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公开(公告)号：CN1447093A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03101007.5
申请日：2003-01-06
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: B81C1/00301 , B81B2201/025 , B81B2207/095 , B81C2201/019 , B81C2203/0118 , B81C2203/038 , G01C19/5783 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828 , Y10T428/24322
Abstract: 本发明将提供以如下内容为特征的微惯性传感器，它包括：下玻璃基片；包括上述下玻璃基片上用来检测第一边缘和第一固定点以及侧面运动检测结构物在内的下硅层；包括分别对应于上述下硅层的第一边缘部、第一固定点及侧面运动检测结构物的第二边缘部、经内设金属线的通孔接合的第二固定点以及上述侧面运动检测结构物之间用来检测垂直方向电容量的第二检测用电极在内的上硅层；在上述上硅层和下硅层之间共熔的接合层；位于上述上硅层上部，并具有设置金属配线的通孔的上玻璃基片。此外，在本发明中提供了微惯性传感器制造方法，本发明的目的在于实现产品的小型化和工艺的简化上。
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公开(公告)号：CN1146823A
公开(公告)日：1997-04-02
申请号：CN95192345.5
申请日：1995-03-24
Applicant: 利顿系统公司
Inventor： 基思·O·沃伦
IPC: H01G7/00 , G01P15/125
CPC classification number: G01D5/2417 , G01D3/066 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , Y10T29/43
Abstract: 阳极粘接电容式传感器(10)的玻璃层(14，16)上的检测电极(24，26)在电极(24，26)和玻璃层(14，16)之间还具有一层含氮化物的交界面阻挡层(46)。在一个实施方式中，电容式传感器(10)是一个惯性传感器，其检测元件(20)铰连到与玻璃层(14，16)阳极粘接的框架结构(18)上。检测电极(24，26)则位于玻璃层(14，16)面对检测元件(20)的表面。检测元件(20)和框架结构(18)最好由硅构成，交界面薄膜(46)最好由氮化硅构成。
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公开(公告)号：CN1022136C
公开(公告)日：1993-09-15
申请号：CN88107822
申请日：1988-11-09
Applicant: 外沙拉股份公司
Inventor： 阿里·利托 , 卡勒沃·雅平伦 , 安娜-迈雅·卡尔凯伦
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0828
Abstract: 容性加速度计及其制造方法。该加速度计包括两个有固定侧面电极4，6′的侧面电极构件15和装有中心电极17的中心电极构件16，构件16包括一平行于构件15的平面主体件3其中保留在15之间的部分加工成靠近4，6′处有一个贯穿主件3呈U形且描成悬臂状电极17的槽，电极17平行于主件3而使17的端部1比所述3的部分细，以在电极4，6′与17之间形成间隙7，且与3形成整体的构件16的杆件2实质上比端部1细，以使17具有挠曲性。本发明的传感器结构易于成批生产。
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公开(公告)号：CN1045297A
公开(公告)日：1990-09-12
申请号：CN90101067.7
申请日：1990-02-28
Applicant: 森德斯特兰德数据控制公司
IPC: G01P15/08
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 一种推拉式加速度计，其中的两个力变换器位于一公用面内。这样，当以一硅的显微机加工的器件来实现时，这两个力变换器能从一单一的晶体层(34)加工成，由此而产生出具有密切配合的共态反应的变换器。
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公开(公告)号：CN103869100B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201310692572.6
申请日：2013-12-17
Applicant: 马克西姆综合产品公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P1/00 , B81B3/001 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及微机电结构，并且更具体地讲涉及采用控制成保护结构免受机械冲撞以及静电干扰影响的z轴面外止挡件的系统、装置和方法。z轴面外止挡件包括冲撞止挡件和平衡止挡件。冲撞止挡件在用于封装结构的帽基板上布置。这些冲撞止挡件进一步与结构中的检验质量块对正，从而减少机械冲撞的冲击。平衡止挡件在检验质量块下方布置，并且电连接至平衡电压，从而由每个冲撞止挡件所造成的静电力和力矩由对应的平衡止挡件所产生的力和力矩平衡。该结构更不易受机械冲撞影响，并且表现出可以由冲撞止挡件造成的静电干扰引起的微不足道的偏差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102809669B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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公开(公告)号：CN102607746B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201210015265.X
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/00 , G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部，形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极，与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容变化，将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外，将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°～60°，优选40°～50°，然后进行测定。
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公开(公告)号：CN103090887A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部（10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离（L2）。
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公开(公告)号：CN102809669A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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公开(公告)号：CN102607746A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210015265.X
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/00 , G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部，形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极，与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容变化，将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外，将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°～60°，优选40°～50°，然后进行测定。
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