公开(公告)号：WO2017162455A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：PCT/EP2017/055773

申请日：2017-03-13

Applicant: UNITY SEMICONDUCTOR

Inventor： FRESQUET, Gilles ,  COURTEVILLE, Alain ,  GASTALDO, Philippe

IPC: G01B11/24 ,  G02B21/00 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01B11/24 ,  G01B2210/50 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0064 ,  H01L22/12

Abstract: The present invention concerns a confocal chromatic device for inspecting the surface of an object (10) such as a wafer, comprising a plurality of optical measurement channels with collection apertures (14) arranged for collecting the light reflected by the object (10) through a chromatic lens (13) at a plurality of measurement points (15), and a magnifying lens (31) arranged for introducing a variable or changeable scaling factor between the spatial repartition of the collection apertures (14) and the measurement points (15). The present invention concerns also a method for inspecting the surface of an object (10) such as a wafer comprising tridimensional structures (11).

Abstract translation: 本发明涉及用于检查诸如晶片的物体（10）的表面的共焦彩色装置，其包括具有收集孔（14）的多个光学测量通道，所述收集孔布置成用于收集反射的光 （10）通过在多个测量点（15）处的彩色透镜（13）以及放大透镜（31），所述放大透镜布置成用于在收集孔（14）的空间重新分布和/ 和测量点（15）。 本发明还涉及用于检查诸如包括三维结构（11）的晶片的物体（10）的表面的方法。

公开(公告)号：WO2015143378A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：PCT/US2015/021843

申请日：2015-03-20

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andy (Andrew) ,  ABRAMOV, Avi

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J1/0228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2201/06 ,  G03F7/70633

Abstract: Methods and systems are provided, which pattern an illumination of a metrology target with respect to spectral ranges and/or polarizations, illuminate a metrology target by the patterned illumination, and measure radiation scattered from the target by directing, at a pupil plane, selected pupil plane pixels from a to respective single detector(s) by applying a collection pattern to the pupil plane pixels. Single detector measurements (compressive sensing) has increased light sensitivity which is utilized to pattern the illumination and further enhance the information content of detected scattered radiation with respect to predefined metrology parameters.

Abstract translation: 提供了方法和系统，其针对光谱范围和/或偏振来对计量目标进行照明，通过图案化照明照亮度量目标，并且通过在瞳孔平面指导所选择的瞳孔来测量从目标散射的辐射 通过将收集图案应用于瞳孔平面像素，从一个或多个单个检测器的平面像素。 单个检测器测量（压缩感测）具有增加的光敏度，其用于对照明进行图案化，并且相对于预定义的度量参数进一步增强检测到的散射辐射的信息内容。

公开(公告)号：WO2013130183A1

公开(公告)日：2013-09-06

申请号：PCT/US2013/021378

申请日：2013-01-14

Applicant: BIO-RAD LABORATORIES, INC.

Inventor： HILLENDAHL, James W. ,  PEREZ, Evelio

IPC: H01L27/00

CPC classification number: F21V21/005 ,  F21V9/083 ,  F21V13/02 ,  G01N21/255 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6456 ,  G01N27/447 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/0626 ,  G01N2201/0635

Abstract: A planar sample, particularly of the type used in biological laboratories for detection and sometimes analysis of two-dimensional arrays of proteins, nucleic acids, or other biological species, is illuminated by epi-illumination using optically filtered line lights that are arranged along opposing parallel sides of a rectangle in which the sample array resides, with two coaxial line lights on each side of the rectangle, and the two on any given side being separated by a gap whose optimal width depends on the wavelength band transmitted by the optical filter. Surprisingly, the gap eliminates the peak in intensity at the center of the sample area and the decrease that occurs from the center outward that would otherwise occur with a single continuous filtered line light, producing instead a substantially uniform intensity along the direction parallel to the line lights.

Abstract translation: 平面样品，特别是用于生物实验室中用于检测和有时分析蛋白质，核酸或其他生物物种的二维阵列的类型的样品，通过使用沿着相对的平行排列的光学滤波的线光照射外照射 其中样品阵列所在的矩形的边，在矩形的每一侧具有两根同轴线灯，并且任一给定侧上的两个被一个间隙隔开，该间隙的最佳宽度取决于由滤光器传输的波长带。 令人惊奇的是，间隙消除了样品区域中心处的强度峰值以及从中心向外发生的减少，否则这将以单个连续过滤的线路光发生，从而产生沿着平行于线的方向的基本均匀的强度 灯。

公开(公告)号：EP3141895A1

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：EP15812869.4

申请日：2015-09-01

Applicant: Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.

