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公开(公告)号：KR100170265B1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR1019930025935
申请日：1993-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N17/00
Abstract: 본 발명은 센서와 센서제어기를 사용하여 칼라텔레비젼의 화이트 발란스를 조정하는 위치결정 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
개시된 센서 및 센서제어기를 채용한 위치결정 방법 및 그 장치는 화이트 발란스를 조정하는 조정기가 실장된 회로기판의 위치를 빔센서와 센서제어기를 통해 빔 스캔닝함으로써 상기 회로기판의 위치를 정확히 검출하며, 그 검출된 위치에 화이트 발란스를 조정하는 드라이브 유니트를 세팅시킴으로 써 정확하고 효율적인 조정작업을 할 수 있게 한다.-
公开(公告)号：KR200129616Y1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR2019930006242
申请日：1993-04-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H05K13/00
Abstract: 본 고안에 의한 메인인쇄회로기판의 위치결정장치는, 지지프레임(10)과, 상기 지지프레임(10)의 일측면에 좌우이동가능케 설치된 제1이동부재(20)와, 상기 제1이동부재(20)의 중앙에 수직방향으로 회전가능케 설치된 회전수단(30)과, 상기 회전수단(30)의 정역회전에 따라 상하이동가능케 설치된 제2이동부재(40)와, 상기 제2이동부재(40)의 상단에 전후이동가능케 설치된 제3이동부재(50)와, 상기 제3이동부재(50)에 설치된 에어실린더(53)의 동작에 의해 전후동작되어 팰릿(61)상에 놓여진 메인인쇄회로기판(62)을 소정위치에 위치결정 및 서포트하는 제4이동부재(70)로 이루어져 있기 때문에 메인인쇄회로기판에 설치된 볼륨 및 화면상태의 자동검사, 조정작업을 일정하게 할 수 있어, 조정불량을 미연에 방지할 수 있고, 이로 인하여 제품에 대한 신뢰도를 한층더 � ��일 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019970007389A
公开(公告)日：1997-02-21
申请号：KR1019950019824
申请日：1995-07-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01R31/28
Abstract: 실장된 QFP와 IC 등의 납땜 상태의 검사 등이 가능한 인쇄 회로 기판 실장 부품 검사용 검사 장치와 그 방법이 개시되어 있다.
QFP와 IC 등을 인쇄 회로 기판에 실장한 후에 납땜 상태에 대한 검사가 필요함에도 이를 위한 적절한 검사 장치나 방법이 없어 경제성이나 작업 효율 면에서 많은 손실을 초래하고 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 하면에 소정의 형상으로 형성된 삽입홈을 갖는 검사 용구, 검사 용구의 삽입홈에 삽입되는 전도성 고무, 검사 용구를 안내하고 지지하는 축, 축에 삽입되어 검사 용구를 지지하는 스프링, 검사 용구가 설치되는 상부 구조체, 상부 구조체가 하강되어 기판을 누르면 기판의 하부에서 이와 전기적으로 접촉하는 복수의 접촉 핀, 접촉 핀이 설치되는 하부 구조체 및, 접촉 핀에 전류를 인가하도록 전기적으로 연결되어 있는 제어 수단을 포함하는 인쇄 회로 기판 실장 부품 검사용 검사 장치와, 이에 의한 검사 방법을 안출하였다.
이와 같은 검사 장치와 검사 방법은 각종 인쇄 회로 기판의 실장 부품 검사에 적용될 수 있다.-
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公开(公告)号：KR1019940010739A
公开(公告)日：1994-05-26
申请号：KR1019920020294
申请日：1992-10-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N5/57
Abstract: 본 발명은 컬러 텔레비젼이나 컬러 모니터에서의 서브-브라이트(Sub-Bright)조정공정에 있어서, 음극선관의 밝기를 자동으로 조정하는 음극선관의 휘도조정장치 및 그 휘도조정방법에 관한 것으로써, 휘도조정장치의 전체적인 동작을 제어하는 PLC와 검사 및 조정을 행하는 마이크로컴퓨터와, 음극선관의 휘도를 조정하기 위한 조정용 패턴신호를 상기 음극선관에 출력하는 패턴발생기와, 상기 음극선관으로부터 출력되는 화면상의 휘도값을 감지하는 휘도감지센서와, 상기 휘도감지센서에 의해 감지된 휘도값의 아날로그 데이타를 받아서 전압의 디지탈 데이타로 변환하여 상기 마이크로컴퓨터에 출력하는 계측기와, 상기 마이크로컴퓨터로부터 출력되는 휘도값 조정신호를 받아서 상기 음극선관의 조정용 볼륨을 조정하는 모터와, 상기 휘도감지센서 모터를 지정된 위치로 이동시키는 로보트로 이루어진 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019920004041B1
公开(公告)日：1992-05-22
申请号：KR1019900009503
申请日：1990-06-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H05K13/02
Abstract: A vertical conveying device consists of parts sliding pant, stick indexing part, stick fastening part and block part. The parts sliding part includes a stopper, a frame plated with chrome, a cover and BRKT sensor. The stick indexing part includes BRKT mounting first cylinder, a pin for second cylinder, a spacers as a bearing, bush guider, a collar equiped with springs, another BRKT established on a plunger, pin link for latch and so on. The stick fastening part includes supporting blocks, a housing, guiding plates, clamps, turning shaft, supporting shafts, a plate to leading ball plunger and stick guider. The block part includes a latch frame for mounting indexing apparatus and a feeding block for robot frame and feeder frame.
