Abstract:
본 발명은 센서를 이용한 주차 보조 장치 및 방법에 관한 것으로 장애물과의 거리, 및 바퀴 상태의 센서 정보를 확인하는 센서, 안내 정보를 저장하는 주차 방법 데이터 베이스, 상기 주차 방법 정보를 출력 장치로 전송하는 통신부, 장애물 감지부의 전반적인 동작을 제어하는 제어부를 포함하고, 주차 보조 장치 작동 이벤트를 확인하여 모드를 선택받는 과정, 조향 센서 및 거리 감지 센서에 의해 측정된 센서 정보를 이용하여 자차 주변의 2차원 지도를 생성하는 과정, 사용자가 주차방법을 선택하고 이에 맞는 주차 방법을 제시해 주는 과정, 상기 검색된 주차 방법 정보를 단말기로 송신하는 과정, 차량의 주차 완료를 확인하여 차량의 주차를 완료하면 자이로 센서를 이용하여 기울기를 측정하는 과정, 상기 측정된 기울기에 따라 핸드 브레이크 설정 유무를 확인하는 과정, 및 상기 핸드 브레이크 설정시 안내 멘트를 송신하는 과정을 포함하는 센서를 이용한 주차 보조 장치 및 방법에 관한 것이다. 초음파센서, 주차 보조 장치, 사각지대확인, 주차 정보, 자이로 센서
Abstract:
본 발명은 우수한 연마 속도와 더불어 연마 패드의 조도를 향상시킬 수 있는 연마 패드 컨디셔너 및 이를 이용한 화학기계적 연마 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 패드 컨디셔너는 상대적으로 불규칙적인 형태와 약한 강도를 가지는 연마용 입자로 구성되는 부분을 갖는 제1 영역 및 상대적으로 규칙적인 형태와 강한 강도를 가지는 연마용 입자로 구성되는 부분을 갖는 제2 영역을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 패드 컨디셔너의 바깥 부분에는 상대적으로 규칙적인 모양을 가지는 단단한 인조 다이아몬드 입자를 고정시켜 패드 컨디셔닝 효과를 높일 수 있으며, 패드 컨디셔너의 안쪽 부분에는 상대적으로 불규칙한 모양을 갖는 약한 인조 다이아몬드 입자를 고정시켜 패드의 조도를 향상시킬 수 있다. 화학기계적 연마 장치, 연마 패드, 패드 컨디셔너, 조도(거칠기)
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CMP 후 연마 표면에서의 연마 스크래치 발생 빈도를 최소화하기 위하여 결정 결함을 가지는 산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법, CMP용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법, 이들을 이용한 기판 연마 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 연마 입자는 흔적량(trace amount)의 금속산화물 불순물이 포함되어 있는 산화세륨 입자로 이루어진다. 본 발명에 따른 산화세륨 연마 입자 제조 방법에서는 세륨 화합물과 흔적량의 금속산화물 불순물과의 혼합물을 소성(燒成)하여 상기 금속산화물 불순물을 포함하는 산화세륨 입자를 형성한다. 산화세륨, 금속산화물 불순물, 흔적량, 연마 스크래치, CMP
Abstract:
단차부를 평탄화시키는 특성이 우수한 동시에 보이드가 없는 스핀온글래스 조성물과 이를 이용한 실리콘 산화막 형성 방법에 따르면, 상면 상에 형성된 단차부를 가지는 반도체 기판 상에 구조식이 -(SiH 2 NH) n -(식 중, n은 양의 정수이다)이고, 중량 평균 분자량이 3,300 내지 3,700인 폴리실라잔을 포함하는 스핀온글래스 조성물을 도포하여 평탄한 스핀온글래스 막을 형성한다. 스핀온글래스 막을 경화하여 평탄한 실리콘 산화막으로 전환시킨다.
