Abstract:
본 발명은 웨이퍼 카세트의 전방 양측부와 후방 돌출부에 슬롯번호를 모두 표시하여 웨이퍼 카세트의 전, 후방 위치에 관계없이 슬롯번호를 용이하게 식별할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 구조에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 카세트 스테이션에 올려 놓여진 웨이퍼 카세트의 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있도록 한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 제공하는데 있다. 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조는 웨이퍼의 카세트의 전방 양측부 및 후방 돌출부 모두에 슬롯번호가 표시되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 담당작업자가 카세트 스테이션에 놓여진 웨이퍼 카세트를 전혀 움직이지 않고도 웨이퍼 카세트의 후방에서도 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있다.
Abstract:
인스트럭션 캐시 관리 방법 및 프로세서가 제공된다. 본 발명의 프로세서는 비활동 모드 및 활동 모드를 가지는 프로세서 코어, 및 상기 비활동 모드 동안, 상기 활동 모드 동안 상기 프로세서 코어가 수행할 제1 인스트럭션을 미리 추적하여 캐시 미스를 검출하는 인스트럭션 캐시를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이를 통해 캐시 미스를 미리 검출하여 실제 인스트럭션 수행시의 캐시 미스 발생 빈도를 감소시킬 수 있다. 캐시 미스, 인스트럭션 캐시, 재구성 프로세서
Abstract:
본 발명은 액적 질량편차 측정장치와 이의 액적 질량편차 측정방법과 이를 이용하는 패턴형성시스템 및 이를 이용하는 패턴형성시스템의 제어방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 복수의 액적토출유닛으로부터 토출되는 액적들의 질량편차를 실시간으로 측정할 수 있으며 복수의 액적토출유닛으로부터 토출되는 액적들이 높은 정밀도를 요구하는 직경을 가지는 경우에도 질량편차를 측정할 수 있는 액적 질량편차 측정장치와 이의 질량편차 측정방법과 이를 이용하는 패턴형성시스템 및 이를 이용하는 패턴형성시스템의 제어방법을 제공함에 있다. 이를 위해 본 발명에 따른 액적 질량편차 측정장치는 복수의 액적토출유닛 각각에서 토출되는 복수의 액적; 상기 복수의 액적에 상기 복수의 액적의 토출방향과 다른 방향의 이동력을 개별적으로 제공하는 액적 이동력 제공부; 상기 복수의 액적의 위치가 개별적으로 반영되는 액적위치영상들을 취득하는 토출액적위치감지부재; 상기 토출액적위치감지부재에서 취득된 상기 액적위치영상들을 이용하여 상기 복수의 액적의 액적토출방향이탈각들을 산출하여 상기 복수의 액적의 질량편차들을 측정하는 액적 질량편차 측정 제어부를 포함한다. 액적, 액적 질량편차 측정장치