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公开(公告)号：KR1020120039217A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：KR1020100100799
申请日：2010-10-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: Laser processing apparatus and method using the electric field are provided to enable users to process an object using the low laser output by reducing the value of a critical point of light quantity. CONSTITUTION: A laser processing apparatus(1) using the electric field includes an electric field generator(104) and a laser generation unit(100). The electric field generator generates the electric field on a product for increasing the energy state of the processed product(102). The laser generation unit radiates laser to the product with the increased energy by the electric field for processing.
Abstract translation: 目的：提供使用电场的激光加工设备和方法，以使用户能够通过降低光量临界点的值来使用低激光输出来处理物体。 构成：使用电场的激光加工装置（1）包括电场发生器（104）和激光产生单元（100）。 电场发生器在产品上产生电场以增加处理产品（102）的能量状态。 激光发生单元通过电场将激光发射到具有增加的能量的产品以进行处理。
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公开(公告)号：KR1020110110900A
公开(公告)日：2011-10-10
申请号：KR1020100030186
申请日：2010-04-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/382 , H01L21/78
Abstract: 본 발명은 기판 절단 방법에 관한 것으로, 절단하고자 하는 기판의 패턴에 따라 절단패턴이 형성된 제 1박판을 준비하는 단계, 준비된 상기 제 1박판을 기판의 절단면과 접하도록 위치시키는 단계, 상기 제 1박판이 위치된 기판의 반대면으로 제 1박판과 자력으로 압착될 수 있도록 제 2박판을 위치시키는 단계, 상기 제 1박판의 절단패턴을 따라 레이저를 이용하여 기판을 절단하는 단계 및 절단 후 제 1박판과 제 2박판을 제거하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 기판의 절단과정에서 발생하는 입자와 파편이 기판의 표면에 부착되는 것을 방지한다.
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公开(公告)号：KR100993894B1
公开(公告)日：2010-11-11
申请号：KR1020080103060
申请日：2008-10-21
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02F1/353 , G02F2001/354 , G02F2203/10 , H01S3/0092 , H01S3/1625 , H01S3/1636
Abstract: 본 발명은 랩탑 크기의 근접장 증폭을 이용한 고차 조화파 생성장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 발생기, 상기 펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 빛을 전달하는 광전달수단, 상기 광전달수단을 통해 전달받은 빛이 통과할 때 근접장 증폭이 일어날 수 있는 나노 개구를 가지는 금속 박막의 미세패턴, 상기 광전달수단을 통해 빛이 상기 미세패턴을 통과할 때 비활성 기체를 공급시켜주는 기체 공급부 및 상기 미세패턴과 기체 공급부를 진공 분위기 내에서 수용하기 위한 진공챔버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 외부 광증폭기 없이 미세패턴을 통해 근접장 증폭으로 입사되는 펨토초 레이저의 반복률을 유지시키면서 고차 조화파 생성을 달성할 수 있음으로 랩탑(lap-top) 크기로 소형화할 수 있는 큰 이점이 있다.
랩탑, 근접장, 고차 조화파, 펨토초, 미세패턴, 플라즈몬-
公开(公告)号：KR1020060074780A
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1309 , G01N21/95 , G01N2021/9513
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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公开(公告)号：KR1020060052004A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050092978
申请日：2005-10-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 1간섭무늬를 획득하고 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 2간섭무늬를 획득한다. 제 1간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득한다. 제 2간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득한다. 박막두께정보를 이용해 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보를 획득한다. 따라서, 본 발명은 별도의 구동 장치 없이 실시간 측정과 한번의 측정으로 한 점 또는 한 선에 대한 처리가 가능하고 외부 진동에 강인한 효과가 있다.
분산형, 간섭계, 백색광,-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060002653A
公开(公告)日：2006-01-09
申请号：KR1020040051788
申请日：2004-07-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B7/28 , G02B21/006 , G02B21/26 , G02B21/365
Abstract: 본 발명은 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점조절장치에 관한 것으로, 전통적인 공초점 현미경 구조에서 사용된 핀홀을 단일모드 광섬유로 대체함으로써 시스템 구성을 단순화하면서, 광원과 검출기의 역할이 하나의 광섬유로 통합되는 상반구성을 적용함으로써 광축 정렬의 어려움을 크게 해소함과 동시에, 광원변조 방법을 이용한 초점오차신호 획득을 통해 초점위치 검출을 위한 광축 주사과정을 제거하면서 대물렌즈 변조 방법에 비해 시스템에 미치는 물리적 영향을 최소화한 초점조절을 수행하는 것을 그 특징으로 한다.
공초점 현미경, 초점조절, 단일모드 광섬유, 광원변조-
公开(公告)号：KR1020030061643A
公开(公告)日：2003-07-22
申请号：KR1020020002306
申请日：2002-01-15
IPC: G01B9/02
Abstract: PURPOSE: A phase shift point-diffraction interferometer is provided to improve reliability of measuring results by using a single mode optical fiber as a spherical wave light source. CONSTITUTION: A phase shift point-diffraction interferometer includes a neutral density filter(13) for adjusting quantity of monochromatic light radiated from a laser generator(11). Monochromatic light is split by a beam splitter(14) in such a manner that split light is incident into a measurement fiber(18) and a reference fiber(19). A tube type piezoelectric device(20) is provided to achieve a phase shift by converting a light route through lengthening the reference fiber(19). An end of the measurement fiber(18) opposite to an object(22) to be measured is inclined. Reflection wave reflected from an inclined surface of the measurement fiber(18) and a reference wave of the reference fiber(19) are overlapped with each other, thereby forming an interference pattern.
Abstract translation: 目的：提供一种相移点衍射干涉仪，通过使用单模光纤作为球面波光源，提高测量结果的可靠性。 构成：相移点衍射干涉仪包括用于调节从激光发生器（11）辐射的单色光量的中性密度滤光器（13）。 单色光被分束器（14）分开，使得分束光入射到测量光纤（18）和参考光纤（19）中。 提供一种管式压电装置（20），以通过延长参考光纤（19）来转换光路来实现相移。 与测量对象物（22）相反的测量光纤（18）的一端倾斜。 从测量光纤（18）的倾斜表面反射的反射波和参考光纤（19）的参考波彼此重叠，从而形成干涉图案。
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公开(公告)号：KR1020180097321A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：KR1020170024173
申请日：2017-02-23
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 레이저의반복률을제어하는안정화방법및 이를수행하는장치가개시된다. 일실시예에따른안정화장치는제1 레이저로부터출력된제1 레이저펄스를제1 주파수신호로변환하여출력하는제1 광검출기와, 제2 레이저로부터출력된제2 레이저펄스를제2 주파수신호로변환하여출력하는제2 광검출기와, 상기제1 주파수신호및 상기제2 주파수신호를혼합하여제3 주파수신호를출력하는제1 주파수혼합기와, 상기제3 주파수신호에기초하여상기제2 레이저펄스의반복률을제어하는컨트롤러를포함한다.
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