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公开(公告)号:KR100660543B1
公开(公告)日:2006-12-22
申请号:KR1020050100407
申请日:2005-10-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/115
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公开(公告)号:KR100636270B1
公开(公告)日:2006-10-19
申请号:KR1020050010832
申请日:2005-02-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L12/12
CPC classification number: H04L12/2803 , B25J9/0003 , H04L12/2818
Abstract: 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 홈 네트워크 시스템 및 그 제어방법은, 무선 단말을 이용하여 원격에서 언제 어디서나 홈 로봇을 연동 서버를 통해 제어하고, 무선 단말을 이용하여 가정내의 상황 등을 용이하게 모니터링할 수 있기 때문에 언제 어디서나 가정내의 방범 상황 및 기타 가전기기 상태 등을 모니터링 할 수 있도록 함으로써, 상기 홈 로봇의 원격 제어를 위한 제어 요구 메시지 및 홈 내 다수의 모니터링 요구 메시지를 제1 네트워크를 통해 전송하고, 제1 네트워크를 통해 수신되는 홈 로봇 제어 결과 정보 및 모니터링 정보를 수신하여 디스플레이하는 무선 단말; 상기 무선 단말로부터 제1 네트워크를 통해 수신되는 각 요구 메시지를 분석한 후, 해당 요구 메시지를 제2 네트워크를 통해 홈 로봇으로 전송하고, 홈 로봇으로부터 제2 네트워크를 통해 홈 로봇 제어 결과 정보 및 모니터링 정보를 수신하여 상기 제1 네트워크를 통해 상기 무선 단말로 전송하는 서버를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号:KR100604920B1
公开(公告)日:2006-07-28
申请号:KR1020040102217
申请日:2004-12-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/283 , H01L21/28
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 절연체막에 개구되는 콘택 홀(contact hole)을 통하여 상층과 하층의 각 배선층 상호간의 전기적 접속을 위해 폴리실리콘과 텅스텐으로 이루어진 이중 플러그(dual plug)라고 불리는 중간 도전체막을 형성함에 있어서, 콘택 홀내에 하부 플러그를 형성하기 위하여 폴리실리콘을 부분적으로 식각하기 위한 식각 방법을 개시한다. 상기 식각 방법은 화학적 다운스트림 식각 방법을 이용함으로써 콘택 홀의 측벽에 존재하는 질화막 스페이서 및 층간 절연막의 손실이 없이 폴리실리콘을 선택적으로 식각하여 식각 표면이 균일한 폴리실리콘 하부 플러그를 형성하게 함으로써 공정 여유도 및 공정 속도를 증가시키고 공정 수율 및 소자 동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이중 플러그, 화학적 다운스트림 식각-
公开(公告)号:KR1020060081867A
公开(公告)日:2006-07-13
申请号:KR1020050002303
申请日:2005-01-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명의 이미지를 이용한 음향 데이터 제공 방법은, 통신망을 통해 음향 데이터 식별용 이미지를 이용한 음향 데이터 요청신호를 수신하는 단계, 음향 데이터 식별용 이미지에 대응하여 등록되어 있는 적어도 하나의 음향 데이터를 검출하는 단계, 및 검출한 적어도 하나의 음향 데이터를 통신망을 통해 제공하는 단계를 포함한다.
벨소리, 다운로드, 휴대폰, 카메라폰, 이미지, 영상, 매칭, 음향-
公开(公告)号:KR1020060040429A
公开(公告)日:2006-05-10
申请号:KR1020040090023
申请日:2004-11-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: An apparatus to provide digital broadcasting data using a Wireless Local Area Network (WLAN) includes: a digital broadcasting processor adapted to receive, demodulate, decode, and output multi-channel digital broadcasting data; a transcoder adapted to receive the demodulated digital broadcasting data from the digital broadcasting processor, to convert the digital broadcasting data into a format transmittable over a Wireless Local Area Network (WLAN), and to output the converted digital broadcasting data; and a WLAN processor adapted to transmit the converted digital broadcasting data to a wireless terminal device connected to the WLAN. The method includes: establishing a session using a Wireless Local Area Network (WLAN) between the multi-channel broadcasting receiver and a wireless terminal device, the wireless terminal device being connected to the multi-channel broadcasting receiver via the WLAN, in response to a wireless terminal device's request; converting the digital broadcasting data received by the multi-channel broadcasting receiver into a format transmittable via the WLAN in response to a digital broadcasting service request from the wireless terminal device; and transmitting the converted digital broadcasting data to the wireless terminal device via the WLAN.
