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51.发明公开
公开(公告)号：KR1020130092033A
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020120013472
申请日：2012-02-09
Applicant: 전자부품연구원
IPC: D06M11/44 , D06M13/224 , D06M13/325 , B82Y40/00 , D06C7/00
CPC classification number: D06M11/44 , B82Y40/00 , D06C7/00 , D06M13/224 , D06M13/325
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a functional fabric material using zinc oxide nanowires and a functional fabric material manufactured thereby are provided to be able to form ZnO nanowire on a fabric with an economic process, and to be able to supply the auxiliary power to mobile devices through the non-utility generation as the fabric has a piezoelectric property. CONSTITUTION: A manufacturing method a functional fabric material using ZnO nanowires comprises a step (101) of preparing a fabric ; a step (103) of forming a catalyst layer on the surface of the fabric; a step (105) of growing ZnO nanowires by dipping the fabric formed with the catalyst layer in a growth solution; and steps (107,109) of washing and drying the fabric with ZnO nanowires grown. [Reference numerals] (101) Arrange fabric; (103) Form a catalyst layer on fabric; (105) ZnO nanowire in which a catalyst layer is formed grows; (107) Washing; (109) Drying
Abstract translation: 目的：提供使用氧化锌纳米线的功能性织物材料的制造方法和由此制造的功能性织物材料，以便能够在经济的工艺上在织物上形成ZnO纳米线，并且能够将辅助电力提供给移动装置 通过非织造布具有压电性能的非实用产品。 构成：使用ZnO纳米线的功能性织物材料的制造方法包括制备织物的步骤（101） 在织物的表面上形成催化剂层的步骤（103）; 通过将由催化剂层形成的织物浸渍在生长溶液中来生长ZnO纳米线的步骤（105）; 以及用生长的ZnO纳米线洗涤和干燥织物的步骤（107,109）。 （附图标记）（101）布置布; （103）在织物上形成催化剂层; （105）其中形成催化剂层的ZnO纳米线生长; （107）洗涤; （109）干燥
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52.发明授权플라즈마 표면 처리를 이용한 산화아연 나노와이어 특성 제어 방법 및 그 방법으로 제조된 산화아연 나노와이어를 구비하는 전자 소자 有权密度，直径和长度控制使用等离子体处理的ZnO纳米线的方法和通过该方法制造的包含ZnO纳米线的电子器件
公开(公告)号：KR101206265B1
公开(公告)日：2012-11-30
申请号：KR1020100050813
申请日：2010-05-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B29C59/14 , B82B3/00 , H01L21/208 , H01L21/20
Abstract: 본 발명은 플라즈마 표면 처리를 이용한 산화아연 나노와이어 특성 제어 방법 및 그 방법으로 제조된 산화아연 나노와이어를 구비하는 전자 소자에 관한 것으로, 기판과, 상기 기판 위에 형성되며 표면이 플라즈마 표면처리되는 산화아연 촉매층과, 상기 산화아연 촉매층 위에 성장되는 복수의 산화아연 나노와이어와, 상기 산화아연 나노와이어를 포함하여 상기 산화아연 촉매층 위에 형성되는 다층의 박막 실리콘과, 상기 산화아연 시드층 및 박막 실리콘 위에 형성되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 실리콘 태양전지의 구성, 이를 제조하기 위한 방법과 산화아연 나노와이어 특성 제어를 위한 방법을 개시한다.
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53.发明公开
公开(公告)号：KR1020120067249A
公开(公告)日：2012-06-25
申请号：KR1020100128728
申请日：2010-12-15
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L21/02603 , B82Y40/00 , C01G9/02 , C01P2004/16
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of zinc oxide nano-wires using metal masking and a zinc oxide nano-wire material manufactured by the method are provided to control density of growing zinc oxide nano-wires by forming metallic mask layer on a catalyst layer without a light exposure process. CONSTITUTION: A manufacturing method of zinc oxide nano-wires using metal masking comprises the following steps: preparing a substrate(10); forming a catalyst layer(20) of zinc oxide material on the substrate; forming a mask layer(30) having a plurality of growth holes(33) through a thermal process; and growing zinc oxide nano-wires(40) based on the catalyst layer part which is exposed to the plurality of growth holes. The metallic mask layer formation step comprises the following steps: forming a coating layer with 20-30 nano meters thickness by spreading aqueous solution including the metal nano-particles on the catalyst layer; and forming the metallic mask layer by heat treating the coating layer at 150-700 deg. Celsius.
