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公开(公告)号：KR100827994B1
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：KR1020060030582
申请日：2006-04-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 이종 도금 결합방식을 이용한 하이브리드형 고강도 탐침 구조물 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 반도체 칩 또는 디스플레이의 회로패드와 직접 접촉되는 탐침부는 고강도 도금으로 제작하고, 나머지 스프링부는 패턴의 일부가 상기 탐침부와 상호 겹치도록 정렬한 상태에서 이종의 다른 재질로 도금하여 상기 탐침부와 상기 스프링부가 상호 결합된 형태를 갖는 탐침 구조물 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 이종 도금 결합방식을 이용한 하이브리드형 고강도 탐침 구조물 제작 방법은 탐침 구조물을 제작함에 있어서, 기판상에 탐침부를 형성하는 제1단계; 상기 탐침부가 형성된 상기 기판상에 제2감광막을 형성하는 제2단계; 상기 제2감광막에 스프링부 패턴을 형성하는 제3단계; 상기 스프링부 패턴에 도금하는 제4단계; 및 상기 제2감광막을 제거하는 제5단계를 포함한다.
탐침구조물, 이종도금, MEMS, 탐침, 스프링Abstract translation: 提供了使用不同种类材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构制造方法，以确保探针结构的机械稳定性，并且通过组合具有缓和电镀应力的弹簧单元和高强度探针单元来防止耐磨性 通过电镀使用不同种类的材料。 使用不同种类的材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构体的制造方法由在基板上形成探针单元（260）的工序， 在具有探针单元的基板上形成第二感光膜; 在第二感光膜上形成弹簧单元（270）的图案; 电镀弹簧单元的图案; 去除第二感光膜; 将探针结构（280）与基底分离; 并将探针结构插入载体孔中。
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公开(公告)号：KR100783326B1
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：KR1020060077991
申请日：2006-08-18
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/06755 , G01R3/00 , G01R31/2601
Abstract: An insulating probe tips and a method for manufacturing the same are provided to manufacture a probe card having the insulating probe tips with micro gaps therebetween without enlarging the thickness of the probe tips. A photoresist film(330) formed on a metal film(320) is patterned. A high hardness plating film is formed on the metal film. The high hardness plating film is separated from a substrate. An insulating film is deposited on a surface of the high hardness plating film. Both ends of the insulating film are then removed. The deposition of the insulating film is executed by one of PECVD(Plasma Enhanced Convention Vapor Deposition), DLC(Diamond Like Carbon) plasma deposition, atmospheric plasma pressure coating treatment, and parylene plasma coating treatment.
Abstract translation: 提供了一种绝缘探针头及其制造方法，以制造具有绝缘探针头的探针卡，其间具有微隙，而不扩大探针尖端的厚度。 形成在金属膜（320）上的光致抗蚀剂膜（330）被图案化。 在金属膜上形成高硬度的镀膜。 将高硬度镀膜与基板分离。 绝缘膜沉积在高硬度镀膜的表面上。 然后除去绝缘膜的两端。 绝缘膜的沉积通过PECVD（等离子体增强约定气相沉积），DLC（金刚石碳）等离子体沉积，大气等离子体压力涂覆处理和聚对二甲苯等离子体涂覆处理之一进行。
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公开(公告)号：KR1020070081997A
公开(公告)日：2007-08-20
申请号：KR1020060030582
申请日：2006-04-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/067 , G01R1/06716 , G01R1/06733
Abstract: A hybrid high-strength probe structure manufacturing method using a plating binding method of different kinds of materials is provided to secure mechanical stability of a probe structure and to prevent wear resistance by combining a spring unit with relieved plating stress and a high-strength probe unit through plating using the different kinds of materials. A hybrid high-strength probe structure manufacturing method using a plating binding method of different kinds of materials is composed of steps for forming a probe unit(260) on a substrate; forming a second photosensitive film on the substrate having the probe unit; forming a pattern of a spring unit(270) on the second photosensitive film; plating the pattern of the spring unit; removing the second photosensitive film; separating a probe structure(280) from the substrate; and inserting the probe structure into a carrier hole.
