Abstract:
박막 벌크 음향 공진기 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 박막 벌크 음향 공진기는 중앙에 소정 형태의 동공(cavity)이 형성된 반도체 기판, 반도체 기판 상에 형성된 절연층, 절연층 상면에 형성되며, 복수의 하부전극/압전층/상부전극으로 구성되는 공진부, 압전층과 겹쳐지지 않도록 하부전극 상면에 형성된 패드막 및 지지층, 공진부를 보호하기 위해 지지층 상에 접합되어 형성된 패키징 기판, 및 반도체 기판 하면에 접합된 비활성층을 포함하며, 반도체 기판의 중앙 하면에는 희생층을 제거하기 위해 동공과 연결되는 에칭홀이 형성되고, 에칭홀은 비활성층에 의해 막혀지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 반도체 기판의 중앙 하부에 형성된 에칭 홀을 통하여 희생층을 제거하는 경우 공진기 내부가 화학적으로 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 건조과정에서 발생하는 점착(stiction) 현상을 줄일 수 있는 효과가 있다. FBAR, 공진기, 에어 갭, 희생층, 비어 홀, 에칭 홀, CMP
Abstract:
개시된 본 발명에 따른 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 일면에 형성되어 있는 소자 기판, MEMS 활성소자의 전기적 경로를 제공하고 또한, MEMS 활성소자를 외부로부터 보호하도록 MEMS 활성소자의 주위에 여러 겹으로 배치되는 다중 실링패드, 다중 실링패드를 통하여 소자 기판과 결합하며 MEMS 활성소자가 위치하는 트렌치와 다중 실링패드가 위치하는 부분에 비아홀이 형성되는 캡 기판 및 비아홀을 통하여 다중 실링패드와 전기적인 연결을 이루도록 캡 기판의 일면에 형성된 외부전극패드를 포함한다. 이에 의하면, 소자 기판과 캡 기판의 본딩 및 실링 영역을 다중으로 함으로써, 실링의 강도가 강해짐으로 인해 동작이 안정적이고 고신뢰성의 패키지를 제공할 수 있다. MEMS 소자, 패키지, 다중, 실링, 본딩, 기판
Abstract:
제조가 용이하고 집적화 및 소형화에 유리한 RF 시스템이 개시된다. 본 발명에 의한 RF 시스템은, 양면이 전기적으로 통전되도록 도전물질이 충전된 적어도 하나의 비어홀이 형성된 하나의 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 일면에 형성된 적어도 하나의 평면형 소자; 및 상기 실리콘 기판의 타면에 형성된 적어도 하나의 RF MEMS 소자;를 포함한다. RF, 시스템, 소형화, 집적화, 실리콘 기반
Abstract:
모놀리식 듀플렉서가 개시된다. 본 모놀리식 듀플렉서는, 기판, 기판 상부 표면 상의 소정의 제1영역에 제작된 송신단필터, 기판 상부 표면 상의 소정의 제2영역에 제작된 수신단필터, 기판 상부 표면 상의 소정 영역에 결합되어 송신단필터 및 수신단필터를 밀봉상태로 패키징 하는 패키징 기판, 및, 패키징 기판의 일표면 상에 제작되어 송신단필터 및 수신단필터와 각각 연결되며, 송신단필터 및 수신단필터 상호 간의 신호유입을 차단하는 위상천이부를 포함한다. 이에 따라, 초소형, 고성능 듀플렉서를 구현할 수 있게 된다. 듀플렉서, 필터, 위상천이부, 패키징 기판, 트리밍 인덕터
Abstract:
컴팩트하며 고성능의 RF 듀플렉서가 개시된다. 본 발명에 의한 RF 듀플렉서는 직병렬로 연결된 복수개의 공진소자를 구비하며, 제1 주파수 대역의 신호를 통과시키는 제1 필터, 직병렬로 연결된 복수개의 공진소자를 구비하며, 제1 주파수 대역과 서로 다른 제2 주파수 대역의 신호를 통과시키는 제2 필터, 제1 및 제2 필터의 병렬 공진소자들과 각각 직렬 연결되며, 기판상에 형성되는 복수개의 인덕터, 기판상에 형성되며, 제1 및 제2 필터에서 신호 간섭을 방지하는 위상 변조기 및 제1 및 제2 필터를 지지하고, 제1 및 제2 필터의 단자들과 기판의 단자들을 전기적으로 연결하기 위해, 기판상의 소정 위치에 형성되는 복수개의 범프(Bump)로 구성되는 지지부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면, 튜닝 인덕터를 기판 패드의 범프 주변에 형성함으로써 듀플렉서의 면적을 줄일 수 있을 뿐만아니라, 와이어 본딩 공정이 없기 때문에 보다 안정성이 향상된 RF 듀플렉서를 구현할 수 있다. RF 듀플렉서, FBAR 밴드 패스 필터, 튜닝 인덕터, 범프(Bump)
Abstract:
