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公开(公告)号:CN103649383A
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201380001605.6
申请日:2013-01-22
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor: 山形茂
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C03B2201/03 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明是一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,具有直筒部、弯曲部及底部,其特征在于,前述二氧化硅容器的外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,前述二氧化硅容器的内侧是由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成;于前述底部的内表面,形成厚度20μm以上且1000μm以下的二氧化硅玻璃层,所述二氧化硅玻璃层以超过300质量ppm且3000质量ppm以下的浓度含有OH基。由此,本发明提供一种低成本的单晶硅提拉用二氧化硅容器,可减低所提拉的单晶硅中的被称为孔隙或针孔的空洞缺陷。
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公开(公告)号:CN101511744B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200780033716.X
申请日:2007-09-11
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C4/10 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: 一种熔融石英玻璃,其对于波长245nm的紫外光,在10mm厚度内的内透过率为95%以上,OH含量为5ppm以下,Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上,另外,1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10-10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性,适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。
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公开(公告)号:CN101511744A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780033716.X
申请日:2007-09-11
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C4/10 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: 一种熔融石英玻璃,其对于波长245nm的紫外光,在10mm厚度内的内透过率为95%以上,OH含量为5ppm以下,Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上,另外,1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10-10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性,适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。
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公开(公告)号:CN100509669C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200380103744.6
申请日:2003-11-28
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03C2201/02 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/26
Abstract: 本发明的第一目的在于,提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性,并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法,特别是,不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于,提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体,特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率,且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm-1以上的高耐热性石英玻璃体的方法,其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理,获得致密玻璃体。
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公开(公告)号:CN101314515A
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200710106044.2
申请日:2007-05-30
Applicant: 久智光电子材料科技有限公司
IPC: C03B20/00 , C03B37/012
CPC classification number: C03B2201/03 , C03B2201/04
Abstract: 本发明公开了一种光纤预制棒用石英套管的生产方法,包括以下步骤:1.采用等离子卧式固相外沉积方式制砣;2.机械冷加工,即采用金属切割机床配合使用金刚石等磨具对石英砣的内孔、外圆进行磨削及珩磨加工;3.清洗干燥,即对石英净砣进行脱脂、酸洗,纯水冲洗干净,干燥,包装备用;4.中频无接触式拉管,将石英净砣吊于中频炉中,加热到一定温度,使其软化变形,用拉管机拉制成所需的石英套管,5.检验包装。本发明采用等离子体火焰加热,充分熔化原料,使石英毛坨中基本没有气泡;并且不会引入外界杂质,熔制的石英粉纯度高;熔制的石英粉具有低羟基的特点,二次成型采用中频加热,无氢氧来源,最终的石英套管的羟基含量低,耐温性能好。
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公开(公告)号:CN101137587A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200680007400.9
申请日:2006-02-08
Applicant: 德古萨诺瓦拉科技股份公司
CPC classification number: C03B19/12 , C03B2201/03 , C03C1/006 , C03C3/06 , C03C2201/02 , C03C2203/22 , C03C2203/26 , C03C2203/52
Abstract: 通过溶胶-凝胶过程制备整块制品的方法,其包括以下步骤:a.水解水溶液中的醇盐以形成水解产物,以及任选蒸发至最佳浓度,b.加入通过热解手段制得的氧化物,c.将醇盐的水解产物与通过热解手段制得的氧化物混合以形成溶胶,d.任选从该溶胶中除去粗内容物,e.在模具中使该溶胶凝胶化,f.任选用有机溶剂替换所得气凝胶中含有的水分,g.将该气凝胶干燥,h.热处理干燥过的气凝胶,从溶胶中除去粗内容物。
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公开(公告)号:CN101137586A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200680007296.3
申请日:2006-02-14
Applicant: 德古萨诺瓦拉科技股份公司
IPC: C03B19/12 , C03B37/016 , C03C3/06 , C03C1/00 , B01J13/00 , C01B33/158
CPC classification number: C03B19/12 , B01J13/0091 , C03B2201/03 , C03C1/006 , C03C2203/20 , C03C2203/26 , C03C2203/30 , C03C2203/34
Abstract: 用反溶胶-凝胶法制备整块玻璃的方法,其包括如下步骤:a)在水中分散通过热解途径制备的氧化物;b)在水溶液中水解醇盐,形成水解液;c)将醇盐的水解液与通过热解途径制备的氧化物混合形成溶胶;d)任选地从所述溶胶中去除粗粒料;e)在模具中胶凝所述溶胶;f)用有机溶剂置换所得到气凝胶中的水;g)干燥所述气凝胶;h)热处理所述干的气凝胶。
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公开(公告)号:CN1968903A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019852.4
申请日:2005-04-05
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/01 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C3/06
Abstract: 一种生产用于UV辐射源的石英玻璃元件的常规方法,包括熔化含SiO2的晶粒,本发明的目的是提供一种改进和廉价的方法,其能生产特征在于高耐辐射性的石英玻璃元件。为此,熔化合成产生的石英晶体得到由石英玻璃组成并含有羟基数量大于SiH基数量的初始产品。为了除去SiH基,在至少850℃的温度下对初始产品进行回火步骤,由此得到石英玻璃元件。本发明的石英玻璃元件特征在于石英玻璃由合成产生的石英晶体熔化而成,并具有小于5×1017个分子/cm3的SiH基含量。本发明还涉及测试供UV辐射源使用的石英玻璃元件的适应性的方法。
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公开(公告)号:CN1540041A
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN200410032342.8
申请日:2004-04-02
Applicant: 日本超精石英株式会社
IPC: C30B15/10 , C03C3/06 , C03B5/02 , C01B33/113
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/095 , C03B2201/03 , C30B15/10 , C30B29/06 , Y10S117/90 , Y10T117/1032 , Y10T117/1052
Abstract: 本发明提供了一种内部杂质浓度较低的高纯度石英坩埚及其制造方法。通过高纯度石英玻璃坩埚的制造方法制造出这样一种坩埚:从内侧表面开始1mm深度以内所含的Na和Li每一种的含量至少小于0.05ppm,其中,在通过电弧等离子体加热位于中空的旋转模具内表面上的原料石英粉来制造石英坩埚时,通过在模具和电弧极之间施加电压、以便将熔融石英玻璃层内含有的杂质金属迁移到外侧,来提高熔融石英粉层的纯度。该方法包括:在电弧熔解过程中将电弧极的电位保持在±500V范围内,向与地绝缘的模具施加-1000V到-20000V的电压,向外侧的未熔石英粉层施加高压。
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公开(公告)号:CN1413169A
公开(公告)日:2003-04-23
申请号:CN00817608.6
申请日:2000-12-28
CPC classification number: C03B19/1065 , C01B33/16 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C1/006
Abstract: 本发明涉及通过对含水硅胶进行冻结、解冻、除去解离水的水分使含水硅胶脱水,得到二氧化硅粒子。另外,再通过对得到的二氧化硅粒子进行洗涤、焙烧制造合成石英玻璃粉末。另外,使水玻璃脱碱,添加氧化剂和酸,通过氢型阳离子交换树脂,接着,使该二氧化硅水溶液凝胶化,再通过洗涤、焙烧制造合成石英粉。或者,通过分别在150~400℃、500~700℃、接着,在1100℃~1300℃下,将二氧化硅保持一定时间,制造石英玻璃。
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