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公开(公告)号：KR100890914B1
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：KR1020070065524
申请日：2007-06-29
Abstract: 본 발명은 고해상도의 조향각 검출 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멀티 마그네트 디스크를 이용하여 절대 조향각을 측정함으로써, 백래쉬 현상으로 발생하는 히스테리시스 오차를 제거하여 고정밀의 조향각을 측정할 수 있는 고해상도의 조향각 검출 장치에 관한 것이다.
본 발명의 고해상도의 조향각 검출 장치는, 조향축과 연결되도록 중심부가 형성되고 양면에 자석을 부착한 멀티 마그네트 디스크; 및 상기 자석에 의해 형성되는 자기장을 측정하기 위한 홀센서를 포함하여 구성되고, 상기 홀센서에 의해 측정된 정현파를 이용하여 조향각을 계산함에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 고해상도의 조향각 검출 장치는 기어를 사용하지 않고 멀티 마그네트 디스크를 이용하여 조향각을 측정함으로써 백래쉬 현상으로 발생하는 히스테리시스 오차를 제거하여 고정밀의 조향각을 측정할 수 있고, 멀티 마그네트 디스크의 자석 갯수를 조절함으로써 고해상도의 조향각을 측정할 수 있도록 하는 현저하고도 유리한 효과가 있다.
조향각, 센서, 백래쉬, 멀티 마그네트.-
公开(公告)号：KR100889332B1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：KR1020070068369
申请日：2007-07-06
Abstract: 본 발명은 히팅 구조물의 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 탄소나노튜브를 구비한 마이크로 히터는 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터에 있어서, 외부에서 인가된 전압을 이용하여 열을 방출하기 위해 기판과 이격되어 형성된 히팅 구조물; 상기 히팅구조물 상부에 형성되어 산화현상을 방지하는 패시배이션층; 상기 히팅 구조물 상부에 형성되어 발열효율을 향상시키기 위한 탄소나노튜브; 상기 히팅 구조물로부터 방출되는 열을 반사시키기 위하여 상기 기판 상에 박막 형태로 형성된 반사판; 상기 히팅 구조물 하부에 진공상태로 형성된 캐비티; 및 상기 히팅 구조물에 전압을 인가하기 위한 전극 패드를 포함한다.
마이크로, 히터, 반사판, 탄소, 나노, 튜브-
公开(公告)号：KR1020090001273A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：KR1020070065524
申请日：2007-06-29
Abstract: A steering angle detecting device of high resolution is provided to measure a steering angle with high precision by means of a multi-magnet disc by removing hysteresis errors generated by backlash phenomena. A multi-magnet disc(200) is connected to a steering wheel in the center and attached with magnets(210) at both side surfaces. Hall sensors(230) measure magnetic fields generated by the magnets. A steering angle is calculated by using sine lines measured by the hall sensors.
Abstract translation: 提供高分辨率的转向角检测装置，通过消除由间隙现象产生的滞后误差，借助于多磁盘来高精度地测量转向角。 多磁盘（200）连接到中心的方向盘并且在两个侧表面处附接有磁体（210）。 霍尔传感器（230）测量由磁体产生的磁场。 通过使用由霍尔传感器测量的正弦线来计算转向角。
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公开(公告)号：KR100859669B1
公开(公告)日：2008-09-23
申请号：KR1020060109862
申请日：2006-11-08
IPC: H03K17/96
Abstract: 본 발명은 카운터부에서 측정된 신호를 저장할 수 있는 카운터 저장부를 구비하여, 카운터부에서 측정된 신호와 카운터 저장부에 저장된 신호의 차이값을 이용함으로써, 입력 커패시턴스의 경시변화 또는 주변 환경에 변화에 의한 커패시턴스의 증감을 자동 보정하여 안정적인 동작이 가능하게 하는 터치센서를 제공함에 목적이 있다.
