公开(公告)号：CN103582830B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201280023954.3

申请日：2012-04-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 藁科祯久 ,  铃木智史 ,  笠森浩平

IPC: G02B5/10 ,  B81C1/00 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B1/115 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02056 ,  G01J3/4535 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0841

Abstract: 本发明所涉及的光学部件的制造方法是一种制造光透性光学部件（12）的方法，所包含的工序为：第1蚀刻工序，蚀刻板状构件的硅区域（11）并形成凹部；热氧化工序，使凹部的内侧面热氧化并形成氧化硅膜（14）；氮化膜形成工序，形成覆盖氧化硅膜（14）的氮化硅膜（16）。由此，就能够实现在相对于基板面成大倾斜（或者接近于垂直）的半透过反射面上可以均匀地形成氧化硅膜的光学部件的制作方法、以及由该方法进行制作的光学部件。

公开(公告)号：CN104145177A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201380011702.3

申请日：2013-02-27

Applicant: 国立大学法人香川大学

Inventor： 石丸伊知郎

IPC: G01J3/453 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  A61B5/145 ,  A61B5/1455

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/6887 ,  A61B5/7257 ,  A61B2562/0233 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/0207 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/255 ,  G01N21/359 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0612

Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。

公开(公告)号：CN103201603A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201180052338.6

申请日：2011-09-06

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 平尾祐亮

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01B9/02061 ,  G01J3/4535

Abstract: 干涉仪（1）基于参照光检测器（25）的检测结果来检测移动镜（16）的位置，并且对测定干涉光进行计测，参照光源（21）构成为包含由半导体激光器构成的光源（21a）。参照光学系统（20）具有将从参照光源（21）射出的激光变换成准直光的参照光用准直光学系统（22），上述准直光相对固定镜（15）倾斜入射。

公开(公告)号：CN102175327A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201110033824.5

申请日：2011-01-31

Applicant: 重庆大学

Inventor： 温志渝 ,  莫祥霞 ,  张智海 ,  郭媛君 ,  王伟

IPC: G01J3/45 ,  G02B26/08

CPC classification number: G01J3/4535 ,  G01J3/4532

Abstract: 本发明提出一种平动光栅光阀傅里叶微型光谱仪，采用MEMS技术，光谱分析技术，傅里叶数字变换技术；系统中包括光源，准直系统，成像系统，可编程空间光调制器阵列，和单个探测器件；激光波面到调制器处，会发生波面分割，一部分光从上表面反射，另一部分从下表面反射，两束为相干光发生干涉；通过静电驱动改变可编程空间光调制器上下表面之间的高度差，从而改变相干光光程差，实现干涉条纹调制；由单探测器测得光能量变化，利用傅里叶数字变换技术和光程差校正技术，测得样品信息；无需使用传统分光光栅或离子分束器，实现单一器件既分光又选通双重功能，简化系统，缩短光路，使得器件结构更加紧凑，集成度高，可广泛应用于各类生产研究中。

公开(公告)号：CN101583857A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200780049736.6

申请日：2007-12-07

Applicant: SAS光子学有限责任公司

Inventor： G·雷斯勒 ,  D·W·施廷

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/453 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/4535 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0286

Abstract: 一种傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪(1)包括固定组件(40)，其包括相互固定定位的外壳(41)，分束器(4)，以及镜子(9)。活动组件(22)包括相互固定定位的外壳(21)，镜子(8)，以及电动机线圈(25)。第一板簧(27a)具有用于为经过其中的射线提供无障碍光学路径的开口。第一板簧的第一端固定到固定组件，并且第一板簧的第二端固定到活动组件，用于经由第一板簧为活动组件提供相对于固定组件的运动。固定组件的分束器、镜子和活动组件的镜子之间的光学关系被保持成独立于活动组件和固定组件之间的距离。

公开(公告)号：CN101084419A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200580043683.8

申请日：2005-12-16

Applicant: 福斯分析公司

Inventor： H·V·朱尔

IPC: G01J3/453 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/4535 ,  G01J3/28 ,  G01N21/274 ,  G01N21/276 ,  G01N21/359 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/127

Abstract: 本发明提供了基于光谱仪内自然存在的大气成分的光谱图来校准红外光谱仪的方法。本发明还提供了应用该方法的光谱仪。该方法在所记录光谱内选择光谱图，并确定用于一特性的，取决于波长的位置值，诸如图的中点。将该值和可从校准用仪器所记录的光谱中获取的参考值进行比较，可确定校准公式。优选地将来自CO2(g)的位于2350cm－1附近的吸收峰作为所选图。该方法无需使用参考样品，并使得校准和对感兴趣样品的光谱记录同时进行。

