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公开(公告)号：KR1020130107108A
公开(公告)日：2013-10-01
申请号：KR1020120028938
申请日：2012-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A thickness change measuring device and a thickness change measuring method are provided to precisely measure a change in the thickness of a target object and to measures a thickness change aspect of the whole surface of the target object. CONSTITUTION: A thickness change measuring device includes a light emitting unit (10), a double slit (30), a target object (20), a light position detecting unit (40), and a signal processing unit. The double slit includes a first opening (31) and a second opening (32) which are separated in a direction across a light progressing direction and transmits the lights. The target object is arranged between the light emitting unit and the double slit, thereby transmitting the lights. The light position detecting unit receives coherent lights formed by the lights transmitted through the first and second openings, thereby detecting a position change of coherent patterns. The signal processing unit receives signals from the light position detecting unit, thereby measuring a change in the thickness of the target object. [Reference numerals] (10) Light emitting unit; (80) Processing unit; (90) Transfer control unit; (91) Driving unit
Abstract translation: 目的：提供厚度变化测量装置和厚度变化测量方法，以精确地测量目标物体的厚度变化并测量目标物体的整个表面的厚度变化方面。 构成：厚度变化测量装置包括发光单元（10），双缝（30），目标物体（20），光位置检测单元（40）和信号处理单元。 双缝包括沿着光进行方向分离的第一开口（31）和第二开口（32），并且透光。 目标物体被布置在发光单元和双缝之间，从而传输光。 光位置检测单元接收由透过第一和第二开口的光形成的相干光，从而检测相干图案的位置变化。 信号处理单元从光位置检测单元接收信号，从而测量目标物体的厚度变化。 （附图标记）（10）发光单元; （80）处理单元; （90）转移控制单元; （91）驾驶单位
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公开(公告)号：KR1020120043519A
公开(公告)日：2012-05-04
申请号：KR1020100104855
申请日：2010-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A visibility enhanced interferometer is provided to improve the visibility because a reflected light signal is amplified to an auxiliary light source applied an injection locking method without a phase information change and becomes similar to a reference light signal. CONSTITUTION: A visibility enhanced interferometer comprises a main optical source unit(20), a light splitting unit(30), a reference surface reflection unit(40), a measuring surface reflection unit(50), and an optical detecting unit(60). The main optical source unit projects short wavelength light. The light splitting unit divides a light signal into two. The reference and measuring surface reflection units respectively reflect the light signals divided by the light splitting unit to each measuring surface of measuring objects. The light detecting unit observes the interference by gathering the reflected lights from the reference and measuring surface reflection units. The auxiliary light source unit amplifies weak reflected light so that the visibility is uniformly maintained.
Abstract translation: 目的：提供可见度增强型干涉仪以提高可见度，因为反射光信号被放大到辅助光源，而辅助光源则采用注入锁定方法而不会产生相位信息变化，并变得类似于参考光信号。 构成：可见度增强型干涉仪包括主光源单元（20），分光单元（30），参考表面反射单元（40），测量表面反射单元（50）和光学检测单元（60） 。 主光源单元投射短波长光。 光分离单元将光信号分为两个。 参考和测量表面反射单元分别将由光分离单元划分的光信号反映到测量对象的每个测量表面。 光检测单元通过从参考和测量表面反射单元收集反射光来观察干扰。 辅助光源单元放大弱反射光，使得能见度被均匀地保持。
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公开(公告)号：KR1020110050979A
公开(公告)日：2011-05-17
申请号：KR1020090107607
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring three dimensional shape of a subject is provided to detect abnormality of a subject such as a semiconductor module by measuring the three dimensional shape of the subject without the movement of the subject and the camera. CONSTITUTION: An apparatus for measuring three dimensional shape of a subject comprises a camera(300). The camera photographs a subject(100) such as a semiconductor module. A defocus unit(1) is installed on the front side of the camera to defocus a subject image incident to the camera. The defocus unit changes the refractive index or focal distance of the light.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量被检体的三维形状的装置，以通过在被检体和照相机的移动的状态下测量被检体的三维形状来检测被检体（例如半导体模块）的异常。 构成：用于测量被检体的三维形状的装置包括照相机（300）。 相机拍摄诸如半导体模块的对象（100）。 散焦单元（1）安装在照相机的前侧以使入射到相机的被摄体图像散焦。 散焦单元改变光的折射率或焦距。
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公开(公告)号：KR1020080110234A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：KR1020070058731
申请日：2007-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A head module of an atomic force microscope is provided to measure the bending of a cantilever and z-axis movement displacement of a probe simultaneously. A scanner(53) is formed of a piezo-electric ceramic element. A cantilever(55) is mounted at an end of a parent plate(50) attached to the scanner. A probe(57) is positioned at an end of the cantilever. A diffraction grid(72) generates at least two or more diffracted light beams(62,64,66) for a laser beam(60) generated in an optical unit. Detectors(82,84) detect the diffracted beams.
