Abstract:
본 발명의 반도체 패키지는, 반도체 집적회로가 탑재된 다이패드와, 상기 다이패드의 주변부를 따라 동일 평면에 배치되며 서로 동일한 길이를 가지는 복수개의 리드프레임과, 상기 다이패드의 반도체 집적회로와 각각의 리드프레임을 전기적으로 연결하기 위한 와이어를 포함하여 구성되며, 상기와 같이 리드프레임의 길이를 균일하게 하여 각 리드프레임의 저항값을 동일하게 함으로써 외부로부터 반도체 집적회로에 인가되는 신호간의 신호전달속도차를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로서, 특히 전원 단자와 접지 단자로 사용되는 패드 근처에 보호소자를 설치할 적당한 공간이 없는 경우에 적합하며, 칩 사이즈를 소형화하기에 적당한 정전기 보호 소자를 가진 반도체 장치에 관한 것이다. 본 발명의 정전기 보호 소자를 가진 반도체 장치는 제 1 및 제 2 전원전압패드 형성영역을 포함하도록 반도체 기판에 형성된 제 1 전도형 웰; 상기 제 1 전원전압패드 하방의 상기 제 1 전도형 웰의 표면근방에 형성되고 상기 제 1 전원전압패드와 전기적으로 접속된 제 2 전도형의 불순물영역; 및 상기 제 2 전원전압패드 하방의 상기 제 1 전도형 웰의 표면근방에 형성되고 상기 제 2 전원전압패드와 전기적으로 접속된 제 1 전도형의 불순물영역을 구비한 것을 특징으로 정전기 인가시 내부 회로를 과전류로부터 보호할 수 있을뿐만 아니라 칩 사이즈를 현저하게 줄일 수 있다.
Abstract:
본 발명은 사진 공정에 의존하지 않으면서 도전층과 절연층의 측벽(Sidewal-l)을 이용하여 소자의 채널 길이를 감소시킬 수 있도록 한 반도체 장치의 모스(MOS) 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 제1도전형의 반도체 기판; 상기 기판에 형성되고 소정 간격으로 이격된 제2전도형의 제1소오스 및 드레인 영역들; 상기 제1소오스 및 드레인 영역 상에 형성된 제2전도형의 도전층; 상기 도전층상에 각각 형성된 절연층; 상기 절연층과 도전층의 마주보는 측벽에 소정 간격으로 이격되어 형성된 측벽 스페이서; 상기 측벽 스페이서 하부의 상기 기판 표면 근방에 약하게 도핑된 제2전도형의 제2소오스 및 드레인 영역들; 상기 측벽 스페이서 사이의 기판상에 형성된 게이트 산화막; 상기 게이트 산화막과 측벽 스페이서상에 형성된 게이트 전극층을 포함하여 이루어지는 반도체 장치의 모스 트랜지스터를 제공코자 한 것이다.
Abstract:
본 발명은 반도체 장치에 대한 정전기 방전(ESD) 시뮬레이션(모의 실험)수행 방법에 있어서, 반도체 장치를 구성하는 반도체 소자들에 대해 주요동작 영역에 대해서 전압 제어 저항기로 대체하고, 반도체 소자에 대한 턴온 전압 전류 경계 조건 및 파괴 전압 전류 경계 조건을 부여하여 회로 변환 모델링을 수행하는 단계; 및 모델링 된 소자들을 포함하는 반도체 장치에 대해 회로 모의 실험을 행하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 반도체장치의 제조방법에 있어서, 고에너지 이온주입기술을 이용하여 에피텍셜층 매몰충의 불순물농도 윤곽을 동시에 실현시킬 수 있는 반도체기판의 제조방법에 관한 것으로, p형 실리콘기판 상에 산화막을 형성하고, 상기 산화막 위에 감광막을 도포한 다음, 매물영역을 확정하는 감광막패턴을 형성하고, 상기 감광막패턴을 이용하여 상기 매몰영역 상의 상기 산화막을 제거한 후, 상기 결과물 전면에 고농도의 n형 불순물을 고에너지로 이온주입 한 다음, 상기 감광막패턴과 산화막을 순차로 제거하고, 상기 실리콘기판을 단시간 열처리하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 상기한 본 발명의 방법에 따르면, 반도체기판의 제조공정을 단순화할 수 있으므로 제조단가가 절감될 수 있고, 고속 바이폴라 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있 효과가 있다.