公开(公告)号：CN1075630C

公开(公告)日：2001-11-28

申请号：CN96102997.8

申请日：1996-03-28

Applicant: 迪维安公司

Inventor： 伊凡·普里克里尔 ,  霍利斯·奥尼尔·霍尔Ⅱ

IPC: G01J3/453 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J9/02

Abstract: 一种干涉仪，包括：将光源分为测试与参考光束的分束器，探测干涉图样的图象装置，测试光束反射镜，参考光束微反射镜，参考光束聚焦装置，和对光探测器。微反射镜的横向尺寸小于参考光束中心波瓣的横向尺寸，空间滤光器用以减少象差，包括置于透明基体上的反射器，反射器横向尺寸小于会聚其上的光束空间强度分布中心波瓣的横向尺寸。还提供一种在该测试系统中的滤光方法。可消除象差影响，并且在对光操作中不必改变干燥仪的配置。

公开(公告)号：CN1053686A

公开(公告)日：1991-08-07

申请号：CN90110257.1

申请日：1990-12-29

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 吉川治

IPC: G02B7/18 ,  G01J3/00

CPC classification number: G01J3/4535 ,  H02P23/22

Abstract: 本发明揭示了一种用来控制干涉仪中可动镜往复运动的方法和装置，其中，首先设定一与所需的可动镜往复速度相应的分频比，然后根据该分频比对来自一振荡器的一脉冲信号进行分频以便产生一分频后的信号，然后将该分频信号与一干涉信号进行比较以产生一控制可动镜往复速度的一误差信号。最好，该分频信号能加以改变，使使用者能按需要改变与所使用的检测器类型相适应的可动镜往复速度，从而能在最佳条件下进行测量。

公开(公告)号：KR1020030004450A

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：KR1020027016150

申请日：2001-05-17

Applicant: 라이프스캔, 인코포레이티드

Inventor： 데브레체니,마틴피. ,  오닐,마이클피.

IPC: G01N21/35

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  G01J3/453 ,  G01J3/4535 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595

Abstract: 저 투과율의 샘플에서 적어도 하나의 분석물의 유무 및/또는 농도를 측정하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 본 방법에서, 전방빔 및 후방빔은 적어도 하나의 적외선 방사원으로부터 간섭계에 의해 발생되거나 또는 간섭계로 도입된다. 전방빔은 샘플로 통과하고, 다음에 샘플빔을 발생하도록 수집되고, 한편 후방빔은 기준물로 통과하여 기준빔을 발생하도록 수집된다. 샘플빔 및 기준빔은 재조합되어 단일 검출기에서 검출되는 광학적 무효빔이 되거나 또는 2개의 분리된 검출기에서 검출된 후 전자적으로 무효로 된다. 샘플에서 적어도 하나의 분석물의 유무 및 가끔 양은 검출된 무효빔으로부터 유도된다. 또한, 상기 방법들을 실시하는 장치들도 제공된다. 본 방법 및 장치들은 혈액, 조직 또는 이들의 유도체와 같은 생리적 샘플에서 하나 이상의 혈액 분석물의 유무 및 양의 검출을 포함하는 여러 가지 다른 적용분야에 사용하기에 적합하다.

公开(公告)号：KR101828100B1

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：KR1020127028765

申请日：2012-04-26

Applicant: 포스 애널리터컬 에이/에스

Inventor： 폴켄베르크,야콥 ,  라르센,한스

IPC: G01B9/02 ,  G01J3/453

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535

Abstract: 입사광선을반사빔경로를따르는반사빔및 투과빙경로를따르는투과빔으로분할시키는빔스플리터(40)를구비한주사간섭계(40,42,44); 기준빔을간섭계(40,42,44)에발사시키되, 제1 전파경로(62)를따라빔스플리터(40)의제1면(40′)에초기입사되도록발사시키는단파장광방사원(52); 관측빔(64)을간섭계(4,6,8)에발사시키되, 제2 전파경로(66)을따라빔스플리터(40)의제1면(40′)에초기입사되어제1면(40′)에서기준빔에중첩되도록발사시키는관측광방사원(46)을포함하며, 상기방사원들(52;46)은공조하여, 두빔이제1면(40′)에초기에동시입사할때 각각의제1 전파경로(62)와제2 전파경로(66)와평행한상기두 빔의전파방향사이에관측빔(64)의반(半)-발산각(α)보다큰 제1 각도(θ)를생성하는것을특징으로하는분광측정장치(38).

Abstract translation: 与分束器40设置用于根据沿着传输和冰路径反射光束扫描路径干涉仪（40,42,44）的反射光束与入射光束分离成透射束; Sikidoe击发参考光束干涉仪（40,42,44），所述第一传播路径短波长的光辐射源（52），用于烧制使得初始入射沿62分束器40议程第一表面40”上; Sikidoe击发观察光束（64）与干涉仪（4,6,8），沿着第二传播路径66“最初入射到第一表面上（40分束器40，第一议程表面40”） 并且辐射源52和46协作以使两个光束中的每一个入射在第一表面40'上， 其特征在于，用于产生比每个发散大的第一角度（θ）（α） - 62沃赫第二传播路径66和两个光束的平行hansanggi传播方向之间的路径观测光束（64）uiban（半） 光谱仪38。