A method for fabricating an air-gap type FBAR, an FBAR fabricated thereby, and a filter and a duplexer using an FBAR are provided to form simply an air gap without a CMP process, and a process for removing a sacrificial layer by laminating an LCP thin film on a silicon substrate having a cavity part. A first substrate(200) includes a cavity part formed on a predetermined region of an upper surface thereof. A dielectric layer(220) is formed on the first substrate(200) in order to form a first air gap(210) on the cavity part of the first substrate(200). A stacked resonance part(230) is formed by laminating a bottom electrode/piezoelectric layer/top electrode on the dielectric layer(220). A second substrate(240) includes a cavity part formed on a predetermined region of a bottom surface thereof.
Abstract:
PURPOSE: A cellular phone capable of registering and recognizing voices according to groups is provided to classify the voices as specific groups to register the voices, and to perform voice recognitions with specific group units, so as to reduce retrieval time and power consumption. CONSTITUTION: A cellular phone is converted into a voice recognition mode in a standby state. The cellular phone senses a registering operation selection. If packet data encoding predetermined input voices are inputted, the cellular phone transmits the packet data to a voice recognizer(85). The cellular phone receives feature data extracted from the packet data in the voice recognizer(85). The cellular phone inputs group selection data, and reads corresponding group start addresses in a group classification tabulation. The cellular phone directly accesses corresponding groups in a voice registration part by the group start addresses. The cellular phone searches an empty area in the groups, and stores the extracted feature data in the empty area.
Abstract:
가.청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 자동응답 전화기에 관한 것이다. 나.발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 통화요금을 물지 않고도 자동응답 전화기에 수신된 음성메시지의 유무를 확인할 수 있는 방법을 제공한다. 다.발명의 해결방법의 요지 외부 전화기를 이용해 자동응답 전화기로 전화를 걸었을 때 수신된 음성메시지의 존재 여부에 따라 자동응답 전화기가 전화를 받는 타이밍을 링톤신호가 수신되는 횟수로 정해놓음으로써 외부 전화기에서는 링백톤신호의 수신횟수를 세어서 자동응답 전화기에 수신된 음성메시지가 있는지 여부를 파악함을 특징으로 한다. 라.발명의 중요한 용도 자동응답 전화기에 음성메시지가 수신되었는지 여부를 알고자 할 때 이용한다.
Abstract:
인테그레잇 앤 덤프부를 구비한 에이엠피에스시스템의 에프엠 디지털 데이터 복조를 위한 심볼동기회로에 있어서, 소정의 보간값에 따라 고정 샘플된 신호 사이의 심볼중앙 천이지점을 추적하여 추적신호를 출력하는 선형보간부와, 상기 추적신호에 대한 타이밍을 검출하는 타이밍검출부와, 검출된 타이밍신호를 루프필터링하는 루프필터와, 상기 선형보간기에 다음 샘플간의 보간지점을 지정하는 보간값을 제공하며, 상기 인테그레잇 앤 덤프부에 심볼간의 변화지점값 및 각 샘플에 대한 맨체스터 디코딩을 위하여 심볼의 반주기 동안은 +값을 가지고 나머지 반주기 동안은 -값을 가지는 파형을 제공하는 발진기로 구성됨을 특징으로 한다.