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公开(公告)号：CN102297721B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110133214.2
申请日：2011-05-23
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
CPC classification number: G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
Abstract: 本发明提供了一种易于调节聚焦的、可实现无色差的、可保持偏振特性的且结构简单的斜入射宽带光谱仪。该斜入射宽带光谱仪包含至少一个偏振器、至少一个曲面反射元件和至少两个平面反射元件。该斜入射宽带光谱仪利用平面反射元件改变光束传播方向，并且可补偿因反射聚光单元引起的偏振变化，使得光束经偏振器后的偏振特性在斜入射并会聚于样品表面时保持不变。本发明的斜入射宽带光谱仪能够高精确度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌。
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公开(公告)号：CN103119407A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180033060.8
申请日：2011-06-07
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/4531 , G01J3/4532
Abstract: 所要保护的发明涉及一种干涉光谱分析设备并且能被用于不同技术领域中的光谱分析。本发明解决了增强光谱仪的光学特性的问题，其中通过采用最小数目的以低成本制造的光学元件减少了由于像差导致的来自物体的辐射光的损耗。这一问题得以解决是由于静态傅里叶光谱仪包括输入准直器，其光学连接到干涉测量单元，干涉测量元件包括光学分束器和至少两个反射镜，它们被布置为使得能够产生位于反射镜以及图像记录装置的平面中的干涉图案，图像记录装置借助于投影系统光学连接到干涉测量单元，使得所述干涉图案的图像能够被投影到图像记录装置上，其中投影系统包括球面镜和相对于反射镜的光学表面的法线位于中心的透镜类型的物镜，并且反射镜和透镜类型的物镜被设计成使光辐射能够从干涉测量单元穿过透镜类型的物镜到达球面镜，所述光辐射被所述球面镜反射并且穿过同一个透镜类型的物镜到达记录装置。
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公开(公告)号：CN102971823A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201180033884.5
申请日：2011-07-08
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC classification number: G01J3/0262 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01N21/9501 , G01N21/95684 , G01N2021/8825 , G01N2021/95653 , H01J37/226 , H01J37/3005 , H01J37/3056 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于处理衬底的带电粒子束系统被公开，其包括：带电粒子镜筒；组合红外辐射和可见光照射与成像子系统；真空中的光学器件；以及精密镜台，所述精密镜台用于支撑所述衬底并且将所述衬底交替地定位在所述带电粒子镜筒和所述成像系统下面。所述带电粒子镜筒和成像系统的轴被偏移，以实现对于成像和射束处理两者而言与在单个集成组件中将是可能的工作距离相比近得多的工作距离。一种用于极准确地校准所述镜筒与成像系统之间的偏移的方法被公开，实现了在所述衬底上的精确确定的位置处的射束处理。所述成像系统能够定位所述衬底上的不能够使用所述带电粒子束看见的子表面特征。两个照射模式被公开，实现了采用红外辐射和可见光的明场成像和暗场成像两者。
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公开(公告)号：CN102782465A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180011869.0
申请日：2011-01-14
Applicant: 科学技术设备委员会
Inventor： H·莫特梅尔
CPC classification number: G01J3/02 , G01B9/0209 , G01J3/0208 , G01J3/4531 , G01J3/4532
Abstract: 公开了一种干涉仪，例如该干涉仪可以并入到手持分光计中。干涉仪包括环绕路径光学器件和检测器，环绕路径光学器件包括分束器（210）和至少两个反射元件（221，222），分束器被布置为将输入光束（205）分为第一光束和第二光束（231、232）。环绕路径光学器件被布置为将第一光束和第二光束围绕环绕某一区域的路径在相反方向上引导并且朝向检测器（250）输出第一光束和第二光束。环绕路径光学器件还将第一光束和第二光束聚焦在检测器上。检测器被布置为检测由第一光束和第二光束产生的图案。在优选实施方式中，两个反射元件是一对凹面镜并且环绕路径光学器件环绕三角形区域。使用凹面镜用于反射和聚焦提供了紧凑的干涉仪。
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公开(公告)号：CN102713541A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080052222.8
申请日：2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519589A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110328670.2
