-
公开(公告)号：KR1020050112260A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020040037196
申请日：2004-05-25
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L41/314 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/332
Abstract: 본 발명은 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압전 구동 방식의 액츄에이터에 의한 그리핑 방식을 제안하여 저전압 구동과 그리핑의 힘을 크게 낼 수 있고, 그리핑 범위를 조절할 수 있는 그리퍼에 관한 것이다.
본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 있어서, 실리콘 하부면을 에칭하고 실리콘 산화막과 폴리 실리콘을 차례로 증착하는 단계; 상기 증착된 폴리 실리콘 상에 질화 실리콘을 증착 및 패터닝하고 그리핑 구동 변위 센싱 및 제어를 위한 변위센서를 만드는 단계; 상기 폴리 실리콘 상부에 하부전극을 형성하는 단계; 상기 하부전극 상부에 압전 물질을 증착 및 패터닝하여 압전 액츄에이터를 형성하는 단계; 상기 압전 액츄에이터 상부에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 폴리 실리콘과 실리콘 산화막의 일부를 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 압전 박막에 전압을 인가하여 길이 방향으로 수축시켜 압전 박막이 입힌 쪽으로 휘게 함으로써 물체를 잡거나 놓을 수 있고, 외팔 집게형과 양팔 집게형의 두 가지 형태로 제작이 가능한 장점이 있고, 그리핑 범위를 자유로이 조절할 수 있으며, 에너지 소비를 줄일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100498988B1
公开(公告)日：2005-07-01
申请号：KR1020030055859
申请日：2003-08-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y35/00
Abstract: 본 발명은 병렬 프로브를 이용하여 패터닝하는 방법에 관한 것으로, 웨이퍼 상에 병렬 프로브 어레이와, 그 병렬 프로브 어레이 영역의 외측 또는 내측 영역에 상호 대칭되며, 상기 병렬 프로브보다 구동 변위가 큰 복수개의 컨택 레벨링 프로브들이 형성된 웨이퍼를 리소그래피를 수행할 대상 웨이퍼 상부에 위치시키는 제 1 단계와; 상기 컨택 레벨링 프로브들을 구동시키고, 상기 모든 컨택 레벨링 프로브들이 리소그래피를 수행할 대상 웨이퍼에 접촉되지 않으면, 상기 컨택 레벨링 프로브들이 형성된 웨이퍼를 수평 정렬시키는 제 2 단계와; 상기 컨택 레벨링 프로브로 대상 웨이퍼에 리소그래피 공정을 수행하여 정렬 마크(Alignment mark)를 형성 및 인식하는 제 3 단계와; 상기 병렬 프로브들로, 상기 대상 웨이퍼에 리소그래피 공정을 수행하고, 현상(Develop) 및 패터닝(Patterning)공정을 수행하는 제 4 단계로 구성된다.
따라서, 본 발명은 컨택 레벨링(Contact leveling) 프로브(병렬프로브 보다는 구동변위가 크며, 리소그래피를 수행할 대상웨이퍼에 접촉하여 병렬프로브의 수평정렬, 정렬마크 리소그래피와 AFM(Atomic Force Microscopy)으로 정렬마크 표면감지를 수행하는 프로브)를 형성하여, 리소그래피 공정을 수행하기 위해 병렬 프로브 어레이를 대상 웨이퍼로의 접근 시, 과도한 접촉에 의한 병렬 프로브 파괴를 방지하고, 고속 리소그래피 공정을 수행하여 나노 소자의 대량생산을 가능하게 할 수 있으며, 컨택 레벨링 프로브로 정렬 마크를 형성하고 이를 표면감지하여 정밀한 패터닝을 형성할 수 있는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR100496209B1
公开(公告)日：2005-06-21
申请号：KR1020030034939
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/32
Abstract: 본 발명은 마이크로 볼 렌즈가 결합된 광섬유 제조 방법에 관한 것으로, 광섬유의 끝단면을 제외한 끝단 부분에 식각 보호막을 형성하는 단계와; 상기 식각 보호막이 형성되지 않은 광섬유의 끝 단면에 오목한 홈을 형성하는 단계와; 상기 광섬유 끝단면에 형성된 오목한 홈에 접착제를 주입하는 단계와; 상기 접착제가 주입된 오목한 홈에 마이크로 볼 렌즈를 결합하는 단계로 구성된다.