본 발명의 터치센서는 감지된 정전용량의 변화를 전기 신호로 변환하여 출력하기 위한 신호발생부; 상기 신호발생부에서 발생한 전기 신호를 측정하여 상기 전기 신호의 현재 주파수의 크기를 출력하기 위한 카운터부; 상기 카운터부에서 측정된 상기 전기 신호의 이전에 발생한 전기 신호를 카운트한 직전 주파수의 크기를 출력하기 위한 직전 카운트부; 상기 현재 주파수의 크기와 상기 직전 주파수의 크기를 차감하기 위한 감산 처리부; 및 상기 감산 처리부로부터 출력되는 차감 카운트 신호와 카운트 신호를 비교하기 위한 비교 처리부를 포함한다.
센서, 정전용량, 커패시터, 스위치-
公开(公告)号：KR1020080041799A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：KR1020060109862
申请日：2006-11-08
IPC: H03K17/96
CPC classification number: H03K17/962 , H03K2217/960745
Abstract: A touch sensor is provided to prevent wrong operation due to capacitance change caused by noise by removing the noise with a filter unit and delaying a contact signal at a predetermined time with a delay unit. A touch sensor includes a signal generation unit(120), a counter unit(130), a previous count unit(140), a subtraction process unit(150), and a comparison process unit(170). The signal generation unit converts change of sensed electrostatic capacity into an electric signal(S1) to output the electric signal. The counter unit outputs a size of a current frequency(Cn) of the electric signal by measuring the electric signal generated from the signal generation unit for a predetermined time. The just previous count unit outputs a size of a just previous frequency(Cn-1) counted just before counting the size of the frequency outputted from the counter unit prior to a predetermined interval. The subtraction process unit subtracts the size of the current frequency and the size of the just previous frequency. The comparison process unit compares a subtracted count signal outputted from the subtraction process unit with a predetermined reference count signal.
Abstract translation: 提供了一种触摸传感器，用于通过用滤波器单元去除噪声并且用延迟单元在预定时间延迟接触信号来防止由噪声引起的电容变化引起的错误操作。 触摸传感器包括信号产生单元（120），计数器单元（130），先前计数单元（140），减法处理单元（150）和比较处理单元（170）。 信号发生单元将感测到的静电电容的变化转换成电信号（S1）以输出电信号。 计数器单元通过测量从信号生成单元产生的电信号预定时间来输出电信号的当前频率（Cn）的大小。 正好在前的计数单元输出在计数在预定间隔之前从计数器单元输出的频率的大小之前计数的刚刚前一个频率（Cn-1）的大小。 减法处理单元减去当前频率的大小和前一个频率的大小。 比较处理单元将从减法处理单元输出的减法计数信号与预定的基准计数信号进行比较。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100765149B1
公开(公告)日：2007-10-15
申请号：KR1020050093483
申请日：2005-10-05
CPC classification number: H04R19/016 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/029 , H04R2499/11
Abstract: A micro acoustic sensing apparatus and a manufacturing method thereof are provided to reduce the size of a die even with an anisotropic wet-type etching process since the shape of a vibration plate does not depend on the etching shape of a silicon substrate. A micro acoustic sensing apparatus includes a substrate unit(500), a backplate unit(510), and a vibration plate unit(520). The substrate unit(500) has a hole at the center thereof. The backplate unit(510) is formed on the substrate unit(500), is composed of an insulation film and a first conductive thin film, and has a plurality of holes at a place corresponding to the center of the substrate unit(500). The circumferential part of the vibration plate unit(520) is contacted to the insulation film of the backplate unit(510), and the central part thereof is separated from the center of the backplate unit(510) by a predetermined distance. The vibration plate unit(520) is composed of a second conductive thin film.
Abstract translation: 提供了一种微声感测装置及其制造方法，即使采用各向异性湿式蚀刻工艺也能减小模具的尺寸，因为振动板的形状不依赖于硅衬底的蚀刻形状。 微声传感装置包括基板单元（500），背板单元（510）和振动板单元（520）。 基板单元（500）在其中心具有孔。 背板单元（510）形成在基板单元（500）上，由绝缘膜和第一导电薄膜构成，并且在与基板单元（500）的中心对应的位置具有多个孔。 振动板单元（520）的圆周部分与背板单元（510）的绝缘膜接触，其中心部分与背板单元（510）的中心分开预定距离。 振动板单元（520）由第二导电薄膜构成。
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公开(公告)号：KR100576700B1
公开(公告)日：2006-05-08
申请号：KR1020050004204
申请日：2005-01-17
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/115 , G01T1/26 , H01L31/09
Abstract: 본 발명은 밀리미터파 감지 센서 및 그의 조립체에 관한 것으로, 히터 연결부와 부채 형상의 안테나 바디로 이루어진 안테나를 밀리미터파 감지 센서에 적용함으로써, 밀리미터파 수신 주파수 대역을 넓힐 수 있고, 반도체 제조공정으로 밀리미터파 감지 센서를 제조함으로서, 제조공정이 용이하고 대량생산할 수 있는 효과가 있다.
