公开(公告)号：CN106458443A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580021514.8

申请日：2015-04-13

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 伊藤靖久 ,  池田昌弘 ,  今村雄一

IPC: B65G1/04 ,  B65G1/00

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769

Abstract: 能够利用处理装置(2)上部的顶棚空间暂存多个货物。顶棚保管系统(6)具备：桥式吊车(22)及其行驶路线(8-10)；相对于处理装置(2)将货物搬入搬出的往复台车(24)及其行驶路线(12、14)；桥式吊车(22)和往复台车(24)均能够将货物自由地搬入搬出的OHT口(30、31)；以及设置在处理装置(2)上部的顶棚空间、且用于供往复台车(24)载置货物的暂存区(32)，往复台车(24)的行驶路线(12、14)配置成使得往复台车(24)能够在处理装置(2)的装载口(4)、暂存区(32)以及OHT口(30、31)之间自由地交接货物。

公开(公告)号：CN104395207B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201380034416.9

申请日：2013-06-18

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 太田达司

IPC: B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G2201/0297 ,  B66C13/18 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明提供桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法。为使桥式行驶车(4)不将本地台车(8)的轨道(10)等误检测为障碍物。桥式行驶车(4)具备升降机(22)和监视下方的障碍物的第一传感器(38)，本地台车(8)具备升降机(27)并沿上述轨道(10)行驶。缓冲区(12)从上述轨道(10)通过铅垂向下的支柱(32)垂下，并且在装货港(16、17)的正上方部不设置缓冲区(12)的部件。在上述轨道(10)，设置有对装货港(16、17)附近处并且与处理装置(13)相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视的第二传感器(36)，向桥式行驶车(4)以及本地台车(8)发送障碍物检测信号。若桥式行驶车(4)以及本地台车(8)接收到第二传感器(36)的障碍物检测信号，则使升降机(22、27)停止，并且桥式行驶车(4)不通过第一传感器(38)监视通路侧区域的障碍物。

公开(公告)号：CN102893385B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201080066678.X

申请日：2010-05-13

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 伊藤靖久

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/04

CPC classification number: B65G1/0407 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种移载装置（100），该移载装置（100）用于移载被载置于搁架（300）的任一搁架板（301）的对象物（202），该移载装置（100）具备：两根支柱（101），其配置于搁架（300）的前侧，且以沿铅垂方向延伸的方式配置；上部轨道（102），其呈桥状地安装于支柱（101）的上部的前侧面；铅垂轨道（103），其配置于包含两根支柱（101）的平面内，且以能够滑动的方式与上部轨道（102）的侧面连接；下部轨道（104），其配置在铅垂轨道（103）的下方，安装于支柱（101）的下部，且以能够滑动的方式与铅垂轨道（103）连接；以及保持单元（105），其以能够装卸的方式保持对象物（202），且以能够滑动的方式与铅垂轨道（103）的侧面连接。

公开(公告)号：CN102431798B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201110287700.X

申请日：2011-09-26

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 粕谷透

IPC: B65G47/52 ,  B65G35/00

CPC classification number: B61B3/02 ,  B61B1/005 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 提供能够由卷帘门自如地开闭形成在壁上的开口、且尽量不产生行走导致的尘埃及振动地在壁两侧的空间之间运送物品的物品运送设备。运送空间被具有开口的壁分隔成第1空间和第2空间，设有沿着第1空间的第1行走轨道行走的第1移动体和沿着第2空间的第2行走轨道行走的第2移动体，在第1空间中以不与自如地开闭开口的卷帘门产生干涉的状态装配有自如地支撑物品的中转部，第1行走轨道装配成经由在第1移动体与中转部之间交接物品的第1空间侧移载位置，第2行走轨道装配成经由使物品在第2移动体与中转部之间以通过开口的形态交接的第2空间侧移载位置。

公开(公告)号：CN103547518B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201280021313.4

申请日：2012-03-09

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 安达成人 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/00 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G1/04 ,  B65G1/0435 ,  B65G2201/0297 ,  B66F7/06 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种能够提高作业性的拉出装置以及保存装置。拉出装置（1）具备：支承部（2a、2b），其在货架（134）收容有FOUP（120）的状态下被插入FOUP（120）的下方的间隙并固定于货架（134）；以及抬升部（4a、4b），以在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将FOUP（120）抬升的第二高度位置进行切换的方式设于支承部（2a、2b），且在第二高度位置能够将FOUP（120）朝货架（134）的前方滑动。