따라서, 본 발명은 습식 식각 공정에 의해 광섬유 끝단에 오목한 홈이 형성된 광섬유를 대량으로 만들고, 각각의 광섬유들의 오목한 홈에 마이크로 볼 렌즈를 결합시켜 제조함으로써, 제조공정을 단순화하고, 제조 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 광섬유 끝단에 오목한 홈을 만들어 광섬유의 광축과 마이크로 볼 렌즈의 광축을 보다 정확하게 정렬할 수 있게 함으로써 렌즈의 광축 어긋남에 따른 광 손실을 최소화 할 수 있으며 광섬유와 광섬유, 광섬유와 광소자를 연결할 때 광축 정렬을 보다 용이하게 할 수 있는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1020050018038A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：KR1020030055859
申请日：2003-08-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y35/00
Abstract: PURPOSE: A patterning method using a parallel probe is provided to prevent a parallel probe from being broken by excessive contact when a parallel probe array approaches a target water to perform a photolithography process by forming a contact leveling probe. CONSTITUTION: A parallel probe array is formed on a wafer. The wafer having a plurality of contact leveling probes that are mutually symmetrically formed in the outer or inner regions of a parallel probe array region and have a larger driving displacement than the parallel probe is positioned on a target wafer on which a photolithography process is to be performed. The contact leveling probes are driven. If all the contact leveling probes don't come in contact with the target wafer, the wafer including the contact leveling probes is horizontally aligned(S170). By using the contact leveling probes, a photolithography process is performed on the target wafer to form and recognize an alignment mark(S190). By using the parallel probes, a photolithography process is performed on the target wafer(S230) and a development/patterning process are performed(S240).
Abstract translation: 目的：提供使用平行探针的图案化方法，以在平行探针阵列接近目标水以通过形成接触平衡探针进行光刻处理时，防止平行探针被过度接触破坏。 构成：在晶片上形成平行的探针阵列。 具有相互对称地形成在平行探针阵列区域的外部或内部区域中并且具有比平行探针更大的驱动位移的多个接触调平探针的晶片位于其上将在其上进行光刻工艺的目标晶片上 执行。 触点调平探头被驱动。 如果所有的接触调平探针不与靶晶片接触，则包括接触校平探针的晶片水平对准（S170）。 通过使用接触调平探针，在目标晶片上进行光刻处理以形成并识别对准标记（S190）。 通过使用并行探针，对目标晶片进行光刻处理（S230），进行显影/图案化处理（S240）。
-
公开(公告)号：KR1020030083930A
公开(公告)日：2003-11-01
申请号：KR1020020022332
申请日：2002-04-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/02 , B81B2201/03 , B81B2201/031 , B81B2203/0136 , B81C1/00015 , B81C1/00349 , B81C1/00388 , B81C1/00555
Abstract: PURPOSE: A thermal micro actuator and a method for fabricating the same are provided to amplify displacement of the thermal micro actuator by installing an arch bar at end portions of two arch bars. CONSTITUTION: A thermal micro actuator includes a substrate(50). A first electrode(51), a ground electrode(52) and a second electrode(53) are fixed to the substrate(50) in such a manner that they are parallel spaced by a predetermined distance. A first arch bar(54) extends from the first electrode(51) and the ground electrode(52). A second arch bar(55) extends from the second electrode(53) and the ground electrode(52). A third arch bar(56) extends from end portions of the first and second arch bars(54,55). A front section(58) extends from a center(57) of the third arch bar(56).
Abstract translation: 目的：提供一种热微致动器及其制造方法，用于通过在两个拱杆的端部安装拱杆来放大热微致动器的位移。 构成：热微致动器包括衬底（50）。 第一电极（51），接地电极（52）和第二电极（53）以平行间隔预定距离的方式固定到基板（50）。 第一拱杆（54）从第一电极（51）和接地电极（52）延伸。 第二拱杆（55）从第二电极（53）和接地电极（52）延伸。 第三拱杆（56）从第一和第二拱杆（54,55）的端部延伸。 前部（58）从第三拱杆（56）的中心（57）延伸。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020000013879A
公开(公告)日：2000-03-06
申请号：KR1019980033000
申请日：1998-08-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/14
Abstract: PURPOSE: An alleviative ferroelectric lead magnesium niobate series ceramic composite is proved to be applied to an uncooled bolometric infrared detecting sensor and cut down production cost. CONSTITUTION: As starting materials, PbO, TiO2, MgNb2O6, and NiO are balanced to compound (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 - xPbTiO3 (x is more than 0.03 and less than 0.09) and (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 - xPbTiO3 - yNiO (x is more than 0.01 and less than 0.20, y is more than 0.005 and less than 0.10), which are composite of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 series and mixed in an agitator by adding distilled water. The mixed sample is calcined, dried, and ground to attain a powder-typed sample. The powder-typed sample is shaped with a circular plate and agglomerated.
