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公开(公告)号：CN106409640B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201610610133.X
申请日：2016-07-29
CPC classification number: H01J37/20 , B01L3/502723 , B01L2200/0605 , B01L2300/0654 , B01L2300/0887 , B01L2300/123 , B01L2400/0406 , B01L2400/0694 , G01N1/04 , G01N21/03 , G01N21/11 , G01N2021/0346 , G01N2021/6482 , G01N2223/307 , H01J37/26 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2005 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。
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公开(公告)号：CN102414781B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201080017871.4
申请日：2010-02-22
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： H.J.德琼
CPC classification number: H01L21/67 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/58 , G03F7/707 , H01J37/20 , H01J37/3174 , H01J2237/006 , H01J2237/2005 , H01J2237/2007 , H01L21/00 , H01L21/6875 , Y10T29/49998 , Y10T428/249961
Abstract: 一种基板支撑结构(13)，其用于通过由液体箝制层(11)所产生的毛细作用力来箝制基板(12)，液体箝制层(11)具有低于其周围环境的压力。该基板支撑结构包括设置有用于保持基板的多个基板支撑元件(17)的表面(16)，且该表面进一步包含具有不同毛细势的部分(51、52、83)，以在箝制期间引发该液体箝制层内的预定毛细流。
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公开(公告)号：CN102414781A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080017871.4
申请日：2010-02-22
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： H.J.德琼
CPC classification number: H01L21/67 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/58 , G03F7/707 , H01J37/20 , H01J37/3174 , H01J2237/006 , H01J2237/2005 , H01J2237/2007 , H01L21/00 , H01L21/6875 , Y10T29/49998 , Y10T428/249961
Abstract: 一种基板支撑结构(13)，其用于通过由液体箝制层(11)所产生的毛细作用力来箝制基板(12)，液体箝制层(11)具有低于其周围环境的压力。该基板支撑结构包括设置有用于保持基板的多个基板支撑元件(17)的表面(16)，且该表面进一步包含具有不同毛细势的部分(51、52、83)，以在箝制期间引发该液体箝制层内的预定毛细流。
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公开(公告)号：CN106409640A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610610133.X
申请日：2016-07-29
CPC classification number: H01J37/20 , B01L3/502723 , B01L2200/0605 , B01L2300/0654 , B01L2300/0887 , B01L2300/123 , B01L2400/0406 , B01L2400/0694 , G01N1/04 , G01N21/03 , G01N21/11 , G01N2021/0346 , G01N2021/6482 , G01N2223/307 , H01J37/26 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2005 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。
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公开(公告)号：CN102934196A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102282645A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201080004816.1
申请日：2010-01-20
Applicant: 等离子瑟姆有限公司
Inventor： 格林·雷诺兹
CPC classification number: H01L21/6831 , H01J37/20 , H01J2237/2005
Abstract: 本发明提供了一种用于衬底处理系统的改进的静电吸盘。所述静电吸盘包括：主体，其具有被构造成支撑衬底的顶表面；电源，其用于向主体施加电压；以及密封环，其位于主体和衬底之间，其中密封环具有导电层。
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公开(公告)号：CN102934196B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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公开(公告)号：CN101609794B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810006997.6
申请日：2008-01-28
Applicant: 硅源公司
Inventor： 弗兰乔斯·J·亨利
CPC classification number: H01J37/20 , B28D1/221 , B28D5/00 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/2007 , H01J2237/31701 , H01L21/76254 , H01L22/26 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于制造厚膜材料的温控设备包括台，其包括用于支撑将注入且随后解理的散料的平坦表面。散料具有表面区、侧面区、和提供材料容量并限定在底部区和表面区之间长度的底部区。该设备还包括机械夹具，适于将底部区接合到台的平坦表面，使得散料与平坦表面物理接触，用于通过散料和台之间的界面区传递热能，同时使表面区充分暴露。此外，该设备还包括传感器装置，被配置为测量表面区的温度值并产生输入数据。该设备还包括注入装置，被配置为通过散料的表面区的一个或多个部分执行多个粒子的注入；以及控制器，被配置为接收和处理输入数据以至少通过台的平坦表面和散料的底部区之间的至少界面区来提高和/或降低表面区的温度值。
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公开(公告)号：CN102282645B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201080004816.1
申请日：2010-01-20
Applicant: 等离子瑟姆有限公司
Inventor： 格林·雷诺兹
CPC classification number: H01L21/6831 , H01J37/20 , H01J2237/2005
Abstract: 本发明提供了一种用于衬底处理系统的改进的静电吸盘。所述静电吸盘包括：主体，其具有被构造成支撑衬底的顶表面；电源，其用于向主体施加电压；以及密封环，其位于主体和衬底之间，其中密封环具有导电层。
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公开(公告)号：CN101609794A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200810006997.6
申请日：2008-01-28
Applicant: 硅源公司
Inventor： 弗兰乔斯·J·亨利
CPC classification number: H01J37/20 , B28D1/221 , B28D5/00 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/2007 , H01J2237/31701 , H01L21/76254 , H01L22/26 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于制造厚膜材料的温控设备包括台，其包括用于支撑将注入且随后解理的散料的平坦表面。散料具有表面区、侧面区、和提供材料容量并限定在底部区和表面区之间长度的底部区。该设备还包括机械夹具，适于将底部区接合到台的平坦表面，使得散料与平坦表面物理接触，用于通过散料和台之间的界面区传递热能，同时使表面区充分暴露。此外，该设备还包括传感器装置，被配置为测量表面区的温度值并产生输入数据。该设备还包括注入装置，被配置为通过散料的表面区的一个或多个部分执行多个粒子的注入；以及控制器，被配置为接收和处理输入数据以至少通过台的平坦表面和散料的底部区之间的至少界面区来提高和/或降低表面区的温度值。
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