公开(公告)号：CN104040677A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280066028.4

申请日：2012-12-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  高须久幸 ,  武藤宏史

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/3053 ,  C23C8/40 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。

公开(公告)号：CN101057309B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200580038508.X

申请日：2005-09-12

Applicant: 代夫特工业大学 ,  科学技术基金会

Inventor： 扬·弗雷德里克·克里默 ,  亨德里克·威廉·桑德贝尔根 ,  帕斯夸利纳·玛丽亚·萨罗

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/206

Abstract: 一种用在显微镜中的微反应器，包括第一和第二覆盖层(13)，这两个覆盖层对于电子显微镜的电子束(14)来说至少是部分透明的，并且彼此延伸一段共有距离，在该二者之间围成腔室(15)，并且其中，设置有用于穿过腔室馈送流体的入口(4)和出口(5)，并且其中，设置有加热装置(8)，用于加热腔室和/或其中提供的元件。

公开(公告)号：CN101911251A

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200880123434.3

申请日：2008-12-10

Applicant: 索绍股份有限公司

Inventor： 韩泳琪 ,  徐映水

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20235

Abstract: 本发明提供一种用于处理衬底的设备和方法。通过使用所述设备和方法，可在单个腔室中在衬底的边缘区和后部区中的每一者上个别执行等离子处理。所述设备包含：腔室，其提供反应空间；平台，其安装在所述腔室中；等离子屏蔽单元，其在所述腔室中是与所述平台相对地安装着；支撑单元，其用于在所述平台与所述等离子屏蔽单元之间支撑衬底；第一供应管，其提供于所述平台处以将反应气体或非反应气体供应到所述衬底的一个表面；以及第二和第三供应管，其提供于所述等离子屏蔽单元处，所述第二供应管将反应气体供应到所述衬底的另一表面，所述第三供应管将非反应气体供应到所述另一表面。

公开(公告)号：CN101128908A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680005616.1

申请日：2006-05-30

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 小西康雄

IPC: H01J37/20 ,  B23Q1/26 ,  B23Q1/58 ,  G12B5/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20271

Abstract: 本发明提供一种平台机构，其可防止因平台机构的线性导轨的热膨胀而影响平稳驱动。本发明的平台机构(1)包括：至少一个台(4，5)；于直线方向上引导此台的一对台用线性导轨(11，12，21，22)；以及补偿因台的热膨胀导致位移的补偿用线性导轨(13，23)。一侧的台用线性导轨(11，12，21，22)固定于支持部与台，另一侧的台用线性导轨(11，21)通过补偿用线性导轨(13，14，15，23)在与上述直线方向正交的方向上自由移动。或者是，通过补偿用线性导轨(13，23)，对支持部使另一侧的台用线性导轨在与上述直线方向正交的方向上自由移动。

公开(公告)号：CN1862759A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200510070170.8

申请日：2005-05-09

Applicant: 李炳寰

Inventor： 赵治宇 ,  谢文俊

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/02 ,  B01L11/00 ,  B01L1/00

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明是有关一种在真空或低压环境中操作高压腔室且供观测的方法及装置，主要是于一壳体内部通过由若干隔板由中央向外逐层形成一腔室，一蒸气室，一缓冲室或多缓冲室，并于该隔板上形成同轴的蒸气孔、内孔、外孔或缓冲孔，通过由一加压装置对该腔室内注入较高压流体，而于该腔室外部则给予逐层气压降的环境，并通过由控制该腔室与蒸气室间的压力差，以避免该腔室内的流体以液态形态自蒸气孔流出，可确保受高压的流体限制于该腔室内，通过此，可通过由蒸气孔，内孔，外孔的同轴关是使探测源能够穿透腔室内的流体样品，以达到观测及分析的效果及目的。

公开(公告)号：CN1862250A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200510070167.6

申请日：2005-05-09

Applicant: 李炳寰

Inventor： 赵治宇 ,  谢文俊

IPC: G01N23/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002

Abstract: 一种在真空或低压环境中操作液体且可供观测的方法及装置，其步骤及结构：a)备置一壳体，内部形成一液室，以及位于该液室外部的至少一蒸气室，以及位于该蒸气室外部的至少一缓冲室，且由蒸气孔、内孔以及外孔使该液室与该蒸气室与该缓冲室以及该壳体外部相通，该等蒸气孔与该等内孔与该等外孔同轴；b)控制该液室、该蒸气室以及该等缓冲室于相同温度；c)对该蒸气室注入蒸气，使其蒸气压达该液室温度的饱和蒸气压值来抑制液室内的水份挥发；d)对该缓冲室进行抽气，使该缓冲室内的蒸气被抽出；由此，即可达成于真空或低压环境中提供一液体环境，并且可让探测源通过该等外孔、该等内孔以及该等蒸气孔，以对该液室内的液体样品进行观测与分析。

公开(公告)号：CN1580751A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN200410042072.9

申请日：2004-04-30

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 咸龙男

IPC: G01N23/00 ,  G01N35/10 ,  G12B9/08

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2522

Abstract: 本发明提供一种托架及包括该托架的分析装置。托架包括样品座、样品接收器和样品升降器。样品座容纳样品并具有导向槽。样品座固定于样品接收器上，且与导向槽互锁的导轨形成于样品座中。样品升降器上下提升样品接收器并接受和卸下样品座。样品升降器包括驱动样品接收器上下移动的驱动部分和包括驱动部分并维持封闭状态下的真空度的真空室。因此，托架屏蔽水分，这样通过分析装置能够实现精确的分析。

公开(公告)号：CN106409640B

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201610610133.X

申请日：2016-07-29

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： L.梅勒 ,  P.多纳 ,  G.N.A.范维恩

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  B01L3/502723 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0694 ,  G01N1/04 ,  G01N21/03 ,  G01N21/11 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/6482 ,  G01N2223/307 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2005 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。

公开(公告)号：CN104684637B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201380049571.8

申请日：2013-10-10

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫 ,  T·C·马斯特曼 ,  R·帕拉迪斯

IPC: B01J19/08

CPC classification number: G21F3/00 ,  A61L2/087 ,  B01J19/082 ,  B01J19/085 ,  B01J19/12 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/22 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/12 ,  B01J2219/1203 ,  B65G27/04 ,  C08H8/00 ,  C10B19/00 ,  C10B53/02 ,  C10G1/02 ,  C10G32/04 ,  C10L5/403 ,  C10L5/442 ,  C10L5/445 ,  C10L5/46 ,  C10L2200/0469 ,  C10L2290/24 ,  C10L2290/28 ,  C10L2290/36 ,  C10L2290/52 ,  C13K1/02 ,  C13K13/002 ,  D21B1/02 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J5/18 ,  H01J33/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  Y02E50/10 ,  Y02E50/14 ,  Y02E50/16 ,  Y02E50/30 ,  Y02E50/32 ,  Y02P20/145

Abstract: 本文描述用于将纤维素和木质纤维素材料加工成有用的中间体和产物如能量和燃料的方法和系统。例如，描述用于加工所述纤维素和木质纤维素材料的输送系统如高效振动式输送机。本文提供用于产生处理的生物质材料的设备，所述设备包括电离辐射源。

公开(公告)号：CN105612597B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201480052535.1

申请日：2014-09-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平 ,  岩堀敏行

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003

Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。