公开(公告)号：EP0398995A1

公开(公告)日：1990-11-28

申请号：EP89904542.0

申请日：1989-04-07

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： FRIEDE, Dirk ,  BRÜCKNER, Volker ,  BAUMGARTL, Rudolf ,  CIRKEL, Hans-Jürgen

IPC: H01J35 ,  H01J3 ,  H01J17 ,  H01J33 ,  H01J37 ,  H01S3 ,  H05G2

CPC classification number: H05G2/003 ,  H01J3/025 ,  H01J17/40 ,  H01J33/00 ,  H01S3/09716

Abstract: Dans l'application préférée pour la préionisation de lasers TE, en particulier les lasers excimers, le tube à rayons X plasmique (ER), que l'on peut également désigner sous le nom de tube à ions à chambre unique, comprend un boîtier longiligne en forme de caisse (G) à l'intérieur duquel est agencé une cathode évidée (K) également longiligne et de section transversale approximativement en U, dont le côté ouvert est tourné vers la cible de rayons X sous forme de feuille imperméable aux gaz. Entre la cible des rayons X (1) et la cathode évidée (K) se trouve une électrode d'amorçage longiligne en forme de fil de fer (11). En appliquant une tension ou impulsion de tension positive à l'électrode d'amorçage (11), on crée autour de cette dernière un champ électrique sous l'influence duquel les électrons présents à cause du rayonnement ambiant sont forcés de suivre des trajectoires longues et hélicoïdales et ionisent ainsi des atomes de gaz. Des avalanches d'électrons se forment et amorcent la décharge du fil. En appliquant à la cathode évidée (K) un tension d'accélération typique d'entre 60 kV et 120 kV au maximum, on extrait des ions (i+) du plasma à basse pression (3) et on les accélère contre la cathode évidée (K). Au moment de l'impact des ions de la cathode évidée (K), des électrons secondaires sont émis et accélérés dans le sens opposé, formant le faisceau d'électrons (E), qui, en venant heurter la cible de rayons X (1), produit le rayonnement de freinage de rayons X (X). Ledit tube de rayons X plasmique convient aussi comme base pour un canon électronique: il suffit pour cela que la feuille qui recouvre l'ouverture dans la paroi de support de la cible et qui sert de fenêtre à électrons soit conçue de manière à laisser passer les faisceaux d'électrons.

公开(公告)号：EP0336282A1

公开(公告)日：1989-10-11

申请号：EP89105565.9

申请日：1989-03-29

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： Friede, Dirk, Dr. ,  Cirkel, Hans-Jürgen, Dr. ,  Baumgartl, Rudolf ,  Schmutzler, Matthias

IPC: H01J35/00 ,  H01J33/00 ,  H01S3/09

CPC classification number: H01S3/09716 ,  H01J3/025 ,  H01J17/40 ,  H01J33/00 ,  H01J35/06 ,  H01J35/08 ,  H01J2235/186

Abstract: Die Plasma-Röntgenröhre mit hohen Elektronenstromdichten, insbesondere zur Vorionisierung von Gaslasern, arbeitet nach dem Prinzip der Elektronenerzeugung durch Sekundärelektronen-­Emission bei Ionenbeschuß. In Längsachse der Röhre ist ein dünner Zünddraht (6) aufgespannt. Nach Anlegen eines positiven Spannungsimpulses an den Zünddraht (6) fliegen freie Elektronen in Spiralbahnen auf den dünnen Draht zu. Auf aufgerollten Flugbahnen legen die Elektronen größere Wege als die mittlere freie Weglänge unter Stoßionisation zurück und erzeugen so zu­sätzliche Ladungsträger. Ein Hochspannungsimpuls, der an eine seitlich in die Plasmakammer (1) ragende Hohlkathoden-Anode (3) angelegt wird, erhöht in Wechselwirkung mit den metallischen Wandungen (5b, 5c, 5d, 5e, 5f) die Ladungsträgerdichte. Ein negativer Hochspannungsimpuls auf die massive, ausgedehnte Beschleunigungskathode (7) saugt durch ein Gitter (9) positive Ionen aus der Hohlkathode (1′) ab, die bei ihrem Auftreffen auf die Beschleunigungskathode (7) Elektronen aus dem Metall herausschlagen. Diese werden von der Kathode (7) emittiert, zum Gitter (9) beschleunigt und durch den Drift- bzw. Plasmaraum (1) auf das Röntgentarget (12), eine ein Fenster abdeckende dünne Metallfolie oder Schicht, hin geschossen.