Abstract translation: 提供原子力显微镜的头模块以同时测量探针的弯曲和探头的z轴运动位移。 扫描器（53）由压电陶瓷元件形成。 悬臂（55）安装在安装在扫描仪上的母板（50）的一端。 探针（57）位于悬臂的末端。 衍射栅格（72）产生用于在光学单元中产生的激光束（60）的至少两个或更多个衍射光束（62,66,66）。 检测器（82,84）检测衍射光束。
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公开(公告)号：KR1020080097625A
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020070042722
申请日：2007-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A thermal expansion coefficient measuring interferometer and a method thereof are provided to measure thermal expansion coefficient more accurately by measuring the minute length change of a measurement object according to the temperature change. A thermal expansion coefficient measuring interferometer comprises a polarization beam splitter(220) and a plurality of corner cube prisms(232,234,236). The polarization beam splitter reflects and transmits a first beam and a second beam according to the polarization component so that the first beam is split into a third beam and a fourth beam and the second beam into a fifth beam and a sixth beam. The corner cube prism changes the beam path of the incident beam if at least one of the third beam and the sixth beam enters from the polarization beam splitter.
Abstract translation: 提供一种热膨胀系数测量干涉仪及其方法，通过根据温度变化测量测量对象的微小长度变化来更精确地测量热膨胀系数。 热膨胀系数测量干涉仪包括偏振分束器（220）和多个角立方棱镜（232,234,236）。 偏振分束器根据偏振分量反射和透射第一光束和第二光束，使得第一光束被分成第三光束，第四光束和第二光束分成第五光束和第六光束。 如果第三束和第六束中的至少一个从偏振分束器进入，则角隅棱镜改变入射光束的光束路径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101857601B1
公开(公告)日：2018-05-14
申请号：KR1020150151570
申请日：2015-10-30
IPC: G01F25/00 , G01F23/284 , G01F23/296 , G01C9/00 , G01K13/00 , G01W1/11 , G01L19/00 , G08C17/02 , G01S13/08 , G01S15/08
Abstract: 본발명은표준거리측정기 1, 2와비접촉식피교정수위계를통하여타켓의거리를각각측정한후 그측정값을비교하여피교정수위계의불확도를파악함으로써피교정수위계의교정이이루어질수 있도록하는비접촉식수위계의현장교정용표준교정시스템및 교정방법에관한것이다.본발명에따른비접촉식수위계의현장교정용표준교정시스템은교정테이블(100)에설치되어, 타켓(300)과의거리를측정하는표준거리측정기 1(110)과; 상기표준거리측정기 1(110)과이격되어교정테이블(100)에설치되어, 타켓(300)과의거리를측정하는표준거리측정기 2(120)와; 상기표준거리측정기 1(110)과표준거리측정기 2(120)의사이에서교정테이블(100)에설치되어, 비접촉식으로타켓(300)과의거리를측정하는비접촉식피교정수위계(130)와; 물을대신하여상기표준거리측정기 1(110)과표준거리측정기 2(120) 및비접촉식피교정수위계(130)에서송출되는신호를반사하는타켓(300)과; 상기표준거리측정기 1(110)과표준거리측정기 2(120) 및비접촉식피교정수위계(130)를통하여측정되는타켓(300)과의거리정보와, 표준거리측정기 1(110)과표준거리측정기 2(120) 사이의거리정보와, 상기타켓(300)의경사도정보를분석하여비접촉식피교정수위계(130)의불확도를산출하는수위계교정장치(500);를포함하여이루어지는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020150048971A
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：KR1020130128738