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公开(公告)号:KR1020020038849A
公开(公告)日:2002-05-24
申请号:KR1020000068700
申请日:2000-11-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 박종호
IPC: H04B1/40
CPC classification number: H04M1/72522 , H04M1/72583 , H04M2250/22
Abstract: PURPOSE: A mobile communication terminal having a touch pad and a method for selecting menus using the same are provided to add the touch pad on the mobile communication terminal, so as to easily move on a screen such as menu selection and Internet connection and easily input digits and characters for e-mail or message sending. CONSTITUTION: An antenna(110) receives wireless signals radiated to the air, and radiates wireless signals to the air. A transmitter/receiver(120) processes transmitting signals to be radiated through the antenna(110) and processes the wireless signals received through the antenna(110). A memory(140) stores inherent data, program data and data processed in a terminal. An LCD(Liquid Crystal Display,12) displays menus indicating functions turned to directories. A touch pad(15) provides inputs for selection desired functions through the menus displayed on the LCD(12). And a controller(130) selects one function of the functions to display the selected function on the LCD(12), by responding to an input through the touch pad(15).
Abstract translation: 目的:提供具有触摸板的移动通信终端和用于选择使用该触摸板的菜单的方法,以将触摸板添加到移动通信终端上,以便容易地在诸如菜单选择和因特网连接的屏幕上移动并且容易地输入 电子邮件或邮件发送的数字和字符。 构成:天线(110)接收辐射到空中的无线信号,并将无线信号辐射到空气中。 发射机/接收机(120)处理要通过天线(110)辐射的发射信号并处理通过天线(110)接收的无线信号。 存储器(140)存储在终端中处理的固有数据,程序数据和数据。 LCD(液晶显示器,12)显示指示转向目录的功能的菜单。 触摸板(15)通过LCD(12)上显示的菜单提供用于选择所需功能的输入。 并且控制器(130)通过响应通过触摸板(15)的输入来选择功能的一个功能来显示所述LCD(12)上的所选功能。
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公开(公告)号:KR100295061B1
公开(公告)日:2001-07-12
申请号:KR1019990029731
申请日:1999-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/24
CPC classification number: H01L21/02071 , H01L21/28114 , H01L21/32134 , H01L21/32137 , H01L21/76897 , H01L23/5258 , H01L29/42376 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 챔퍼가형성된실리사이드층을갖춘반도체소자및 그제조방법에관하여개시한다. 본발명에따른반도체소자는반도체기판상에형성된제1 절연막과; 상기제1 절연막위에형성된제1 도전층패턴과; 상기제1 도전층패턴위에형성되고, 상기반도체기판의주면에대하여실질적으로수직인프로파일을가지는하부에지와, 챔퍼(chamfer)가형성된상부에지를갖춘제2 도전층패턴으로이루어지는게이트구조와; 상기제2 도전층패턴위에형성되고, 제1 폭(W)을가지고상기제2 도전층패턴의상부에지보다돌출된측벽을가지는제2 절연막을포함한다. 본발명에따른반도체소자의제조방법에서는상기챔퍼가형성된상부에지의형상에대응하는윤곽을가지는언더컷영역을형성하기위하여, 포토레지스트패턴의애싱공정과동시에또는상기애싱공정에이어서동일챔버내에서연속적으로행해지는등방성건식에칭공정을이용한다. 또는, 포토레지스트패턴을상기애싱공정에의하여제거한후 단일의세정시스템내에서기존의스트립공정과연속적으로행해지는등방성습식식각공정을이용하는방법도가능하다.