Abstract translation: 具有高电子电流密度的等离子体的X射线管，特别是用于气体激光器的预电离，运行在电子产生的离子轰击的原则由二次电子发射。 在管的纵向轴线，一个薄的触发线（6）被夹紧。 施加正电压脉冲施加到点火导线（6）之后的自由电子飞向在螺旋路径的细线。 在推出轨迹，电子旅行比在碰撞电离平均自由程回较长的路线，从而产生额外的电荷载体。 的高电压脉冲时，在等离子体室突出的一侧（1）空心阴极 - 阳极（3）被施加时，增加了与金属壁（5B，5C，5D，5E，5F），电荷载流子密度的相互作用。 负的高电压脉冲，以由一个网格（9）从所述空心阴极（1“）正离子，该敲除时，他们撞击在加速度阴极（7）从所述金属的电子引出的大量的，广泛的加速度阴极（7）。 这些被从阴极发射（7）被加速到电网（9），并通过所述漂移或等离子体腔室（1）的X射线靶（12），覆盖朝向拍摄的薄金属膜或层的窗口。

公开(公告)号：EP3382736A2

公开(公告)日：2018-10-03

申请号：EP18382014.1

申请日：2018-01-16

Applicant: Benhaim, Jean Pierre Guy

Inventor： Benhaim, Jean Pierre Guy

IPC: H01J3/02

CPC classification number: H01J3/025

Abstract: The object of the present invention is a device for increasing free electrons inciding in an electrical conductor body, which comprises a metal body with an inner surface and an outer surface, and an insulated support connected to the metal body to electrically insulate it from the ground, wherein the outer surface of the metal body is configured to receive a bombardment of external photons and convert them into free electrons; and the inner surface of the metal body is configured to receive the electrical conductor body without physically coming into contact with it and direct the free electrons towards the electrical conductor body to increase the incident free electrons thereof.

公开(公告)号：EP1451846B1

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：EP02796900.5

申请日：2002-12-06

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)

Inventor： LACOSTE, Ana ,  PELLETIER, Jacques ,  ARNAL, Yves, Alban-Marie

IPC: H01J37/077

CPC classification number: H01J37/077 ,  H01J3/025 ,  H01J2237/0041

公开(公告)号：EP1451846A2

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：EP02796900.5

申请日：2002-12-06

Applicant: CENTRE NATIONAL DELA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)

Inventor： LACOSTE, Ana ,  PELLETIER, Jacques ,  ARNAL, Yves, Alban-Marie

IPC: H01J37/077

CPC classification number: H01J37/077 ,  H01J3/025 ,  H01J2237/0041

Abstract: The invention concerns a source supplying an adjustable energy electron beam, comprising a plasma chamber (P) consisting of an enclosure (1) having an inner surface of a first value (S1) and an extraction gate (2) having a surface of a second value (S2), the gate potential being different from that of the enclosure and adjustable. The invention is characterized in that the plasma is excited and confined in multipolar or multidipolar magnetic structures, the ratio of the second value (S2) over the first value (S1) being close to: D = 1/β ∑2πme/mi exp (-1/2), wherein:β is the proportion of electrons of the plasma P, me the electron mass, and mi is the mass of positively charged ions.

公开(公告)号：EP1353352A1

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：EP03007602.0

申请日：2003-04-02

Applicant: Astrium GmbH

Inventor： Schartner, Karl-Heinz, Prof. Dr. ,  Loeb, Horst, Prof. Dr. ,  Leiter, Hans Jürgen ,  Harmann, Hans-Peter

IPC: H01J3/02

CPC classification number: H01J3/025

Abstract: Die Erfindung umfasst eine Hochfrequenz-Elektronenquelle (10), insbesondere als Neutralisator einer lonenquelle, insbesondere eines lonenantriebs umfassend einen Entladungsraum (11) mit mindestens einem Gaseinlass (14) für ein zu ionisierendes Gas und mindestens einer Extraktionsöffnung (16) für Elektronen, wobei der Entladungsraum (11) von mindestens einer Elektrode (12a) und einer Keeper-Elektrode (12b) zumindest teilweise umgeben ist und dass zwischen den Elektroden (12a, 12b) ein elektrisches Hochfrequenzfeld anliegt.