Abstract translation: 提供了使用不同种类材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构制造方法，以确保探针结构的机械稳定性，并且通过组合具有缓和电镀应力的弹簧单元和高强度探针单元来防止耐磨性 通过电镀使用不同种类的材料。 使用不同种类的材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构体的制造方法由在基板上形成探针单元（260）的工序， 在具有探针单元的基板上形成第二感光膜; 在第二感光膜上形成弹簧单元（270）的图案; 电镀弹簧单元的图案; 去除第二感光膜; 将探针结构（280）与基底分离; 并将探针结构插入载体孔中。
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公开(公告)号：KR100732368B1
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：KR1020050063672
申请日：2005-07-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324
Abstract: 본 발명은 강유전체를 이용한 원자간력 현미경 캔틸레버의 탐침 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 복잡한 장치를 사용하지 않으면서 쉽게 강유전체의 분극을 알 수 있는 캔틸레버의 탐침을 제조하기 위한 것이다.
본 발명의 강유전체를 이용한 원자간력 현미경 캔틸레버의 탐침은 캔틸레버 지지부; 상기 캔틸레버 지지부 상에 형성된 절연층; 상기 절연층 상에 형성된 금속층 및 상기 금속층의 첨두부에 형성된 강유전체로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
강유전체, 탐침, 전기분극-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100715123B1
公开(公告)日：2007-05-10
申请号：KR1020050059519
申请日：2005-07-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G11B7/2433 , G11B7/004
Abstract: 본 발명은 탐침형 정보저장장치의 기록매체 및 기록/재생/소거 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 상전이 박막 상에 금속-절연체 상전이 박막을 추가로 증착하여 기록밀도를 현저히 높일 수 있는 고밀도의 탐침형 정보저장장치의 기록매체를 제조하는 것에 관한 것이다.
본 발명의 탐침형 정보저장장치의 기록매체는 상전이 박막을 이용하는 탐침형 정보저장장치의 기록매체에 있어서, 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판 상에 위치하는 하부전극; 상기 하부전극 상에 위치하고 결정질 상태인 상전이 박막 및 상기 상전이 박막 상에 위치하는 금속-절연체 상전이 박막으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 탐침형 정보저장장치의 기록매체 및 기록/재생/소거 방법은 상전이에 의하 저항치의 변화를 이용하는 탐침형 정보저장장치의 기록매체를 제조함에 있어 제1 상전이 박막 상에 제2 상전이 박막을 추가로 증착함으로써 기록밀도를 현저히 높일 수 있는 장점이 있고, 테라비트급 탐침형 정보저장장치에 사용이 가능하며 PRAM 소자에 응용할 수 있는 효과가 있다.
상전이 박막, 기록매체, 정보저장, 기록, 재생, 소거-
公开(公告)号：KR100644798B1
公开(公告)日：2006-11-14
申请号：KR1020050063676
申请日：2005-07-14
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A driver for a low power probe type information storage device is provided to reduce the weight, decrease the driving power, and enhance the vertical strength by forming a lattice structure on a surface opposite to a recording surface of a middle transfer stick. A middle frame is connected to an outer frame(100) through springs, and moves in an X direction. A first seesaw is fixed to the outer frame(100), and connected to an X-axis driver and the middle frame through springs. A middle transfer stick(115) is connected to the middle frame though springs, and moves in a Y direction. A second seesaw is fixed to the outer frame(100), and connected to a Y-axis driver and the middle transfer stick(115) through springs. A recording medium(110) is joined to the middle transfer stick(115). A lattice structure is formed in the center portion of the middle transfer stick(115). A lower substrate(130) has coils for moving the X-axis and Y-axis drivers.