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학장치및 표면형상측정장치를제공한다. 이장치는광대역의가간섭광을조사하는광원부; 입력단으로상기광원부의입사광을제공받아제1 출력단및 제2 출력단으로상기제1 입사광및 제2 입사광을분기하는제1 광섬유커플러; 상기제1 광섬유커플러의제2 출력단으로부터제2 입사광을제공받는제1 단자, 상기제1 단자로부터제공받은상기제1 입사광을샘플에제공하는제2 단자, 및상기샘플에서반사된반사광을상기제2 단자로제공받아출력하는제3 단자를포함하는광 서큘레이터; 상기제1 광섬유커플러의제1 출력단으로부터제1 입사광을제공받는제1 입력단, 상기반사광을제공받는제2 입력단, 및상기제2 입사광과상기반사광을결합하여출력하는출력단을포함하는제2 광섬유커플러; 및상기제2 광섬유커플러의출력광을제공받아파장에따라간섭광의세기를측정하는스펙트럼분석기를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及光学装置和表面图案测量装置。 本发明包括：在宽带中闪烁相干光的光源部分; 第一光纤耦合器，其将来自所述光源部分的入射光接收到其入口部分中，并将第一入射光和第二入射光分别分离到第一输出部分和第二输出部分; 第一端子，接收来自第一光纤耦合器的第二输出部分的第二入射光; 接收从第一端子到第二端子的第一入射光作为样本的第二端子; 包括第三端子的光循环器，其接收从样品反射的反射光并将其输出; 第一输入部，其接收来自第一光纤耦合器的第一输出部的第一入射光; 接收反射光的第二输入部; 第二光纤耦合器，包括输出部分，其输出组合的第二入射光和反射光; 以及频谱分析仪，其接收来自第二光纤耦合器的输出光，并根据波长测量干涉光的强度。
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公开(公告)号：KR1020150005793A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130078751
申请日：2013-07-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/0201 , G01B9/02081 , G01B11/14 , G01N21/211 , G01N21/45 , G01N2021/213 , G01S17/36
Abstract: 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 두께 측정 방법은 제1 파장(λ
1 )의 제1 레이저 빔을 투명 기판에 조사시키고, 상기 투명 기판을 투과한 제1 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 제2 파장(λ
2 )의 제2 레이저 빔을 상기 투명 기판을 투과키고, 투과한 제2 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 및 상기 투명 기판을 투과한 상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 이용한 리사주(Lissajous) 그래프에서 회전각을 추출하는 단계;를 포함한다. 상기 제1 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이와 상기 제2 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이는 π/2를 유지한다.Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量方法包括：将具有第一波长（λ_1）的第一激光束照射到透明基板并测量穿透透明基板的第一激光束的强度的步骤; 将穿过具有第二波长（λ_2）的第二激光束穿透到透明基板并测量第二激光束的强度的步骤; 以及使用第一激光束和穿透透明基板的第二激光束从利萨如图提取旋转角度的步骤。 通过第一激光束的多次内反射，以及通过第二激光束的多次内反射，在相邻光线之间的相位差保持在π/ 2。
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公开(公告)号：KR101456545B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020130014369
申请日：2013-02-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 파이버 브래그 격자 필터(fiber Bragg grating filter), 파이버 브래그 격자 필터로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럴 주기를 추출하고, 스펙트럴 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101451176B1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：KR1020130023174
申请日：2013-03-05
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity), 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럼 주기를 추출하고, 스펙트럼 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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