公开(公告)号：JP2010135732A

公开(公告)日：2010-06-17

申请号：JP2009139218

申请日：2009-06-10

Applicant: Asahi Glass Co Ltd ,  旭硝子株式会社

Inventor： KOIKE AKIO ,  EBIHARA TAKESHI

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/22 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60

CPC classification number: G03F1/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  Y02P40/57

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate which has an excellent flatness suitable for an EUV (Extreme UltraViolet) mask or an EUV mask blanks. SOLUTION: A substrate 11 for an EUV mask is made of a material of silica glass containing 1-12 wt.% of TiO 2 , and has a surface roughness (rms) of 2 nm or below in a surface quality region. The substrate has a maximum stress variation (PV) of 0.2 MPa or below in a the surface quality region and has a thermal expansion coefficient of 200 ppb/°C in a temperature range of 0-100°C. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种具有适合于EUV（Extreme UltraViolet）掩模或EUV掩模毛坯的优异平坦度的基底。 解决方案：用于EUV掩模的基板11由含有1-12重量％的TiO 2 SBS 2的石英玻璃的材料制成，并且具有2nm的表面粗糙度（rms）或 在下面的表面质量区域。 基板在表面质量区域中的最大应力变化（PV）为0.2MPa以下，在0〜100℃的温度范围内具有200ppb /℃的热膨胀系数。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：KR1020170097108A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：KR1020177019376

申请日：2015-12-09

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 안나말라이,세지안 ,  두란,카를로스알베르토 ,  흐디나,케네쓰에드워드

IPC: C03C4/00 ,  C03C3/112 ,  C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  C03B25/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/112 ,  C03C4/00 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2203/52

Abstract: 제공된도핑된실리카-티타니아유리제품은, (i) 실리카-티타니아계유리, (ⅱ) 불소도펀트, 및 (ⅲ) 제2 도펀트를포함하는유리조성물을갖는유리제품을포함한다. 상기불소도펀트는 5 wt.%까지의불소농도를가지며, 및상기제2 도펀트는 50ppm 내지 6 wt.%의총 산화물농도로 Al, Nb, Ta, B, Na, K, Mg, Ca 및 Li 산화물로이루어진군으로부터선택된하나이상의산화물을포함한다. 더욱이, 상기유리제품은 20℃에서 0.5 ppb/K미만의팽창률기울기를갖는다. 상기제2 도펀트는선택적일수 있다. 상기유리제품의조성물은또한 100ppm 미만의 OH 농도를함유할수 있다.

Abstract translation: 提供掺杂的二氧化硅 - 二氧化钛的玻璃产品中，（i）为基础的氧化硅 - 氧化钛玻璃包含，（ⅱ）氟掺杂剂，和（ⅲ）具有包括第二掺杂剂的玻璃组合物的玻璃制品。 所述氟掺杂剂是5％（重量）拥有kkajiui氟浓度，所述第二掺杂剂是50PPM至约6重量组成以Al，铌，钽，B，钠，钾，镁，钙和Li氧化物％Uichong氧化物浓度 Lt氧化物“。 此外，玻璃产品在20℃时的充气斜率小于0.5ppb / K。 第二掺杂剂可以是可选的。 玻璃产品的组成也可以包含小于100ppm的OH浓度。

公开(公告)号：KR1020170138995A

公开(公告)日：2017-12-18

申请号：KR1020177025023

申请日：2016-02-08

Applicant: 커먼웰스 오브 오스트레일리아 레프리젠티드 바이 디파트먼트 오브 디펜스, 디펜스 사이언스 앤드 테크놀로지 오가니제이션

Inventor： 다니엘제이 ,  클락슨앤드류더블유. ,  시마콥니키타

IPC: G02B6/02 ,  G02B6/036 ,  C03C25/42 ,  C03C3/04 ,  H01S3/067

CPC classification number: H01S3/0405 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C25/1063 ,  C03C25/42 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/3488 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03694 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06733 ,  H01S3/094003

Abstract: 본발명은코어, 상기코어를실질적으로둘러싼내부클래딩으로서, 상기코어와상기내부클래딩이펌프방사선을전파하는형태의구역을형성하는내부클래딩, 상기내부클래딩을실질적으로둘러싼, 하나이상의제3 굴절률을갖는하나이상의제3 물질로구성된외부클래딩으로서, 상기제3 굴절률이상기제2 굴절률보다작고, 상기외부클래딩이상기코어와상기내부클래딩까지펌프방사선을한정하는, 외부클래딩, 및상기외부클래딩을실질적으로둘러싼, 열전도성물질로구성된피막을포함하는능동광섬유로서, 상기내부클래딩이상기펌프방사선이능동광섬유의길이를통하여전파됨에따라상기펌프방사선의흡수에대한공간홀 연소의영향을감소시키는형태이고, 상기피막의열 전도성물질이상기구역과상기피막의외부표면사이에서감소된온도상승을지지하는, 능동광섬유에관한것이다.