Abstract translation: 目的：提供使用金属掩蔽的氧化锌纳米线的制造方法和通过该方法制造的氧化锌纳米线材料，以通过在不具有光的催化剂层上形成金属掩模层来控制生长的氧化锌纳米线的密度 曝光过程。 构成：使用金属掩模的氧化锌纳米线的制造方法包括以下步骤：制备基板（10）; 在衬底上形成氧化锌材料的催化剂层（20）; 通过热处理形成具有多个生长孔（33）的掩模层（30）; 以及基于暴露于多个生长孔的催化剂层部分生长氧化锌纳米线（40）。 金属掩模层形成步骤包括以下步骤：通过在催化剂层上铺展包含金属纳米颗粒的水溶液，形成20-30纳米厚的涂层; 以及通过在150-700度下热处理该涂层来形成金属掩模层。 摄氏度。
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公开(公告)号：KR1020120015798A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR1020100078233
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B05C5/00
CPC classification number: B05C5/027 , B05C5/0291 , B05C11/1034 , B05C11/1044
Abstract: PURPOSE: An electrostatic multi-nozzle droplet discharging apparatus using triode and a method for driving the same are provided to improve the precision of patterns and to be applicable for mass-production. CONSTITUTION: A droplet discharging apparatus(10) includes the following: a reservoir(13) contains a solution; a chuck(19) loads a substrate; a nozzle(14) includes a droplet outlet; a gate electrode(17) is arranged between the substrate and the nozzle and includes a through hole through which droplet passes to be discharged on a substrate; a first voltage supplying unit(15) supplies a direct bias voltage to the nozzle; and a second voltage supplying unit(16) supplies a gate voltage of a pulse form to the gate electrode.
Abstract translation: 目的：提供使用三极管的静电多喷嘴液滴喷射装置及其驱动方法，以提高图案的精度并适用于批量生产。 构成：液滴喷射装置（10）包括以下部件：容器（13）包含溶液; 卡盘（19）装载基板; 喷嘴（14）包括液滴出口; 在基板和喷嘴之间布置有栅电极（17），并且包括通孔，通过该通孔将其排出到基板上; 第一电压供给单元（15）向喷嘴提供直接偏置电压; 并且第二电压供给单元（16）将脉冲形式的栅极电压提供给栅电极。
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公开(公告)号：KR101089828B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020090132944
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은지향성마이크로폰및 그제조방법에관한것으로, 보다상세하게는에치홀를통해형성되는공기체임버및 상기에치홀이형성된면을기준으로상부면에형성된전극층을포함하는하부기판; 상기하부기판과마주보는면에각각형성된두 개의멤브레인을포함하도록백 사이드식각공정을거친상부기판; 및상기상부기판및 하부기판사이에형성되어상기두 기판의간격을일정하게유지시켜주는스페이서를포함하는지향성마이크로폰및 그제조방법에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110076293A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090132965
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01H11/06
CPC classification number: H05K3/40 , G01H11/06 , H05K1/0213
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor using a nanotube and a manufacturing method thereof are provided to miniaturize the sensor compared to an acoustic element which uses a piezoelectric body. CONSTITUTION: An acoustic sensor(100) using a nanotube comprises a substrate(10), a vibration plate(20), an electrode pattern(30), a nanotube(40), a cavity(50), and a vent hole(70). The vibration plate is formed on the substrate. The electrode pattern is formed on the vibration plate and comprises first and second electrodes. The nanotube is spread on a gap between the first and second electrodes. The cavity is formed in the substrate. The vent hole is coupled to the bottom of the substrate and uniformly maintains the pressure of the cavity.
Abstract translation: 目的：提供使用纳米管的声传感器及其制造方法，与使用压电体的声学元件相比，使传感器小型化。 构成：使用纳米管的声学传感器（100）包括基板（10），振动板（20），电极图案（30），纳米管（40），空腔（50）和通气孔 ）。 振动板形成在基板上。 电极图案形成在振动板上并且包括第一和第二电极。 纳米管扩散在第一和第二电极之间的间隙上。 空腔形成在基板中。 通气孔连接到基底的底部并均匀地保持空腔的压力。
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公开(公告)号：KR100988477B1
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020080042432
申请日：2008-05-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 히터배선의 하부 구조를 식각하여 히터배선 부분만 기판으로부터 격리되어 떠있도록 제작된 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
또한, 민더 타입의 배선을 그리드 타입으로 제조함으로써, 제작공정과 열방사 효율을 향상시키고, 히터배선을 지지하는 하부의 지지기둥을 완전히 열산화시켜 열고립구조를 개선한 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 히터 및 그 제조 방법은 기판상에 절연막을 증착한 후, 사진식각 공정을 이용하여 히터배선과 전극패드를 패터닝하는 제1단계; 패터닝된 상기 기판의 전면을 식각하여 컬럼구조물을 형성하는 제2단계; 상기 컬럼구조물을 식각하여 지지기둥과 전극패드를 제외한 부분이 상기 기판으로부터 릴리즈된 구조물을 형성하는 제3단계; 및 릴리즈된 상기 구조물을 포함한 상기 실리콘 기판 전면에 금속층 또는 열저항체층을 증착해 히터배선 및 전극패드를 형성하는 제4단계를 포함하는 마이크로 히터의 제조방법에 그 기술적 특징이 있다.
