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公开(公告)号：KR101844627B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020147002086
申请日：2012-06-12
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/065 , G01B2210/56 , G01J3/021 , G01J3/0229 , G01J3/42 , G01N21/00 , G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/214 , G01N2201/0675
Abstract: 기판에대한다파장(multi-wavelegnth), 다방위각(multi-azimuth), 및다입사각(multi-angle-of-incidence)의판독을행하는분광기구로서, 조사빔을생성하는광대역광원, 조사빔을다방위각및 다입사각으로동시에기판으로지향시켜, 반사빔을생성하는대물광학계, 방위각과입사각의소망하는별개의조합을갖는반사빔의일부를선택적으로통과시키기위해내부에조사개구및 복수개의집광개구가형성되는개구판, 방위각과입사각의별개의조합을수신하여판독치를생성하는검출기, 및판독치를해석하는프로세서를포함하는분광기구가제공된다.
Abstract translation: 治疗波长（多wavelegnth）在所述基板上，和方位角（多方位），mitda入射角（多角度的入射），作为宽带光源，照射束，用于产生照射光束方位角的进行读出的分光装置 它通过入射在引导至所述基板，所述物镜光学系统，方位角和所期望的照射开口和多个光收集孔在其中的用于具有不同组合的反射光束的一部分的同时的角度，以选择性地传递给入射角以产生一反射光束，以形成 接收方位角和入射角的不同组合以产生读数的检测器，以及分析读数的处理器。
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公开(公告)号：KR1020110034005A
公开(公告)日：2011-04-04
申请号：KR1020117001774
申请日：2009-06-09
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스 사우쓰 이스트 아시아 피티이. 엘티디.
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/8825 , G01N2201/067 , G01N2201/0675 , G01N2201/0697 , G01N2201/1241
Abstract: 본 발명은 동적 조명을 사용하는 개체를 검사하도록 구성되는 광학 검사 시스템 또는 툴에 관한 것이며, 여기서, 상기 조명의 하나 또는 그 초과의 특징부는 상이한 영역의 검사 요건을 충족시키도록 조절된다. 예를 들어, 상기 조명 강도는 상기 툴이 웨이퍼 다이에서 메모리 영역 및 주변 특징을 검사함에, 증가되거나 감소될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 조절은 데이터에 기초할 수 있는데, 여기서 상기 데이터는 사전-검사 셋업 시퀀스 중 얻어진 것이며, 여기서 특징을 바꾸면서 조명에 기초하여 취해진 이미지들은 나머지 검사 과정에서 적합성이 평가된다.
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公开(公告)号：JP2016018216A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：JP2015136911
申请日：2015-07-08
Applicant: カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハー , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventor： マルティン ミュラー , ニコ プレッサー , グンター メーラー
IPC: G02B21/06
CPC classification number: G01N21/6408 , G01N21/6458 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G01N2201/06113 , G01N2201/067 , G01N2201/0675