Abstract translation: 本发明是一个核心，包围在一个基本上，芯的芯和内包层的内侧包层，以形成区的形状的内包层传播的泵浦辐射，基本上环绕所述内包层，一个或多个第三折射率 的外包层由至少一个第三物质的具有第三折射率至少比基体2，折射率，所述外包层相移器芯并限定泵浦辐射对于内包层，外包层，更小，基本上由所述外部包层包围 作为活性光纤，包括涂层，其由导热材料制成，在根据传播的形式表示通过有源光纤的长度内包层相移器泵浦辐射降低了空间烧孔的泵辐射的吸收的影响，所述薄膜 支持热导体材料相区和膜外表面之间温度升高降低的有源光纤， 它是。

公开(公告)号：EP2352209B1

公开(公告)日：2018-06-13

申请号：EP09825949.2

申请日：2009-11-16

Applicant: Fujikura, Ltd.

Inventor： NAKAGUMA, Teruno ,  ICHII, Kentaro ,  TANIGAWA, Shoji

IPC: H01S3/067 ,  H01S3/16 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  H01S3/094

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: An ytterbium-doped optical fiber of the present invention includes: a core which contains ytterbium, aluminum, and phosphorus and does not contain germanium; and a cladding which surrounds this core. The ytterbium concentration in the core in terms of ytterbium oxide is 0.09 to 0.68 mole percent. The molar ratio between the phosphorus concentration in the core in terms of diphosphorus pentoxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 30. The molar ratio between the aluminum concentration in the core in terms of aluminum oxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 32. The molar ratio between the above aluminum concentration in terms of aluminum oxide and the above phosphorus concentration in terms of diphosphorus pentoxide is 1 to 2.5.

公开(公告)号：EP3256890A1

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：EP16748478.1

申请日：2016-02-08

Applicant: Commonwealth Of Australia Represented By Department of Defence, Defence Science And Technology Organisation

Inventor： DANIEL, Jae ,  CLARKSON, Andrew, W. ,  SIMAKOV, Nikita

IPC: G02B6/036 ,  C03C3/04 ,  C03C25/42 ,  H01S3/067 ,  H01S3/09

CPC classification number: H01S3/0405 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C25/1063 ,  C03C25/42 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/3488 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03694 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06733 ,  H01S3/094003

Abstract: An active optical fibre, including: a core; an inner cladding substantially surrounding the core, whereby the core and the inner cladding form an area configured to propagate pump radiation; an outer cladding comprised of at least a third material with at least a third refractive index substantially surrounding the inner cladding, the third refractive index being smaller than the second refractive index, whereby the outer cladding confines pump radiation to the core and the inner cladding; and a coating comprised of a thermally conductive material substantially surrounding the outer cladding, wherein the inner cladding is configured to reduce impact of spatial hole-burning on absorption of the pump radiation as the pump radiation propagates through the active optical fibre, and wherein the thermally conductive material of the coating supports a reduced temperature increase between the area and an outer surface of the coating.

公开(公告)号：EP3256429A1

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：EP16708813.7

申请日：2016-02-10

Applicant: Corning Incorporated

Inventor： ANNAMALAI, Sezhian ,  DURAN, Carlos Alberto ,  HRDINA, Kenneth Edward ,  ROSCH, William Rogers

IPC: C03C23/00 ,  C03C4/00 ,  C03C3/076 ,  C03C3/089 ,  C03C3/115

CPC classification number: C03C3/076 ,  C03B19/12 ,  C03B19/1453 ,  C03B25/00 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/089 ,  C03C3/112 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2203/52

Abstract: Annealing treatments for modified titania-silica glasses and the glasses produced by the annealing treatments. The annealing treatments include an isothermal hold that facilitates equalization of non-uniformities in fictive temperature caused by non-uniformities in modifier concentration in the glasses. The annealing treatments may also include heating the glass to a higher temperature following the isothermal hold and holding the glass at that temperature for several hours. Glasses produced by the annealing treatments exhibit high spatial uniformity of CTE, CTE slope, and fictive temperature, including in the presence of a spatially non-uniform concentration of modifier.

公开(公告)号：EP2352209A4

公开(公告)日：2017-06-07

申请号：EP09825949

申请日：2009-11-16

Applicant: FUJIKURA LTD

Inventor： NAKAGUMA TERUNO ,  ICHII KENTARO ,  TANIGAWA SHOJI

IPC: H01S3/067 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  H01S3/094 ,  H01S3/16

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: An ytterbium-doped optical fiber of the present invention includes: a core which contains ytterbium, aluminum, and phosphorus and does not contain germanium; and a cladding which surrounds this core. The ytterbium concentration in the core in terms of ytterbium oxide is 0.09 to 0.68 mole percent. The molar ratio between the phosphorus concentration in the core in terms of diphosphorus pentoxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 30. The molar ratio between the aluminum concentration in the core in terms of aluminum oxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 32. The molar ratio between the above aluminum concentration in terms of aluminum oxide and the above phosphorus concentration in terms of diphosphorus pentoxide is 1 to 2.5.