MEMS, 마이크로 히터, 반사막, 민더(Meander)타입, 그리드(Grid)타입, 열고립-
公开(公告)号：KR1020100012576A
公开(公告)日：2010-02-08
申请号：KR1020080074054
申请日：2008-07-29
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: C01B32/158 , B82B3/0052 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus for the vertical alignment of a carbon nanotube and a method is provided to improve the durability and performance of a cathode by preventing gas from releasing by using a cathode substrate including a metal layer with a low melting point and by aligning the carbon nanotube vertically by using an electric field. CONSTITUTION: An apparatus for the vertical alignment of a carbon nanotube comprises: a support stand(205) included in a chamber to align a carbon nanotube and a cathode substrate with a metal layer; an anode electrode(210) formed on the upper side of the support stand and can control the interval of the cathode substrate; a first and second heat radiator(240,250) separately formed on the upper side of the anode electrode and the lower side of the support stand to radiate the heat required for heat treating the metal layer included in the cathode substrate; a power supply device connected to the metal layer, formed in the cathode substrate and the anode electrode, for impressing electric power for aligning the carbon nanotube vertically.
Abstract translation: 目的：提供一种用于碳纳米管的垂直取向的装置和方法，以通过使用包括具有低熔点的金属层的阴极基板和通过使碳的排列来防止气体释放而提高阴极的耐久性和性能 纳米管通过使用电场垂直。 构成：用于碳纳米管的垂直取向的装置包括：包括在室中的支撑架（205），用于使碳纳米管和阴极基板与金属层对准; 阳极电极（210），其形成在所述支撑台的上侧，并且能够控制所述阴极基板的间隔; 分别形成在阳极电极的上侧和支撑台的下侧的第一和第二散热器（240,250），以辐射热处理包括在阴极衬底中的金属层所需的热量; 连接到金属层的电源装置，形成在阴极基板和阳极电极中，用于施加用于垂直对准碳纳米管的电力。
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公开(公告)号：KR100917793B1
公开(公告)日：2009-09-21
申请号：KR1020070076899
申请日：2007-07-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 프로브 핀에 대한 정렬장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 프로브 핀을 연결해주는 패드와 프로브 핀의 위치를 결정해주는 가이드를 일체화함으로써, 프로브 유닛과 프로브 핀 가이드를 체결하는 과정에서 생기는 정렬 오차를 감소시켜 프로브 핀의 수명을 증가시킬 수 있는 프로브 핀에 대한 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명의 프로브 핀에 대한 정렬장치에 있어서, 상기 프로브 핀의 움직임을 제한하기 위한 일측면의 상부 슬릿 및 하기 하판과 결합하기 위한 타측면의 홈이 형성되어 있는 상판; 및 상기 상판과 결합하기 위한 돌출부와 상기 프로브 핀을 삽입하기 위한 하부 슬릿 및 드라이버 IC를 연결하기 위한 홈이 형성되어 있는 하판을 포함함에 기술적 특징이 있다.
프로브 유닛, 정렬장치, 정렬가이드-
公开(公告)号：KR1020090086766A
公开(公告)日：2009-08-14
申请号：KR1020080012218
申请日：2008-02-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/3504 , G01N21/00
Abstract: An optical formula sensor is provided to reduce the size of the whole device and implement the long optical path and the high light efficiency in a narrow side. An optical formula sensor comprises an optical chamber(310), a light source(340), a first optical unit(320), a second optical unit(330), a light receiving element(360), and a filter(350). The chamber comprises a first opening(370) and a second opening(380). The first opening and the second opening are located at the side of an inner cavity. The first optical unit condenses the light generated in the light source to pass through one focus in the center of the optical axis. The second optical unit condenses the light reflected in the inner cavity of the optical chamber. The light receiving element measures the light intensity which is finally incident with the second optical unit. The filter is located between the second optical unit and the light receiving element.
Abstract translation: 提供了一种光学公式传感器，以减小整个装置的尺寸并实现窄光路的长光路和高光效率。 光学公式传感器包括光学室（310），光源（340），第一光学单元（320），第二光学单元（330），光接收元件（360）和滤光器（350）。 腔室包括第一开口（370）和第二开口（380）。 第一开口和第二开口位于内腔的一侧。 第一光学单元冷凝在光源中产生的光以在光轴的中心穿过一个焦点。 第二光学单元冷凝在光学室的内腔中反射的光。 光接收元件测量最终与第二光学单元入射的光强度。 滤光器位于第二光学单元和光接收元件之间。
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