atomic force microscope. CONSTITUTION: A MOSFET cantilever for an atomic force microscope includes a supporting part on which a first silicon layer, an oxide layer(120), and a second silicon layer(130) are sequentially stacked. A cantilever part rises from a lower portion by extending the oxide layer(120) and the second silicon layer from the supporting part. A probe is formed at the second silicon layer(130) of a front end of the cantilever part. A metal layer(140) is formed at an entire surface of the supporting part and the cantilever part. A channel(203) formed at the cantilever part of a lower portion of the probe.
Abstract translation: 目的：提供原子力显微镜的MOSFET悬臂，通过在原子力显微镜的悬臂中安装MOSFET来轻松执行读取和记录操作。 构成：用于原子力显微镜的MOSFET悬臂包括支撑部分，第一硅层，氧化物层（120）和第二硅层（130）依次堆叠在该支撑部分上。 通过从支撑部分延伸氧化物层（120）和第二硅层，悬臂部分从下部上升。 在悬臂部分的前端的第二硅层（130）处形成探针。 金属层（140）形成在支撑部分和悬臂部分的整个表面上。 形成在探针的下部的悬臂部分处的通道（203）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150136258A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：KR1020140063455
申请日：2014-05-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B41F9/06 , B41F13/187 , B41N10/02
CPC classification number: B41F9/06 , B41F9/063 , B41F13/187 , B41N10/02
Abstract: 본발명의인쇄장치는롤의회전을통해기판에패턴을전이하는인쇄장치로서블랑켓롤의외면을둘러싸도록위치되는시트, 시트의양단과결합되어시트를고정하는고정부재, 블랑켓롤의외주면에서내측방향으로파인롤홈에구비되고, 고정부재를블랑켓롤에지지하는결합부를포함한다. 이와같이, 본발명의인쇄장치는롤 예컨대, 블랑켓롤 내부에시트고정장치가제작된다. 이때, 시트고정장치는시트의양단을집어고정하는고정부재가마련되고, 블랑켓롤의외주면에서내측방향으로파인롤홈에고정부재와결합되어고정부재를고정시키는결합부를포함할수 있다. 이에, 블랑켓롤 외면에시트를고정하기위해플레이트와너트를사용하지않고, 용이하게시트를고정할수 있다. 또한, 시트고정장치는결합된고정부재와결합부를시트의폭과교차하는방향으로이동시킬수 있는구동부재를구비하여시트의장력또는압력의조절이가능하다.
Abstract translation: 印刷装置技术领域本发明涉及一种印刷装置，具体涉及一种用于通过辊的旋转将图案转印到基材上的印刷装置，包括：位于包覆橡皮布卷的外表面的片材; 与片材的两端结合的固定构件，用于固定片材; 以及组合部，其配置在在所述橡皮布辊的外周面中向内凹入的辊槽中，并且用于将所述固定构件支撑到所述橡皮布辊。 根据本发明，印刷装置能够在辊内例如橡皮布辊上制造片材定影装置。 此时，在片材定影装置中准备用于夹持片材的两端固定的固定构件，以及与固定构件结合的组合部分，该固定构件在辊子槽中向内凹入到用于固定的橡皮布辊的外周表面 可以包括固定构件。 因此，为了将片材固定在橡皮布辊的外侧，可以容易地固定片材而不使用板和螺母。 此外，由于片材定影装置包括用于使组合的固定构件和组合部分沿与片材的宽度相交的方向移动的驱动构件，可以调节片材的张力或压力。
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公开(公告)号：KR1020150079088A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130169082
申请日：2013-12-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명의패턴인쇄장치는기판에패턴을형성시키는패턴인쇄장치에있어서페이스트패턴이외면에형성되고, 열을발생하는히터를내부에포함하는 1차롤, 1차롤에근접하여위치하며, 1차롤의패턴이전이되고, 기판에전이된패턴을전이하는 2차롤을포함한다. 이와같이, 본발명의패턴인쇄장치는 1차롤즉, 패턴롤 내부에히터가설치되고, 히터는제어부에의해 1차롤을연속적으로가열하거나, 간헐적으로가열함으로써 1차롤의온도를사용자가원하는온도로유지시킬수 있다. 그리고, 센서부를통해온도를측정하여용이하게온도를조절할수 있다. 이로부터, 1차롤의페이스트패턴을반건조상태로유지함으로서 2차롤및 기판에패턴이전이될때 페이스트의손실을억제하거나방지할수 있다. 이에, 보다선명하고, 용이하게기판에페이스트패턴을전이할수 있다. 즉, 패턴의전이성을향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明的能够在基板上形成图案的图案印刷装置包括在外表面上形成糊状图案的一次辊，并且包括在内部产生热量的加热器; 以及放置在主辊附近的次级辊，并且在图案转变之后，转移主辊的图案转移到衬底。 图案印刷装置能够通过在主辊中安装加热器并间歇地或连续地加热主辊来使主卷的温度保持在用户想要的程度。 通过传感器部件测量温度可以很容易地控制温度。 因此，当初级辊的糊状图案保持半干燥状态时，当图案转移到二次辊和基材时，抑制或防止糊料的损失。 因此，糊状图案更清晰，容易地转移到基板上。 换句话说，模式的转变得到改善。