Inventor： KAGAWA, Shuji ,  HECHT, Henrik ,  SATO, Kana ,  TOMOYOSE, Tamaki

IPC: G01N31/00 ,  G01N31/12

CPC classification number: G01N21/274 ,  G01N1/24 ,  G01N1/38 ,  G01N21/766 ,  G01N33/0013 ,  G01N2001/247 ,  G01N2201/06

Abstract: There is provided a nitrogen analyzing method for quantitative analysis of nitrogen in a specimen by a chemiluminescence method using ozone which is capable of measuring a concentration of nitrogen contained in the specimen with still higher accuracy, as well as a nitrogen analyzer used for practicing the analyzing method. Also, according to the present invention, there is provided a nitrogen analyzing method and a nitrogen analyzer which have a less adverse influence on human body and are also capable of further reducing environmental burden even when analyzing nitrogen in fuel-related specimens. The nitrogen analyzing method according to the present invention comprises the steps of burning a specimen comprising a nitrogen compound to generate a specimen gas, allowing the resulting specimen gas to react with ozone to measure a chemiluminescence intensity thereof, and quantitatively determining a concentration of nitrogen in the specimen based on a previously prepared calibration curve expressing a relationship between the chemiluminescence intensity and a weight of nitrogen, wherein the calibration curve is previously prepared from a standard specimen having a nitrogen concentration of 5 to 100 ppm, and the specimen is used in the form of a diluted specimen prepared by diluting the specimen with a solvent into a nitrogen concentration of 5 to 100 ppm.

Abstract translation: 提供了一种氮分析方法，其通过使用能够以更高精度测量样品中的氮浓度的臭氧的化学发光法以及用于实施分析的氮分析仪来定量分析样品中的氮 方法。 此外，根据本发明，提供了一种氮分析方法和氮分析仪，其对人体的不利影响较小，并且即使在分析燃料相关试样中的氮时也能够进一步降低环境负荷。 根据本发明的氮分析方法包括以下步骤：将包含氮化合物的样品燃烧以产生样品气体，使得到的样品气体与臭氧反应以测量其化学发光强度，并定量测定氮的浓度 基于预先制备的表示化学发光强度和氮重量之间的关系的校准曲线，其中校准曲线预先由氮浓度为5〜100ppm的标准样品制备，并且样品用于 通过用溶剂将样品稀释至5〜100ppm的氮浓度而制备的稀释样品的形式。

公开(公告)号：EP3087370A1

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：EP14809407.1

申请日：2014-12-10

Applicant: Koninklijke Philips N.V.

Inventor： NEIJZEN, Jacobus Hermanus Maria ,  SCHLEIPEN, Johannes Joseph Hubertina Barbara

IPC: G01N21/27 ,  G01N21/55 ,  G02B21/18 ,  G01N35/00

CPC classification number: G01N21/552 ,  G01N15/1436 ,  G01N21/27 ,  G01N2015/1452 ,  G01N2201/06 ,  G02B21/18

Abstract: The invention relates to a detection apparatus (1) for detecting particles on or close to a particles detection surface (5) in a first optical detection mode and in a second optical detection mode, wherein a component of a light detection system (8) and/or a component of an optical system (9) of the detection apparatus is arranged to be used in the first detection mode and in the second detection mode. Since a component of the light detection system and/or a component of the optical system is arranged to be used in the first detection mode and in the second detection mode, this component does not need to be provided twice, i.e. for being used in the first detection mode and for being used in the second detection mode. This can lead to a reduced number of components and can make the detection apparatus technically less complex.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在第一光学检测模式和第二光学检测模式中检测颗粒检测表面（5）上或附近的颗粒的检测装置（1），其中光检测系统（8）和 /或检测装置的光学系统（9）的部件被布置成在第一检测模式和第二检测模式中使用。 由于光检测系统的组件和/或光学系统的组件被布置成在第一检测模式和第二检测模式中使用，所以该组件不需要提供两次，即用于 第一检测模式并用于第二检测模式。 这可能导致部件数量减少，并且可以使检测装置在技术上不那么复杂。

公开(公告)号：EP2820676A4

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：EP13755695

申请日：2013-01-14

Applicant: BIO RAD LABORATORIES

Inventor： HILLENDAHL JAMES W ,  PEREZ EVELIO

IPC: G01N21/25 ,  F21K99/00 ,  G01N21/64 ,  G01N27/447 ,  H01L33/08

CPC classification number: F21V21/005 ,  F21V9/083 ,  F21V13/02 ,  G01N21/255 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6456 ,  G01N27/447 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/0626 ,  G01N2201/0635

Abstract: A planar sample, particularly of the type used in biological laboratories for detection and sometimes analysis of two-dimensional arrays of proteins, nucleic acids, or other biological species, is illuminated by epi-illumination using optically filtered line lights that are arranged along opposing parallel sides of a rectangle in which the sample array resides, with two coaxial line lights on each side of the rectangle, and the two on any given side being separated by a gap whose optimal width depends on the wavelength band transmitted by the optical filter. Surprisingly, the gap eliminates the peak in intensity at the center of the sample area and the decrease that occurs from the center outward that would otherwise occur with a single continuous filtered line light, producing instead a substantially uniform intensity along the direction parallel to the line lights.