Abstract translation: 垂直输送装置由滑动裤，棒分度部，棒紧固部和块部组成。 部件滑动部分包括止动器，镀铬的框架，盖子和BRKT传感器。 棒分度部分包括BRKT安装第一气缸，第二气缸销，间隔件作为轴承，衬套导轨，带有弹簧的轴环，在柱塞上建立的另一个BRKT，用于闩锁的销连杆等。 棒状紧固部件包括支撑块，壳体，引导板，夹具，转动轴，支撑轴，板对导向球柱塞和棒状导向器。 块部包括用于安装分度装置的闩锁框架和用于机器人框架和馈线框架的馈送块。
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公开(公告)号：KR1020090053274A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070120034
申请日：2007-11-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 나노급 디펙트를 리뷰하기 위한 웨이퍼 디펙트 검사장치 및 그 방법을 제공한다. 상기 웨이퍼 디펙트 검사장치는 진공챔버 내에서 웨이퍼를 지지하고, 이송하기 위한 스테이지를 구비한다. 상기 진공챔버의 제 1 윈도우를 통해 주입되는 레이저 광을 발생시키는 광원부가 구비된다. 상기 진공챔버 내에 존재하고, 상기 광원부에서 발생된 레이저 광의 진행방향을 변경하는 반사미러를 구비한다. 상기 웨이퍼 검사면에서 산란된 레이저 광을 이용하여 디펙트를 검출하는 광학현미경을 구비한다. 상기 검출된 디펙트를 고배율로 리뷰하기 위한 주사전자현미경을 구비한다.
레이저 광, 반사미러, 웨이퍼 디펙트, 얼라인 유닛-
公开(公告)号：KR100643397B1
公开(公告)日：2006-11-10
申请号：KR1020050110328
申请日：2005-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A wafer detecting apparatus is provided to improve space efficiency and detecting performance by employing a reflective type sensor controlling an angle of a sensor corresponding to variable wafer reflectivity. A stage(30) supports a wafer(20) to be conveyed. A sensor(40) includes a light emitting unit(41) and a light receiving unit(42). The light emitting unit irradiates a light toward one plate surface of the wafer and the stage at a predetermined angle. The light receiving unit receives the reflected light. A bracket(50) supports the sensor to make it rotate. A control unit determines the presence of the wafer based on variation of light receiving amount reflected from one of the wafer and the stage based on detecting signal of the light emitting unit and the light receiving unit of the sensor.
Abstract translation: 提供晶片检测设备以通过采用控制与可变晶片反射率相对应的传感器的角度的反射型传感器来提高空间效率和检测性能。 台（30）支撑待传送的晶片（20）。 传感器（40）包括发光单元（41）和光接收单元（42）。 发光单元以预定角度向晶片的一个板表面和平台照射光。 光接收单元接收反射光。 支架（50）支撑传感器使其旋转。 控制单元基于发光单元和传感器的光接收单元的检测信号，基于从晶片和平台中的一个反射的光接收量的变化来确定晶片的存在。
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公开(公告)号：KR1020060058502A
公开(公告)日：2006-05-30
申请号：KR1020040097568
申请日：2004-11-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01J37/28 , G01N23/2251 , H01J37/261
Abstract: 본 발명은 반도체장치의 검사장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 SEM에서 주사 되는 전자빔의 1차 전자에 의한 전류를 측정하여 콘택홀의 개구영역 및 비개구영역을 정확히 검사할 수 있는 반도체장치의 검사장치 및 방법을 제공함에 있다.
또한 한번의 전자빔 주사만으로 콘택홀을 검사하여 반도체소자 제조공정의 효율을 향상시킬 수 있는 반도체장치의 검사장치 및 방법을 제공함에 있다.
이를 위해 본 발명은 시료에 전자빔을 주사하고, 상기 전자빔의 주사로 상기 시료에서 발생한 전류를 측정하고, 상기 측정된 전류로부터 얻어진 신호가 미리 설정된 기준신호 이상일 경우에 콘택홀이 개구 되었다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
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