Abstract:
본 발명은 강유전체/상유전체 박막을 기본으로 하는 동일 평판형 전송선로 구조의 초고주파 가변소자에 관한 것이다. 임피던스 매칭을 위한 입출력부가 일정한 폭으로 형성된 전송선로 부분보다 넓게 형성된 제 1 선로와, 임피던스 매칭을 위한 입출력부가 일정한 폭으로 형성된 전송선로 부분보다 좁게 형성된 제 2 선로를 포함하며, 입출력부에서의 제 1 선로의 선폭 및 제 1 선로와 제 2 선로와의 갭을 각각 조절하여 연결선과의 임피던스 차이를 최소화시킴으로써 삽입손실과 반사손실이 최소화되도록 한다. 가변소자, 전송선로, 접지선, 임피던스, 위상변위기
Abstract:
본 발명은 강유전체/상유전체 박막을 기본으로 하는 동일 평판형 전송선로 구조의 초고주파 가변소자에 관한 것이다. 임피던스 매칭을 위한 입출력부가 일정한 폭으로 형성된 전송선로 부분보다 넓게 형성된 제 1 선로와, 임피던스 매칭을 위한 입출력부가 일정한 폭으로 형성된 전송선로 부분보다 좁게 형성된 제 2 선로를 포함하며, 입출력부에서의 제 1 선로의 선폭 및 제 1 선로와 제 2 선로와의 갭을 각각 조절하여 연결선과의 임피던스 차이를 최소화시킴으로써 삽입손실과 반사손실이 최소화되도록 한다.
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PURPOSE: A distributed constant type analog phase shifter and a method for manufacturing the same are provided to reduce changes in characteristic of an CPW(coplanar waveguide) while maintaining changes in phase speed caused by a change in an applied voltage. CONSTITUTION: A distributed constant type analog phase shifter(100) comprises a substrate(110); a CPW extended in a line shape on the substrate; and a plurality of ferroelectric capacitors periodically loaded to the CPW. The ferroelectric substance of the ferroelectric capacitor is arranged into a pattern type.
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PURPOSE: A laser molecular beam epitaxy(MBE) apparatus is provided in which an ion beam generator is set to easily control supply of active oxygen when a metal oxide is fabricated and an ion beam formed from various gases is irradiated on the surface of the metal oxide to change composition and structure thereof. CONSTITUTION: A laser MBE apparatus has a pressure gauge(12) and an external vacuum pump(11) and vaporizes a metal oxide target(1) with a high-power pulse laser beam at a low pressure to deposit a metal oxide on a substrate(2) heated by a heater(3). The laser MBE apparatus includes a gas flow rate adjustment controller(6) for receiving an electrical signal from the pressure gauge to control gas flow rates, a gas flow rate controller(7) for supplying gases such that the laser MBE apparatus has a desired inner vacuum degree when the metal oxide is deposited, an ion beam generation controller(5) attached to the outside of the MBE apparatus to control the speed of an ion beam, and an ion beam generator(4) set inside the MBE apparatus to ionize the gases inserted from the gas flow rate controller, generating the ion beam.