公开(公告)号：CN105439441B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201510614780.3

申请日：2015-09-24

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C21/007 ,  C03C23/00 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。

公开(公告)号：CN107250071A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201580075988.0

申请日：2015-12-09

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： S·安纳马莱 ,  C·A·杜兰 ,  K·E·贺迪纳

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  C03B25/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/112 ,  C03C4/00 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2203/52

Abstract: 提供了掺杂的二氧化硅‑二氧化钛玻璃制品，其包括具有一种玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含(i)二氧化硅‑二氧化钛基础玻璃、(ii)氟掺杂剂和(iii)第二掺杂剂。所述氟掺杂剂的氟浓度最高为5重量％，并且所述第二掺杂剂包含一种或多种氧化物，所述氧化物选自Al氧化物、Nb氧化物、Ta氧化物、B氧化物、Na氧化物、K氧化物、Mg氧化物、Ca氧化物和Li氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6重量％。此外，所述玻璃制品的膨胀率斜率为在20℃下小于0.5ppb/K2。所述第二掺杂剂可以是任选的。所述玻璃制品的组成还可以含有小于100ppm的OH浓度。

公开(公告)号：CN105683102A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480061478.3

申请日：2014-11-06

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥克斯 ,  K.贝克

IPC: C03B19/06 ,  C03B19/10 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/066 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1095 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  C03C2204/00 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明涉及由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其中热膨胀系数在使用温度下尽可能稳定地保持为零。Ti-掺杂石英玻璃的热膨胀系数分布取决于多个影响因素。除绝对钛含量外，钛的分布以及其它掺杂元素，如氟的含量和分布非常重要。根据本发明提出一种方法，其包括产生氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO2-SiO2烟灰粒子的方法步骤和使所述TiO2-SiO2烟灰粒子在移动粉末床中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子的后续方法步骤。

公开(公告)号：CN105073657A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201480016859.X

申请日：2014-03-18

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 安德里亚斯·朗纳 ,  格哈德·肖茨 ,  马里奥·祖赫 ,  马尔特·斯威林 ,  马丁·特罗姆尔 ,  斯蒂芬·格林姆 ,  安德烈·卡里德 ,  马丁·莱希 ,  弗洛里安·尤斯特

IPC: C03B19/12 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G02B1/00

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/54

Abstract: 本发明描述了一种用于生产石英玻璃的方法，其不仅包括将石英玻璃掺杂稀土元素和/或过渡金属，还包括氟化石英玻璃。作为现在描述的方法的结果，掺杂物能够被避免在氟化期间扩散。此外，本发明还涉及可通过根据本发明的方法获得的石英玻璃，以及其作为激光主动石英玻璃在生产导光结构和光学应用中的应用。

公开(公告)号：CN104898200A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510359450.4

申请日：2015-06-25

Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司

Inventor： 张磊 ,  龙胜亚 ,  朱继红 ,  吴俊 ,  王瑞春

IPC: G02B6/028 ,  G02B6/036

CPC classification number: G02B6/03683 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2213/00 ,  G02B6/02009 ,  G02B6/0286 ,  G02B6/03661

Abstract: 本发明涉及一种掺杂优化的超低衰减单模光纤，包括有芯层，芯层外从内向外依次包覆内包层，下陷内包层，辅助外包层和外包层，其特征在于芯层中氟的含量小于或等于0.5wt％，锗的相对折射率贡献量小于或等于0.12％，Δn1小于或等于0.12％，内包层中氟的含量为0.5-1.5wt％，Δn2小于或等于-0.14％，下陷内包层中氟的含量为1-3wt％，Δn3小于或等于-0.25％，辅助外包层中氟的含量为0.5-2wt，Δn4小于或等于-0.14％，所述的外包层为纯二氧化硅玻璃层和/或金属掺杂的二氧化硅玻璃层。本发明降低了芯层粘度，使其能与内薄层和下陷包层更好的匹配，并结合金属掺杂的匹配粘度外包层，整体降低光纤虚拟温度，同时通过下陷包层设计，抑制基模泄露，从而实现超低衰减性能。