公开(公告)号：EP0127106B1

公开(公告)日：1989-11-08

申请号：EP84105801.9

申请日：1984-05-21

Applicant: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.

Inventor： Lübbers, D.W., Dr. ,  Opitz, Norbert, Dr.

IPC: G01N21/77 ,  G01N21/64 ,  H05B33/28

CPC classification number: G01N21/643 ,  G01N21/77 ,  G01N2021/6434 ,  G01N2201/06

公开(公告)号：JPWO2017010021A1

公开(公告)日：2018-04-26

申请号：JP2015560457

申请日：2015-09-01

Applicant: 株式会社三菱ケミカルアナリテック

Inventor： 香川 修司 ,  ヘクト ヘンリック ,  佐藤 香奈 ,  友寄 環

IPC: G01N31/00 ,  G01N21/76

CPC classification number: G01N21/274 ,  G01N1/24 ,  G01N1/38 ,  G01N21/766 ,  G01N33/0013 ,  G01N2001/247 ,  G01N2201/06

Abstract: オゾンによる化学発光法を利用して試料中の窒素を定量分析する方法であって、一層高精度に窒素濃度を測定することができる窒素の分析方法、ならびに、当該分析方法を実施するための窒素分析装置を提供する。また、燃料関連試料中の窒素を分析する際も、人体への影響がなく、環境負荷も一層低減し得る窒素の分析方法および窒素分析装置を提供する。窒素化合物を含有する試料を燃焼させ、得られた試料ガスとオゾンとを反応させてその化学発光強度を測定し、化学発光強度と窒素重量との関係を表す予め作成された検量線に基づいて試料中の窒素濃度を定量する窒素の分析方法において、検量線として、窒素濃度5〜100ppmの標準試料から予め作成された検量線を使用し、試料として、溶媒で窒素濃度5〜100ppmに希釈された希釈試料を使用する。

公开(公告)号：JP2015232484A

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2014119136

申请日：2014-06-09

Applicant: 株式会社キーエンス

Inventor： 木戸 学

IPC: G01B11/26 ,  G06T1/00 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/586 ,  G01N21/8803 ,  G01N2201/06 ,  G01S3/7864 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30164

Abstract: 【課題】フォトメトリックステレオ法を利用して、移動しているワークの傷や印字を検査することができる画像検査装置を提供する。 【解決手段】三以上の照明手段を同時に点灯させて撮像した第一基準画像と、該第一基準画像よりも時間的に後の撮像タイミングで第二基準画像を撮像するための撮像手段11と、第一基準画像に含まれる、ワークWKの位置を追跡する対象となる画像である追跡対象画像を指定するための追跡対象画像指定手段と、追跡対象画像指定手段で指定された追跡対象画像の位置を、第二基準画像中から検索して、該第二基準画像中で該追跡対象画像が含まれている位置を特定し、該特定された位置に基づいて、各部分照明画像中で対応する画素の対応関係を推定する対応位置推定手段と、対応位置推定手段で推定された部分照明画像の各画素の対応関係に基づいて、フォトメトリックステレオ用の検査画像を生成する検査画像生成手段とを備える。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过使用光度立体声方法来检测移动的工件的损坏和打印的图像检查装置。解决方案：图像检查装置包括：成像装置11，用于拍摄通过照亮三个或 同时更多的照明装置和在第一参考图像的时间上在成像定时处的第二参考图像; 跟踪目标图像规定装置，用于指定包括在第一参考图像中的跟踪目标图像和用于跟踪工件WK的位置的目标图像; 对应和位置估计装置，用于从第二参考图像搜索由跟踪目标图像指定装置指定的跟踪目标图像的位置，指定包括在第二参考图像中的跟踪目标图像的位置，并且估计像素的对应关系 基于指定位置对部分照明图像进行对应; 以及检查图像生成单元，其基于由对应关系估计出的部分照明图像的像素与位置估计单元的对应关系，生成用于光度立体图像的检查图像。

公开(公告)号：KR1020160088458A

公开(公告)日：2016-07-26

申请号：KR1020150007201

申请日：2015-01-15

Applicant: 한림대학교 산학협력단

Inventor： 김종대 ,  박찬영 ,  이득주 ,  김상윤 ,  구슬빛나

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/01 ,  G01N27/447 ,  C12Q1/68

CPC classification number: G01N21/64 ,  C12Q1/68 ,  G01N21/01 ,  G01N27/44747 ,  G01N2201/06

Abstract: 본발명은트랜스일루미네이터에관한것이다. 본발명에따른자외선램프와자외선램프의하단에위치하여고정장치로연결되고, 자외선램프를일정한속도로이동시키는타이밍벨트와타이밍벨트를일정한속도로이동시키는구동부를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种透照器。 透射仪包括：紫外灯; 位于紫外线灯底端的定时皮带，使用固定装置连接紫外线灯，以均匀的速度移动紫外线灯; 以及以均匀的速度移动同步皮带的驱动部。 因此，本发明通过使紫外线灯的数量最小化来降低制造成本。