Abstract translation: 通过在与中间转印棒的记录表面相对的表面上形成网格结构，提供了一种用于低功率探针型信息存储设备的驱动器以减轻重量，降低驱动功率并增强垂直强度。 中框架通过弹簧连接到外框架（100），并沿X方向移动。 第一杠杆固定在外框架（100）上，并通过弹簧连接到X轴驱动器和中间框架。 中间转印杆（115）通过弹簧连接到中间框架，并沿Y方向移动。 第二跷跷板固定在外框架（100）上，并通过弹簧连接到Y轴驱动器和中间转印杆（115）。 记录介质（110）连接到中间转印杆（115）。 在中间转印杆（115）的中央部分形成网格结构。 下基板（130）具有用于移动X轴和Y轴驱动器的线圈。
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公开(公告)号：KR100539639B1
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：KR1020030050215
申请日：2003-07-22
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/04 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/03767 , H01L31/02167 , H01L31/075 , H01L31/1864 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 열화 현상을 제거할 수 있는 태양전지 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 기판 상부에 제 1 전극, P형 반도체층, 흡수층, N형 반도체층과 제 2 전극이 순차적으로 적층된 태양전지 소자영역과; 상기 제 2 전극 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성된 박막히터 패턴로 구성된다.
따라서, 본 발명은 태양전지 내에 박막히터를 내장하여 장시간 빛에 노출시킨 후 박막히터에 전류 또는 전압을 인가해 열처리함으로써, SW(Staebler- Wronski) 효과에 의한 박막의 특성저하 현상을 해결할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050120024A
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：KR1020040045211
申请日：2004-06-18
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L29/772 , B82Y40/00
CPC classification number: G01Q60/38 , B82Y40/00 , H01L21/0273 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L29/772
Abstract: 본 발명은 탄소 나노튜브 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 배치 프로세스를 통해 전계효과 트랜지스터의 채널 영역에 정확히 수직 배양된 탄소 나노튜브가 형성된 탐침을 포함하는 캔틸레버를 제공함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장 장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 탄소나노튜브 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 (a) 캔틸레버 지지대의 상부에 탐침을 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 지지대의 상부에 다층막 형성후, 2회에 걸친 패턴 형성 및 불순물 주입으로 전계효과 트랜지스터의 채널 영역에 탐침이 위치하며 탐침의 양측 경사면에 소스 및 드레인 영역이 형성되도록 캔틸레버 아암을 형성하는 단계; (c) 상기 기판 상부에 포토레지스트를 도포하고 애싱하여 탐침의 첨두부를 노출시키는 단계; (d) 상기 포토레지스트의 상부에 금속막을 형성하고 상기 포토레지스트를 제거하여 탐침의 첨두부에만 금속막을 남기는 단계; (e) 상기 금속막을 열처리한 후에 구형으로 변형하여 금속구를 형성하는 단계; (f) 상기 탐침의 첨두부에 탄소 나노튜브를 수직으로 배양시키는 단계; 및 (g) 상기 캔틸레버 아암의 일부를 제거하여 캔틸레버 아암을 부상시키는 단계를 포함하는 탄소 나노튜브 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 탄소 나노튜브 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법은 배치 프로세스를 통해 전계효과 트랜지스터의 채널 영역에 정확히 수직 배양된 탄소 나노튜브가 형성된 탐침을 포함하는 캔틸레버를 제공함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장 장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050114435A
公开(公告)日：2005-12-06
申请号：KR1020040039653
申请日：2004-06-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324
CPC classification number: G01Q60/38 , H01L21/0273 , H01L21/31 , H01L21/324
Abstract: 본 발명은 락인 증폭기를 사용하지 않으면서도 수십 GHz 이상에서 작동되는 반도체 소자의 고주파 특성을 볼 수 있는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 캔틸레버 지지대, 상기 캔틸레버 지지대상에 위치하며 일측이 부상된 캔틸레버 아암, 상기 캔틸레버 아암 선단에 위치한 팁, 상기 팁 내에 형성된 채널 및 상기 채널의 양측면에 각각 형성된 소스 및 드레인으로 이루어진 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버에 있어서, 상기 팁은 콘 모양 또는 피라미드 모양임을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버에 의해 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법은 팁을 제외한 주변의 절연막을 제거하므로써 고주파 소자의 검사가 가능한 효과가 있다.
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