Abstract translation: 本发明的掺镱光纤包括：含有镱，铝和磷且不含锗的核; 以及围绕该芯的包层。 以氧化镱计，芯中的镱浓度为0.09〜0.68摩尔％。 以五氧化二磷换算的芯中的磷浓度与以氧化镱换算的上述镱浓度的摩尔比为3〜30。芯中的铝浓度换算成氧化铝的摩尔比与上述的镱浓度 以氧化镱换算为3〜32。上述以氧化铝换算的铝浓度与上述以五氧化二磷换算的磷浓度的摩尔比为1〜2.5。

公开(公告)号：EP2352209A1

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：EP09825949.2

申请日：2009-11-16

Applicant: Fujikura, Ltd.

Inventor： NAKAGUMA, Teruno ,  ICHII, Kentaro ,  TANIGAWA, Shoji

IPC: H01S3/06 ,  G02B6/02 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: An ytterbium-doped optical fiber of the present invention includes: a core which contains ytterbium, aluminum, and phosphorus and does not contain germanium; and a cladding which surrounds this core. The ytterbium concentration in the core in terms of ytterbium oxide is 0.09 to 0.68 mole percent. The molar ratio between the phosphorus concentration in the core in terms of diphosphorus pentoxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 30. The molar ratio between the aluminum concentration in the core in terms of aluminum oxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 32. The molar ratio between the above aluminum concentration in terms of aluminum oxide and the above phosphorus concentration in terms of diphosphorus pentoxide is 1 to 2.5.

Abstract translation: 本发明的镱掺杂光纤包括：含有镱，铝和磷并且不含锗的芯; 以及围绕该芯的包层。 以镱氧化物计，核心中的镱浓度为0.09〜0.68摩尔％。 以氧化镱表示的核心中的磷浓度与上述镱的氧化镱浓度之间的摩尔比为3〜30。以氧化铝计的核心中的铝浓度与上述镱的浓度 氧化镱为3〜32。以氧化铝计的上述铝浓度与上述磷浓度之间的摩尔比以五氧化二铜计为1〜2.5。

公开(公告)号：EP2011769A1

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：EP07111923.4

申请日：2007-07-06

Applicant: Evonik Degussa GmbH

Inventor： Oswald, Monika ,  Schulze-Isfort, Christian ,  Schumacher, Kai ,  Hofmann, Ralph ,  Kissner, Corinna

IPC: C03B19/10 ,  C03C12/00

CPC classification number: C03B19/1005 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C3/083 ,  C03C12/00 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/20 ,  C04B35/14 ,  C04B35/62655 ,  C04B2235/72

Abstract: Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Siliciumdioxid enthaltenden Granulates mit einer BET-Oberfläche von weniger als 1 m 2 /g und einem Anteil an Verunreinigungen von weniger als 50 ppm, bei dem man ein Gemisch, welches Siliciumdioxidpulver und eine Metallverbindung enthält, in einer Atmosphäre mit einer relativen Luftfeuchte von 10 bis 100%, bei Temperaturen von 0 bis 50°C intensiv mittels eines Dispergieraggregates vermengt, die krümelige Masse in Stücke zerteilt, nachfolgend trocknet, reinigt und sintert. Die Feuchte des Siliciumdioxidpulvers und/oder die Luftfeuchte reicht wenigstens aus, um die Metallverbindung vollständig zu hydrolysieren.

Abstract translation: 该方法制造含有BET表面积小于1m 2 / g的烧结二氧化硅和小于50ppm的杂质的比例的颗粒。 该颗粒包含二氧化硅粉末和金属化合物的混合物，在相对湿度为10-100％的气氛中，通过分散组合物在0至50℃的温度范围内进行强力组合。 首先将碎屑块分成块，然后干燥，清洁和烧结。 二氧化硅粉末和/或空气湿度足以使金属化合物完全水解。

公开(公告)号：JP2018509779A

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：JP2017559738

申请日：2016-02-08

Applicant: コモンウェルス・オブ・オーストラリア リプレゼンテッド バイ デパートメント・オブ・ディフェンス,ディフェンス・サイエンス・アンド・テクノロジー・オーガニゼーション

Inventor： ダニエル,ジェー ,  クラークソン,アンドリュー・ダブリュー ,  シマコフ,ニキータ

IPC: H01S3/067 ,  G02B6/02 ,  G02B6/036 ,  G02B6/44 ,  H01S3/042

CPC classification number: H01S3/0405 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C25/1063 ,  C03C25/42 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/3488 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03694 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06733 ,  H01S3/094003

Abstract: コア;実質的にコアを取り囲んでいて、それによってコアと内側クラッドがポンプ放射を伝搬するように構成される領域を形成している内側クラッド;実質的に内側クラッドを取り囲んでおり、第2の屈折率よりも小さい第3の屈折率を少なくとも有する第3の材料を少なくとも含み、それによってポンプ放射をコア及び内側クラッドへ制限する外側クラッド;及び、実質的に外側クラッドを取り囲んでいる、熱伝導性材料を含む被覆;を含み;内側クラッドは、ポンプ放射がアクティブ光ファイバーを通って伝搬する際にポンプ放射の吸収に対する空間的ホールバーニングの影響を減少させるように構成されており;被覆の熱伝導性の材料によって、上記領域と被覆の外表面の間の温度上昇が減少するアクティブ光ファイバー。【選択図】図3