公开(公告)号：CN101999197B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN200980112786.3

申请日：2009-11-16

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 中熊映乃 ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

IPC: H01S3/06 ,  G02B6/02 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: 本发明的掺镱光纤，具备：含有镱、铝及磷且不含有锗的纤芯，以及包围该纤芯的包层；上述的纤芯中的、上述镱的氧化镱换算浓度为0.09～0.68摩尔％，上述纤芯中的、上述磷的五氧化二磷换算浓度与上述氧化镱换算浓度的摩尔比为3～30，上述纤芯中的、上述铝氧化铝换算浓度与上述氧化镱换算浓度的摩尔比为3～32，上述氧化铝换算浓度与上述五氧化二磷换算浓度的摩尔比为1～2.5。

公开(公告)号：CN102791643B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201180013182.0

申请日：2011-03-10

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： R.萨特曼 ,  J.菲德拉 ,  M.许纳曼

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/027 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036

CPC classification number: C03B37/02754 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01242 ,  C03B37/018 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/30 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  Y10T428/2935

Abstract: 公开了一种用于通过拉伸一个石英玻璃预成型件或多个石英玻璃部件的共轴组合件来生产光纤的方法，借此获得了一种纤维，这种纤维具有一个芯区域、一个包裹该芯区域的内壳区域、一个围绕该内壳区域的环区域。对于由此出发的一种方法，其中该方法提供了一种管状半成品以及一种多部件的共轴组合件以便成本低廉地制造以芯和壳之间的高界面品质和较小的弯曲不敏感性而突出的光纤，根据本发明提出了，该环区域的石英玻璃是以一种由石英玻璃制成的、具有至少6000重量ppm的中等氟含量的环区域管的形式进行制备，该环区域管具有由一个管内表面和一个管外表面限定的一个壁，其中跨该环区域管壁设置了一种径向的氟浓度分布曲线，该分布曲线具有一个层厚度至少为1μm且最大为10μm的内部氟贫化层，在该层中氟含量朝向管内表面而下降并且在一个具有1μm厚度的、接近表面的区域中该氟含量为最大3000重量ppm。

公开(公告)号：CN101061075B

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN200680001203.6

申请日：2006-03-30

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： J·韦伯 ,  T·波格 ,  M·特罗默 ,  B·库恩 ,  U·基尔斯特 ,  W·韦德克尔

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/09 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/32 ,  C03C15/00 ,  C03C19/00 ,  C03C23/0025 ,  C03C23/006 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/54 ,  C30B25/12 ,  C30B31/14 ,  C30B35/00 ,  Y02P40/57

Abstract: 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。

公开(公告)号：CN101891380B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010229123.4

申请日：2010-07-13

Applicant: 长飞光纤光缆有限公司

Inventor： 杨晨 ,  韩庆荣 ,  童维军 ,  罗杰 ,  刘泳涛

IPC: C03B37/018

CPC classification number: G02B6/0285 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/014 ,  C03B37/0183 ,  C03B37/01892 ,  C03B37/02754 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/86 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/09 ,  C03B2205/14 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/31 ,  C03C2203/40 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/0283 ,  G02B6/03633 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明涉及一种大尺寸光纤预制棒及其光纤的制造方法，以掺氟衬管作为基底管沉积各包层和芯层并熔缩成实心芯棒，然后将实心芯棒与套管组成预制棒，或者在实心芯棒表面再沉积外包层部分直接形成芯棒在拉丝塔上进行拉丝。也可以对预制棒或实心棒进行拉伸后再拉丝。拉丝过程中对光纤进行两层涂料的涂覆，得到高抗疲劳参数的弯曲不敏感的低水峰单模光纤。该制造方法的预制棒尺寸大，单根预制棒拉丝长度长，工艺较简单，成本较低，非常适合规模化生产。该方法制造的光纤具有低水峰的特性，同时具有极低的因弯曲而引起的光损耗，而且具有较高的抗疲劳参数，特别适合于光纤在小弯曲半径下的使用，如应用于光纤接入网(FTTx)或者小型化的光器件中。

公开(公告)号：CN101959818A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107137.4

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。