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公开(公告)号:KR1020000033435A
公开(公告)日:2000-06-15
申请号:KR1019980050285
申请日:1998-11-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01B11/02
Abstract: PURPOSE: A method for measuring a thickness of a material layer formed on a silicon on insulator(SOI) wafer is provided. CONSTITUTION: An SOI wafer where a buried insulating layer(102) and a silicon layer(104) are sequentially stacked on a semiconductor substrate(100) is provided. The semiconductor substrate(100) is exposed by trench-etching the silicon layer(104) and the buried insulating layer(102) of the SOI wafer. Thereafter, active devices are formed on the silicon layer(104) of the SOI wafer. A thickness of a material layer to be formed in a succeeding process, such as an oxide film(114), is monitored on the exposed semiconductor substrate(100) of the SOI wafer, thereby precisely measuring the thickness of the material layer.
Abstract translation: 目的:提供一种用于测量在绝缘体上硅(SOI)晶片上形成的材料层的厚度的方法。 构成:提供了在半导体基板(100)上依次层叠埋置绝缘层(102)和硅层(104)的SOI晶片。 半导体衬底(100)通过沟槽蚀刻SOI晶片的硅层(104)和掩埋绝缘层(102)来曝光。 此后,在SOI晶片的硅层(104)上形成有源器件。 在SOI晶片的暴露的半导体衬底(100)上监视在后续工艺中形成的材料层(例如氧化膜(114))的厚度,从而精确测量材料层的厚度。
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公开(公告)号:KR1020000002502A
公开(公告)日:2000-01-15
申请号:KR1019980023294
申请日:1998-06-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/76
Abstract: PURPOSE: An improved production method of an element isolation is provided not to induce a mis-operation of a semiconductor device. CONSTITUTION: The production method of the element isolation film on a semiconductor substrate(100) comprises steps of forming; a mask layer only in the area to be formed an active area on the semiconductor substrate; a trench(107) by anisotropic etching the semiconductor substrate in a certain depth; an element isolation film by thermal oxidation after growing an epitaxial film about a half depth of the trench inside the trench.
Abstract translation: 目的:提供元件隔离的改进的制造方法,不会引起半导体器件的误操作。 构成:半导体衬底(100)上的元件隔离膜的制造方法包括以下步骤: 仅在要在半导体衬底上形成有源区的区域中的掩模层; 通过以一定深度各向异性蚀刻半导体衬底的沟槽(107); 在沟槽内沟槽的一半深度附近生长外延膜之后通过热氧化形成元件隔离膜。
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公开(公告)号:KR1019990053968A
公开(公告)日:1999-07-15
申请号:KR1019970073690
申请日:1997-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/76
Abstract: 본 발명은 게이트 산화막의 신뢰성 저하를 방지하는 반도체 장치의 소자 격리막 형성 방법 및 그 구조에 관한 것으로, 반도체 기판 상에 엑티브 영역과 소자 격리 영역을 정의하여 PSL 소자 격리막을 형성한다. 그리고, 상기 소자 격리막의 상부 돌출 부위의 양측벽에 엑티브 리세스 방지용 폴리 스페이서를 형성한다. 상기 폴리 스페이서를 포함하여 상기 반도체 기판을 산화시켜 희생 산화막을 형성한 후, 상기 희생 산화막 및 소자 격리막을 에치 백 공정으로 식각 하여 상기 소자 격리막의 상부 표면을 평탄화 시키는 단계를 포함한다. 이때, 상기 소자 격리막의 상부의 폭이 그 하부의 폭 보다 상대적으로 넓다. 이와 같은 반도체 장치의 소자 격리막 형성 방법 및 그 구조에 의해서, 엑티브 리세스 방지용 폴리 스페이서를 사용하여 엑티브 영역과 소자 격리 영역 경계 부분의 소자 격리막의 에치 백 식각 마진을 증가시킬 수 있고, 따라서 엑티브 리세스를 방지할 수 있으며, 게이트 산화막의 신뢰성 저하를 방지할 수 있다.
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