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게이트 패턴의 상부에 적어도 하나의 저항 패턴을 갖는 플레시 메모리들 및 그 형성방법들을 제공한다. 이 플레시 메모리들 및 그 형성방법들은 저항 패턴에 대한 반도체 제조 공정의 자유도를 증가시켜 줄 수 있는 방안을 제시해준다. 이를 위해서, 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 게이트 패턴들을 형성한다. 상기 게이트 패턴들의 상부에 비트라인 패턴들이 배치된다. 상기 비트라인 패턴들은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 형성된다. 상기 비트라인 패턴들을 덮는 비트라인 층간절연막이 배치된다. 상기 비트라인 층간절연막 상에 적어도 하나의 저항 패턴이 배치된다. 상기 저항 패턴은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 내 형성된다. 상기 저항 패턴을 덮도록 비트라인 층간절연막 상에 평탄화 층간절연막을 형성한다. 그리고, 상기 평탄화 층간절연막 상에 금속배선들이 형성된다. 상기 금속배선들은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 배치된다. 이때에, 상기 금속배선들 중 적어도 하나는 저항 패턴과 접촉하도록 형성한다. 저항 패턴, 비트라인 패턴, 금속배선, 반도체 기판, 플레시 메모리.
Abstract:
게이트 패턴의 상부에 적어도 하나의 저항 패턴을 갖는 플레시 메모리들 및 그 형성방법들을 제공한다. 이 플레시 메모리들 및 그 형성방법들은 저항 패턴에 대한 반도체 제조 공정의 자유도를 증가시켜 줄 수 있는 방안을 제시해준다. 이를 위해서, 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 게이트 패턴들을 형성한다. 상기 게이트 패턴들의 상부에 비트라인 패턴들이 배치된다. 상기 비트라인 패턴들은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 형성된다. 상기 비트라인 패턴들을 덮는 비트라인 층간절연막이 배치된다. 상기 비트라인 층간절연막 상에 적어도 하나의 저항 패턴이 배치된다. 상기 저항 패턴은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 내 형성된다. 상기 저항 패턴을 덮도록 비트라인 층간절연막 상에 평탄화 층간절연막을 형성한다. 그리고, 상기 평탄화 층간절연막 상에 금속배선들이 형성된다. 상기 금속배선들은 반도체 기판의 셀 어레이 영역 및 주변 회로 영역 내 배치된다. 이때에, 상기 금속배선들 중 적어도 하나는 저항 패턴과 접촉하도록 형성한다. 저항 패턴, 비트라인 패턴, 금속배선, 반도체 기판, 플레시 메모리.
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열적 스트레스가 인가되어 인위적으로 결정 결함이 부여된 산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법과 CMP용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법과 이들을 이용한 기판 연마 방법에 관하여 개시된다. 본 발명에서는 산화세륨 연마 입자에 결정 결함을 부여하기 위하여, 먼저 세륨 화합물을 제1 온도에서 소성(燒成)하여 산화세륨을 형성한 후, 인시튜(in-situ)로 산화세륨을 상기 제1 온도 보다 높은 온도에서 소성하여 산화세륨에 열적 스트레스를 인가한다. 산화세륨에 열적 스트레스를 인가하는 단계는 산화세륨이 형성된 후 산화세륨의 온도 하강 없이 연속적으로 행해진다. 산화세륨, 열적 스트레스, 소성, 연마 결함, 스크래치, CMP
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본 발명은, 적어도 하나의 단말기와, 상기 단말기와 패킷 데이터 통신이 가능한 기지국을 포함하는 이동통신 시스템에서, 상기 단말기가 순방향 데이터 전송률 제어 방법으로서, 순방향 링크 채널을 통해 상기 기지국으로부터 타겟 패킷 에러율을 포함하는 패킷 데이터 정보를 수신하여 복호한 후 복호결과에 따라 각 데이터 전송률 제어 값에 대한 타겟 PER을 조절하는 과정과, 상기 수신된 패킷 데이터 정보에 대한 채널 상태(C/I)를 추정하는 과정과, 상기 추정된 채널 상태 값을 이용하여 상기 결정된 타겟 패킷 에러율에 만족하는 DRC 값을 결정하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 역방향 전송률 제어, 타겟 PER, DRC, 타겟 PER 결정부.