Abstract: 【課題】できるだけ短い実験時間の場合に、非常に短い時間での高い反復率を達成するため、少ない手間で光電子増倍管の最大限の保護を保証する走査型レーザ顕微鏡の動作方法を提供する。 【解決手段】少なくとも1つの照明光源が配置されている照明用ビーム経路と、少なくとも1つの光電子増倍管が検出器として用いられている検出用ビーム経路と、蛍光実験を制御するための制御ユニットAとを備えており、制御ユニットAにより変化しつつ、試料が高い強度で照明され、その後すぐに試料点および試料領域のうちの少なくとも一方の蛍光減衰挙動が検出される走査型レーザ顕微鏡の動作方法において、この制御ユニットAにより、光電子増倍管の高電圧供給において直接的にスイッチSCHを介して、照明モードに応じた光電子増倍管のスイッチオンおよびオフが行われる。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一种激光扫描显微镜的操作方法，其在最短的可能的实验持续时间内以经济的方式确保最大限度地保护光电倍增管，以便在最短量的 时间。解决方案：提供了一种激光扫描显微镜的操作方法，该激光扫描显微镜包括其中设置有至少一个照明光源的照明光束路径，其中结合有至少一个光电倍增管作为检测器的检测光束路径， 和用于控制荧光实验的控制单元（A）。 激光扫描显微镜的操作方法包括：经由控制单元交替地以高强度照射样品; 随后检测样品点和/或样品区域的荧光衰减行为; 并且通过控制单元经由直接在光电倍增管的高压电源中的开关来切换光电倍增管根据照明模式的开关。图3
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公开(公告)号：JP2014521067A
公开(公告)日：2014-08-25
申请号：JP2014518605
申请日：2012-06-12
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： シャンカー クリシュナン , ハイミン ワン
IPC: G01B11/02 , G01B11/06 , G01N21/21 , H01L21/027
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/065 , G01B2210/56 , G01J3/021 , G01J3/0229 , G01J3/42 , G01N21/00 , G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/214 , G01N2201/0675
Abstract: 基板上で複数波長、複数方位、複数入射角の読み取りを行う分光機器。 当該機器は、照明ビームを発生する広帯域光源と、照明を、同時に複数の方位角度および複数の入射角度で基板上に向け、それによって反射ビームを発生させる対物レンズと、照明開口、および所望の慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を有する反射ビームの部分を選択的に通すためにその中に形成される複数の収集開口、を有する開口プレートと、慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を受け取って、読み取り値を生成するための検知器と、読み取り値を解釈するためのプロセッサとを有する。
Abstract translation: 一种用于在衬底上进行多波长，多方位角，多角度入射读数的光谱仪器，该仪器具有用于产生照明光束的宽带光源，用于将多个方位角的照明引导到衬底上的物镜 角度和多个入射角，从而产生反射光束，具有照明孔的孔板和形成在其中的多个收集孔，用于选择性地通过具有期望的方位角和角度的离散组合的反射光束的部分 - 用于接收方位角和入射角的离散组合并产生读数的检测器，以及用于解释读数的处理器。
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公开(公告)号：JP2013525770A
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：JP2013505373
申请日：2011-03-02
Applicant: ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー
Inventor： フォルカー ザイフリート , ヴェルナー クネーベル
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G02B21/0076 , G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N2201/0675 , G02B21/0056 , G03H1/0404 , G03H1/08 , G03H1/0866
Abstract: 顕微鏡（２０）で試料（３０）を検査するために、試料（３０）内の色素粒子（４０、４２）が第一照射光ビーム（２４）によって蛍光発光状態に励起される。 試料（３０）から放出する蛍光は光学装置（３４）を介してエリアセンサ（３６）へ向けられ、当該光学装置（３４）は、蛍光の複数の部分ビームが自身と干渉するように当該蛍光に作用し、当該干渉によって生じる干渉パターンがエリアセンサ（３６）の高感度表面上に投影されて後者によって検出される。 試料（３０）内の色素粒子（４０、４２）の位置が、当該干渉パターンにしたがって決定される。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2011525985A
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：JP2011515725
申请日：2009-06-09
Applicant: アプライド マテリアルズ サウス イースト アジア ピーティーイー. エルティーディー.