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公开(公告)号：KR101447603B1
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130024034
申请日：2013-03-06
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: OLED 기판 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 기판 제조 방법은 기판의 일면 또는 양면에 CBD(Chemical Bath Deposition) 방법을 이용하여 기판의 표면이 일부 노출되도록 소정간격으로 이격되는 복수개의 나노 구조체를 형성하는 1단계; 및 기판의 노출된 부분을 식각시켜 기판 표면에 요철구조를 형성하는 2단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR100877076B1
公开(公告)日：2009-01-09
申请号：KR1020070052620
申请日：2007-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 유리잉크 코팅법을 이용한 프로브카드용 탐침의 절연방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 고집적화되는 반도체 칩 및 디스플레이 회로검사에 사용되는 프로브카드용 탐침 상호 간에 절연성을 확보하기 위한 방법에 관한 것이다.
본 발명의 유리잉크 코팅법을 이용한 프로브카드용 탐침의 절연방법은 프로브카드용 탐침을 절연하는 방법에 있어서, 도금 또는 에칭 공정으로 탐침을 제작하는 단계; 상기 탐침을 크리닝한 후, 유리잉크를 이용하여 코팅하는 단계; 상기 코팅된 탐침의 양끝을 연마하여 프로브 유닛에 삽입하는 단계; 및 상기 탐침을 에폭시로 고정한 후, 상기 프로브 유닛을 PCB 회로부에 연결시키는 단계를 포함한다.
프로브카드, 탐침, 절연, 유리잉크, 에폭시-
公开(公告)号：KR100848262B1
公开(公告)日：2008-07-25
申请号：KR1020070053723
申请日：2007-06-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02F1/1345
CPC classification number: G02F1/1309 , B41J2/14 , B41J2/1642 , G02F1/1303 , G03F7/0002 , H04N5/225
Abstract: A minute pattern transfer apparatus with the variable line path is provided to form the patterns with various line paths by controlling the interval between probes. An ink preserving member(320) preserves ink. An ink transmitting member(330) transmits the ink to a probe member. The probe member(340) transfers the ink introduced from the ink transmitting member. A driving member controls the interval formed at the probe member. The probe member includes a space for preserving the ink transmitted from the ink preserving member. Plural probes(341) transfer the ink. A spring(370) is connected with the probe member in order to support the motion of the probe. Plural probes are formed in parallel to each other. The driving member includes a magnet fixed to the probe member. A coil is located at the upper portion of the magnet and makes the current flow.
Abstract translation: 提供具有可变线路径的微小图案转印装置，通过控制探针之间的间隔来形成具有各种线路径的图案。 油墨保存构件（320）保留油墨。 墨水传送部件（330）将墨水传送到探针部件。 探针构件（340）传送从墨水传送构件引入的墨。 驱动构件控制在探针构件上形成的间隔。 探针构件包括用于保存从保墨构件透过的墨的空间。 多个探头（341）传送墨水。 弹簧（370）与探针构件连接以便支撑探针的运动。 多个探针彼此平行地形成。 驱动构件包括固定到探针构件的磁体。 线圈位于磁体的上部并使电流流动。
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