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 本发明涉及一种分光器(1)，其具备：封装体(2)，其具有设有导光部(7)的直方体箱状的罩(4)、堵塞罩的开口部分的矩形板状的管座(5)；支撑构件(29)，其配置于管座(5)；基板(11)，其接合于支撑构件(29)；光检测元件(12)，其装载于基板(11)；分光部(13)，配置于基板(11)和管座(5)之间，将从导光部(7)入射的光分光，并反射于光检测元件(12)。
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公开(公告)号：CN102498374A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080038143.1
申请日：2010-07-28
Applicant: NEC软件系统科技有限公司
Inventor： 上村一平
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/1895 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/51 , G02B5/1809 , G02B5/204 , G02B27/1013 , G02B27/1086 , G02B27/4244
Abstract: 本发明公开一种光学单元，该光学单元具有将透射光分光的滤光片部件(1)和具有多个光接收元件的光检测器(2)。该滤光片部件(1)具有透光性的基板、包括第一金属材料并且形成在该基板的一个表面上的多个凸部、和包括具有比第一金属材料高的折射系数的第二金属材料，并且形成为覆盖该多个凸部以及该基板的一个表面的金属膜。该多个凸部设置成使得位于相邻凸部之间的金属膜用作衍射光栅，而该凸部用作波导。设定所述衍射光栅的光栅周期、所述凸部的高度和所述金属膜的厚度的其中至少一个，使得透过该滤光片部件的光的波长对于每个部分变化，而对于每个所述部分为不同的值。光探测器(2)设置成使得该多个光接收元件(21)的每个接收透过该滤光片部件(1)的光。
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公开(公告)号：CN102472664A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080035565.3
申请日：2010-08-10
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： R.夫卢特斯 , R.T.J.穆伊杰斯 , H.A.W.施梅茨
CPC classification number: H04N9/045 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/2803 , H04N9/097
Abstract: 一种多光谱摄影机包括具有至少一个允许光穿过的孔洞（203）的光阻断元件（201）。发散元件（205）在取决于波长的不同方向上分散来自所述至少一个孔洞（203）的光，并且透镜（207）把来自所述发散元件（205）的光聚焦在像平面（209）上。微透镜阵列（211）接收来自所述透镜（207）的光，图像传感器（213）接收来自所述微透镜阵列（211）的光并且生成包括对应于所述图像传感器（213）的各个像素的入射光数值的像素值信号。处理器随后从所述像素值信号生成多光谱图像。所述方法可以允许单次瞬时传感器测量以提供包括至少一个空间维度和一个光谱维度的多光谱图像。可以通过对传感器输出进行后处理来生成所述多光谱图像，并且不需要物理滤光或移动部件。
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公开(公告)号：CN102466520A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010539818.2
申请日：2010-11-11
Applicant: 香港纺织及成衣研发中心
CPC classification number: G01J3/52 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0235 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/51 , G01J3/524 , G01J2003/1226 , G01J2003/2826 , G01N2021/1776 , H04N9/73
Abstract: 本发明公开了一种多光谱成像颜色测量系统及其成像信号处理方法。多光谱成像颜色测量系统包括黑室、载样台和用于拍摄被测物体的成像系统，还包括用于为所述成像系统提供具有高度空间均匀性的照明环境的可控照明系统、用于过滤所述可控照明系统发出的经所述被测样品反射的反射光并为所述成像系统提供合适波长的光带以便成像的滤光片轮系统、用于对所述成像系统拍摄的图像进行校准和反射重构成像信号处理系统以及用于控制多光谱成像颜色测量系统中各部分运行的电子控制系统。本发明多光谱成像颜色测量系统及其成像信号处理方法可以克服传统色度成像系统和分光光度计系统精确度不够的缺点，为纺织工业用户提供高精度颜色测量和评定的基本功能。
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公开(公告)号：CN102466518A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110048587.X
申请日：2011-03-01
Applicant: 中国医药大学
CPC classification number: G02B21/002 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0291 , G01J3/12 , G01J3/2823 , G02B21/367
Abstract: 本发明公开一种显微扫描系统及其方法，该显微扫描系统包含有一显微镜装置、一继光镜装置、一步进马达以及一超光谱仪装置。显微镜装置，用来撷取并放大一待测物的一影像以形成一放大影像，放大影像延一第一方向及一第二方向呈二维分布。继光镜装置，设置于显微镜装置之后，用来接收并传递显微镜装置所输出的放大影像。步进马达，电连接于继光镜装置，用来渐次地沿第二方向直线地于第一方向上往复移动继光镜装置。超光谱仪装置设置于继光镜装置之后，用来接收继光镜装置沿第二方向依序传递待测物于第一方向的部分放大影像，并将其转换成一相对应的光谱资讯。
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