公开(公告)号：CN104787530A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201510021768.1

申请日：2015-01-16

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 衣川知孝

IPC: B65G1/04 ,  B65G35/00

CPC classification number: H01L21/67775 ,  B65G35/06 ,  B65G37/00 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种物品输送台车。物品输送台车具备：台车主体，沿着行进路径行进；支承部，从下方支承物品的底面；进退用驱动部，使支承部沿着水平方向在突出位置与引退位置之间进退移动；推压部，位于被引退位置的支承部支承的物品的正上方；间隔切换用驱动部，将支承部与推压部的上下方向上的间隔在推压间隔与离开间隔之间切换。

公开(公告)号：CN104245541A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380016960.0

申请日：2013-03-07

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 山本真

IPC: B65G1/04 ,  B65G1/00 ,  B65G35/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G1/0421 ,  B65G1/04 ,  B65G1/137 ,  B65G2201/0297 ,  G05B19/418 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备：收纳架(20)，设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近，收纳架(20)收纳被输送物(10)；堆垛起重机(30)，在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出；运载装置(40)，输送被输送物(10)；ID标签阅读器(R)，设置于堆垛起重机(30)，ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T)；以及控制器(50)，在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下，以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30)，收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。

公开(公告)号：CN103928377A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410018105.X

申请日：2014-01-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 松本昭博 ,  松下道明 ,  进藤悟 ,  仓富一纪

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67775 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67778

Abstract: 本发明提供一种具有收纳处理后的基板之后的盖的锁定的确认功能来实现处理后的基板的搬送的安全性的基板收纳处理装置和基板收纳处理方法以及基板收纳处理用存储介质。基于来自控制单元的控制信号，处理后的晶片W收纳在盒（10）内，并且在盒的开口部（10b）盖（10c）被关闭后，在未保持盖的状态下使盖装卸机构（30）从闭盖位置后退至开盖位置后，由盖装卸机构开放传感器（38b）检测盖装卸机构的开盖位置，并且由盖异常检测传感器（39a、39b）判断盖（10c）的闭盖状态的异常。在将从闭盖位置后退的盖装卸机构（30）再次移动至闭盖位置的状态下，将盖（10c）的锁孔（10d）与盖装卸机构（30）的锁（31）卡合。

公开(公告)号：CN102923427A

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201210283918.2

申请日：2012-08-10

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 森本雄一 ,  中马健志

IPC: B65G1/00

CPC classification number: B65G1/0457 ,  B65G1/0407 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769

Abstract: 提供一种物品运送设备，物品保管部的结构简单且其设置部位不会受到限制，在连续进行入库作业和出库作业的情况下能够谋求该作业所花费的时间的缩短。装备有第1运送输送机（37）和第2运送输送机（38），物品运送车（2）以停止在行驶轨道（1）的路径上的交接用停止位置的状态进行把持部（4）的升降，在与第1交接用停止位置（J1）以及第2交接用停止位置（J2）的一方之间自如地移载物品（3），并且进行把持部（4）的滑动移动，在与第1交接位置（J1）以及第2交接位置（J2）的另一方之间自如地移载物品（3），第1运送输送机（37）和第2运送输送机（38）的一方作为入库部（7）构成，另一方作为出库部（8）构成。

公开(公告)号：CN102869587A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201080065275.3

申请日：2010-12-28

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 衣川知孝 ,  柴田优 ,  小川大介

IPC: B65G1/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G1/065 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/68707

Abstract: 中间搁架（5）配置在比物品交接部（4）靠上方且比顶棚输送车（2）靠下方，中间移载装置（6）通过使移载装置用把持部（7）相对于中间搁架（5）及物品交接部（4）升降而自如移载物品（W），所述中间移载装置（6）在与顶棚输送车（2）及物品交接部（4）上下重叠的状态下，遍及交接部用移载位置、中间搁架用移载位置、避免顶棚输送车（2）在与物品交接部（4）或中间搁架（5）之间移载物品时的干涉的交接时退避位置及临时放置时退避位置，以受导引支承体（17）导引支承的状态沿着行进方向移动自如地设置，导引支承体（17）构成为形成空间，当顶棚输送车（2）移载物品（W）时把持部（3）及物品（W）能够在上下方向上通过所述空间。