Abstract translation: 高频电子源具有放电室（11），其具有至少一个用于电离气体的气体入口（14）和用于电子的至少一个提取开口（16）。 放电室至少部分地由至少一个电极（12a）和保持器电极（12b）包围，并且在电极之间施加高频场。 放电室可以被等离子体室封闭。

公开(公告)号：EP1020887A2

公开(公告)日：2000-07-19

申请号：EP00109547.0

申请日：1996-03-01

Applicant: OSRAM SYLVANIA INC.

Inventor： Schoenback, Karl H. ,  Peterkin, Frank E. ,  Byszewski, Wojciech W. ,  Dharamsi, Amin N.

IPC: H01J1/02

CPC classification number: H01J3/025 ,  H01J1/025 ,  H01J3/04 ,  H01J17/04 ,  H01J17/06 ,  H01J27/08 ,  H01J61/067 ,  H01J61/09 ,  H01J61/12 ,  H01J61/305 ,  H01J61/66 ,  H01J61/72 ,  H01J61/78 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0382 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/2383

Abstract: The invention is directed to a discharge device and a cathode for use in such a discharge device.
By providing a dielectric layer between a first and a second electrode, e.g. between a cathode and an anode, said dielectric layer having an opening aligned with a micro hollow of the first electrode, the light efficiency of the discharge device can be improved.

Abstract translation: 本发明涉及用于这种放电装置的放电装置和阴极。 通过在第一和第二电极之间提供介电层，例如， 在阴极和阳极之间，所述介电层具有与第一电极的微小空心对准的开口，可以提高放电装置的光效率。

公开(公告)号：EP0395752B1

公开(公告)日：1996-03-06

申请号：EP90900452.5

申请日：1989-11-14

Applicant: ELECTRON VISION CORPORATION

Inventor： LIVESAY, William, R.

IPC: H01J37/077

CPC classification number: H01J37/077 ,  H01J3/025

Abstract: A large-area electron source (22) which can operate continuously, stably, and indefinitely in a poor vacuum (20) environment. The source includes a glow discharge cathode, appropriately positioned with respect to a target anode (30) and a fine-mesh grid (26) spaced from the cathode (22) by a distance less than the mean free path length of electrons leaving the cathode (22), the grid (26) being electrically biased to control the electron beam current over a wide range with only small grid voltage changes. An accelerating voltage (29) applied to the cathode (22) can be varied continuously from as low as a few hundred volts to 30 KeV or greater and the source will continue to operate satisfactorily. Further, the grid (26) is made of a fine mesh wire of sufficiently small dimensions as to not be resolvable in the target plane (30). A further refinement of the device utilizes scanning coils (34) to achieve additional uniformity of the incident beam at the target plane (30). The basic apparatus of the invention can be combined with other features, for use in shadow mask lithography, resist sensitivity measurement, lift off processing, and resist curing.

公开(公告)号：EP0480518B1

公开(公告)日：1995-02-01

申请号：EP91202587.1

申请日：1991-10-03

Applicant: SOCIETE ANONYME D'ETUDES ET REALISATIONS NUCLEAIRES S.O.D.E.R.N. ,  Philips Electronics N.V.

Inventor： Bernardet, Henri

IPC: H01J3/02

CPC classification number: H01J3/025

公开(公告)号：EP0158970B1

公开(公告)日：1990-05-30

申请号：EP85104350.5

申请日：1985-04-10

Applicant: SPECTRUM CONTROL, INC. (a Pennsylvania corporation)

Inventor： Ham, Mooyoung

IPC: H01J37/077

CPC classification number: H01J17/44 ,  H01J3/025 ,  H01J33/00 ,  H01J37/077