Abstract translation: 目的：减轻铁电铅铌酸铌系列陶瓷复合材料被应用于非制冷辐射红外探测传感器，降低生产成本。 构成：作为原料，PbO，TiO2，MgNb2O6和NiO与化合物（1-x）Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3-xPbTiO3（x大于0.03且小于0.09）和（1-x ）Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3-xPbTiO3-yNiO（x大于0.01且小于0.20，y大于0.005且小于0.10），它们是Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3系列 并通过加入蒸馏水在搅拌器中混合。 将混合的样品煅烧，干燥并研磨以获得粉末样品。 粉末样品成形为圆形板并凝聚。
-
公开(公告)号：KR100225069B1
公开(公告)日：1999-10-15
申请号：KR1019970006806
申请日：1997-02-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/28
Abstract: 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 메사형의 기판과, 상기 메사형의 실리콘 기판 상에 형성된 물질막과, 상기 물질막 상에 형성된 접착향상막과, 상기 접착향상막 상에 형성된 가열부용 제1 백금 패턴과 상기 제1 백금 패턴의 양측에 형성된 패드용 제2 백금 패턴과, 상기 접착향상막 상에 상기 제1 백금 패턴들 사이를 매몰하면서 형성된 보호층과, 상기 보호층 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어진다. 상기 접착향상막은 (Al, Si)O
x 막으로 이루어져 있으며, 상기 촉매층은 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어져 있다. 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 700℃까지 온도저항계수의 열화고 백금저항체의 TCR(temperature coefficient resistance)을 높이기 위해 (Al, Si)O
x 막으로 이루어진 접착향상막 상에 백금 저항 패턴이 형성되어 있고, 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어진 촉매층을 구비하여 감도를 높일 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020170041506A
公开(公告)日：2017-04-17
申请号：KR1020150141016
申请日：2015-10-07
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/407 , B05D5/00 , B05D7/02 , B05D3/02
Abstract: 본발명은마이크로가스센서를구성하는감지전극상에도포되는감지물질을정확하게도포하기위한마이크로가스센서제조방법에관한것으로, 실리콘기판상부에제1절연막을형성하는단계와, 상기제1절연막상부에가열전극들을형성하는단계와, 상기가열전극들을감싸며상기제1절연막상부에제2절연막을형성하는단계와, 상기제2절연막상부에감지전극들과접지전극을형성하는단계와, 상기감지전극들만을에워싸는위치에초소수성물질을도포하여초소수성물질박막층을형성하는단계와, 상기초소수성물질박막층에의해둘러싸인상기감지전극들상에감지물질을도포하여건조시키는단계;를포함함을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于精确施加施加在构成微型气体传感器的感测电极上的感测材料的微型气体传感器制造方法，该方法包括以下步骤：在硅基底上形成第一绝缘膜; 在第一绝缘层上形成第二绝缘层，在第二绝缘层上形成感测电极和接地电极，在第二绝缘层上形成第二绝缘层， 通过向感测电极周围的部分施加超疏水性材料，并且在感测电极上施加并干燥感测材料，从而形成超疏水性薄膜层，所述感测电极由相位下面的疏水性薄膜层 。
-
公开(公告)号：KR101608678B1
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：KR1020140064314
申请日：2014-05-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31 , G01N21/3504 , G02B26/00
Abstract: 본발명은가스측정센서에관한것으로, 측정대상가스를투과한방사형광을제1 방향으로집속하는집속렌즈및 상호인접하고상기집속된광의일부를제2 방향으로각각집속하는복수의집속렌즈들을포함한다. 따라서, 모듈패키징을보다용이하게할 수있으며, 가스를통과한방사형광을제어하여단일회로기판에패키징될수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020150136815A
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140064314
申请日：2014-05-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31 , G01N21/3504 , G02B26/00
Abstract: 본발명은가스측정센서에관한것으로, 측정대상가스를투과한방사형광을제1 방향으로집속하는집속렌즈및 상호인접하고상기집속된광의일부를제2 방향으로각각집속하는복수의집속렌즈들을포함한다. 따라서, 모듈패키징을보다용이하게할 수있으며, 가스를통과한방사형광을제어하여단일회로기판에패키징될수 있다.
Abstract translation: 气体测量传感器技术领域本发明涉及一种气体测量传感器。 本发明包括：聚焦透镜，其聚焦在第一方向上穿透目标气体的径向光; 并且聚焦透镜在第二方向上聚焦彼此相邻的聚焦光的一部分。 因此，本发明能够更容易地包装模块并且将将要包装的气体的径向光控制到单个电路板。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
123
records
(took 0.027 seconds)