Inventor： ツァフリル アヴニ , シャイ シルバースタイン
IPC: G01N21/956 , G01N21/84
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/8825 , G01N2201/067 , G01N2201/0675 , G01N2201/0697 , G01N2201/1241
Abstract: 光学検査システム又はツールは、照明の１つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。 例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。 一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。
【選択図】図３-
47.发明申请公开(公告)号：US20180052099A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：US15387180
申请日：2016-12-21
Applicant: KLA-Tencor Corporation
Inventor： Andrew V. Hill , Amnon Manassen , Ohad Bachar
CPC classification number: G01N21/255 , G01J1/0418 , G01J1/4257 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/12 , G01J2001/4247 , G01J2003/069 , G01J2003/1213 , G01J2003/1217 , G01J2003/1221 , G01J2003/1234 , G01N2201/0666 , G01N2201/0668 , G01N2201/0675 , G01N2201/0683 , G03F7/70633
Abstract: A metrology system includes an illumination source to generate an illumination beam, a multi-channel spectral filter, a focusing element to direct illumination from the single optical column to a sample, and at least one detector to capture the illumination collected from the sample. The multi-channel spectral filter includes two or more filtering channels having two or more channel beam paths. The two or more filtering channels filter illumination propagating along the two or more channel beam paths based on two or more spectral transmissivity distributions. The multi-channel spectral filter further includes a channel selector to direct at least a portion of the illumination beam into at least one selected filtering channel to filter the illumination beam. The multi-channel spectral filter further includes at least one beam combiner to combine illumination from the two or more filtering channels to a single optical column.
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公开(公告)号：US09857302B2
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：US15009608
申请日：2016-01-28
Inventor： Yongkeun Park , Jung-Hoon Park , Yong-Hoon Cho , Chunghyun Park
CPC classification number: G01N21/4788 , G01N21/45 , G01N21/49 , G01N2021/479 , G01N2201/0675 , G01Q60/18 , G01Q60/22
Abstract: An apparatus for manipulating surface near-field light resulting from light emitted from a light source that passes through a scattering layer is disclosed. Also, a method of finding a phase of incident light to cause constructive interference at a target spot using light scattering to manipulate the surface near-field.
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公开(公告)号：US20170343477A1
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：US15607457
申请日：2017-05-27
Applicant: Verily Life Sciences LLC
Inventor： Charles Santori , Supriyo Sinha , Cheng-Hsun Wu , James Higbie , Seung Ah Lee
CPC classification number: G01N21/6486 , A61B5/0071 , A61B5/0075 , G01J3/0224 , G01J3/0229 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/433 , G01J3/4406 , G01J2003/1243 , G01N21/6408 , G01N21/6445 , G01N21/6458 , G01N2021/6471 , G01N2201/0675 , G02B21/004 , G02B21/0076 , G02B21/16
Abstract: Systems and methods for hyperspectral imaging are described. In one implementation, a hyperspectral imaging system includes a sample holder configured to hold a sample, an illumination system, and a detection system. The illumination system includes a light source configured to emit excitation light having one or more wavelengths, and a first set of optical elements that include a first spatial light modulator (SLM), at least one lens, and at least one dispersive element. The illumination system is configured to structure the excitation light into a predetermined two-dimensional pattern at a conjugate plane of a focal plane in the sample, spectrally disperse the structured excitation light in a first lateral direction, and illuminate the sample in an excitation pattern with the one or more wavelengths dispersed in the first lateral direction.
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公开(公告)号：US09753296B2
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：US14805402
申请日：2015-07-21
Applicant: ASML Netherlands B.V.
Inventor： Gerbrand Van Der Zouw , Martin Jacobus Johan Jak , Martin Ebert
CPC classification number: G02B27/283 , G01J1/08 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8848 , G01N2201/0675 , G02F1/01 , G03F7/70633
Abstract: In an illumination system (12, 13) for a scatterometer, first and second spatial light modulators lie in a common plane and are formed by different portions of a single liquid crystal cell (260). Pre-polarizers (250) apply polarization to first and second radiation prior to the spatial light modulators. A first spatial light modulator (236-S) varies a polarization state of the first radiation in accordance with a first programmable pattern. Second spatial light modulator (236-P) varies a polarization state of the second radiation accordance with a second programmable pattern. A polarizing beam splitter (234) selectively transmits each of the spatially modulated first and second radiation to a common output path, depending on the polarization state of the radiation. In an embodiment, functions of pre-polarizers are performed by the polarizing beam splitter.
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