밀리미터파, 센서, 안테나, 부채, 히터Abstract translation: 本发明是一种毫米波传感器，并且通过应用本发明涉及其组装，与天线由扇形毫米波传感器的天线主体的加热器连接部分，有可能加宽毫米波接收频带，在半导体制造工序中的毫米波 通过制造传感器，制造过程很简单，可以进行批量生产。
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公开(公告)号：KR100555154B1
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020030098928
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01K7/02
Abstract: 본 발명은 밀리미터파 센서에 관한 것으로서, 소정의 DC드라이버 패드를 금속 신호선을 통해 안테나에 해당하는 밀리미터파 도파부와 연결시켜 DC전류를 입/출력시킬 수 있도록 함으로써 밀리미터파 도파부와 전기적으로 연결된 발열부에 소정의 열을 발생시키도록 하고, 더불어 소정의 온도감지부를 그 발열부의 주위에 형성하여 DC전류의 입/출력에 따라 발열부에서 발생하는 열을 감지하도록 함으로써, 외부에서 이를 이용해 DC전류를 조절하여 발열부가 항상 전이온도로 유지할 수 있도록 한다.
밀리미터파, 센서, 발열부, 온도, 감지, 전류-
公开(公告)号：KR100538716B1
公开(公告)日：2005-12-26
申请号：KR1020030098667
申请日：2003-12-29
Abstract: 웨이퍼 레벨의 본딩을 이용하여 마이크로 소자의 미세 구조물을 패키징을 하는 것으로 하부 기판에 형성되는 단자의 위치와 상부기판에 형성되는 하우징 어레이의 형상을 개선하여 마이크로 소자 칩의 수를 증가시킨다.
상부가 밀폐되고, 내부가 중공이며, 하부가 개방된 복수의 하우징이 형성되고, 복수의 하우징들이 만나는 꼭지점 부위에 구멍이 형성된 하우징 어레이와, 상기 하우징에 대향되는 위치에 마이크로 소자의 미세 구조물이 각기 형성되고, 상기 구멍에 대향되는 위치에는 단자가 형성되어 상기 하우징 어레이가 부착될 때 상기 미세 구조물이 밀폐되는 반도체 기판으로 이루어지고, 하우징 어레이의 하우징은, 종방향 및 횡방향으로 연속적으로 형성되고, 상기 하우징 어레이는, 팔각기둥 형상으로 하우징이 형성되어 하우징들이 만나는 꼭지점 부위에 사각기둥 형상으로 구멍이 형성되며, 상기 구멍은, 원기둥 또는 다각기둥으로 형성되고, 또는 상기 구멍은 비등방성 습식 식각을 이용하여 경사지게 형성된다.-
公开(公告)号：KR1020050066761A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030098113
申请日：2003-12-27
IPC: H04R19/04
Abstract: 본 발명은 정전용량형 마이크로폰 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 음향 감지 소자와 인쇄회로기판을 플립칩 본딩하고, 상기 음향 감지 소자의 진동판이 케이스의 관통홀에 대향되도록, 플립칩 본딩된 음향 감지 소자와 인쇄회로기판을 케이스에 삽입 및 고정시켜 정전용량형 마이크로폰을 제조한다.
따라서, 본 발명은 마이크로폰의 면적을 줄여 소형시킬 수 있으며, 얇은 간극이 있는 상부 및 하부 전극이 외부로 노출되지 않으므로 먼지 등의 불순물이 침투되지 않아 소자 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 캡을 접착시킨 후에 상부 및 하부 전극이 대기에 노출되지 않으므로, 청정도가 낮은 작업장에서도 제조 공정을 수행할 수 있으므로 제조 비용을 낮출 수 있는 효과가 있다.
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