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公开(公告)号:FR3058567B1
公开(公告)日:2019-01-25
申请号:FR1660777
申请日:2016-11-08
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: FORNARA PASCAL , RIVERO CHRISTIAN
IPC: H01L27/11 , H01L21/82 , H01L23/525 , H05K1/16
Abstract: Le circuit intégré comprend, au dessus d'un substrat, une partie d'interconnexion, comportant plusieurs niveaux de métallisation séparés par une région isolante (RIS). Le circuit intégré comprend en outre au sein de ladite partie d'interconnexion,, au moins une structure antifusible (STR), enrobée dans une partie de ladite région isolante (RIS), la structure antifusible comportant une poutre (PTR) maintenue en deux endroits différents par deux bras (BR1A, BR1B), un corps (BTA) et une zone isolante antifusible (ZSF), la poutre (PTR), le corps (BTA) et les bras (BR1A, BR1B) étant métalliques et situés au sein d'un même niveau de métallisation, ledit corps et ladite poutre étant mutuellement en contact par l'intermédiaire de ladite zone isolante antifusible (ZSF) configurée pour être claquée en présence d'une différence de potentiel de claquage entre ledit corps et ladite poutre.
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公开(公告)号:FR3018139B1
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:FR1451616
申请日:2014-02-28
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , BOUTON GUILHEM , FORNARA PASCAL
IPC: H01L21/336 , H01L21/8249
Abstract: Circuit intégré, comprenant un substrat (1) et au moins un composant défavorablement sensible aux contraintes en compression (TRN) disposé au moins partiellement au sein d'une région active (10) du substrat (1) limitée par une région isolante (2). Le circuit comprend au moins une tranchée électriquement inactive (20) située au moins dans ladite région isolante et contenant un domaine interne (203) configuré pour permettre une réduction de contraintes en compression dans ladite région active.
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公开(公告)号:FR3022691A1
公开(公告)日:2015-12-25
申请号:FR1455792
申请日:2014-06-23
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: FORNARA PASCAL , RIVERO CHRISTIAN
Abstract: Le circuit intégré comprend au-dessus d'un substrat une partie (RITX) comportant plusieurs niveaux de métallisation séparés par une région isolante, et au sein de ladite partie, au moins un logement creux (LGT) dont les parois comportent des portions métalliques réalisées au sein de différents niveaux de métallisation. Un dispositif capacitif commandable (DIS) comporte une structure métallique suspendue (1) située dans le logement creux au sein d'un premier niveau de métallisation (M3) comportant un premier élément fixé sur deux zones de fixation du logement et au moins un deuxième élément s'étendant en porte à faux à partir du premier élément et comportant une première électrode du dispositif capacitif. Une deuxième électrode comporte un premier corps fixe (20) situé à un deuxième niveau de métallisation (M2) adjacent au premier niveau de métallisation (M3) en regard de ladite première électrode, le premier élément étant commandable en flexion à partir d'une zone de commande de ce premier élément de façon à modifier la distance entre les deux électrodes.
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公开(公告)号:FR3012671B1
公开(公告)日:2015-11-13
申请号:FR1360538
申请日:2013-10-29
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , FORNARA PASCAL , DI-GIACOMOA ANTONIO , ARRAZAT BRICE
IPC: H01L27/02
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公开(公告)号:FR3007198B1
公开(公告)日:2015-06-19
申请号:FR1355476
申请日:2013-06-13
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , BOUTON GUILHEM , FORNARA PASCAL
IPC: H01L21/762 , H01L21/336 , H01L29/78
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公开(公告)号:FR3007196A1
公开(公告)日:2014-12-19
申请号:FR1355478
申请日:2013-06-13
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , BOUTON GUILHEM , FORNARA PASCAL
IPC: H01L21/336 , H01L29/772
Abstract: Le circuit intégré, comprenant un substrat (1) et au moins un composant défavorablement sensible aux contraintes en compression (TRN) disposé au moins partiellement au sein d'une région active (10) du substrat (1) limitée par une région isolante (2), et une région isolante supplémentaire (4) comportant une couche isolante inférieure en compression (40) disposée au-dessus du composant, de la région active et de la région isolante. Le circuit intégré comprend en outre au moins une excroissance (12) disposée au-dessus d'au moins une partie de ladite région isolante (2) et en-dessous de ladite couche isolante inférieure en compression (40).
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公开(公告)号:FR3006808A1
公开(公告)日:2014-12-12
申请号:FR1355221
申请日:2013-06-06
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , FORNARA PASCAL , DI-GIACOMO ANTONIO , ARRAZAT BRICE
Abstract: Le circuit intégré comprend au dessus d'un substrat une partie d'interconnexion (RITX) comportant plusieurs niveaux de métallisation séparés par une région isolante. Le circuit intégré comprend en outre au sein de ladite partie d'interconnexion, un dispositif de commutation électriquement activable (DIS) comportant dans une cavité d'un logement (LGT) un ensemble (1) incluant une poutre (PTR) maintenue par une structure (STR) solidaire du logement, la poutre et la structure étant métalliques et situées au sein d'un même niveau de métallisation, les emplacements de fixation (EMP11-EMP22) de la structure sur la poutre étant agencés de façon à définir pour la poutre un point de pivot (O) situé entre ces emplacements de fixation, la structure étant sensiblement symétrique par rapport à la poutre et par rapport à un plan perpendiculaire à la poutre en l'absence d'une différence de potentiel appliquée sur la structure, ladite poutre étant apte à pivoter dans un premier sens en présence d'une première différence de potentiel appliquée entre une première partie (BR11, BR22) de la structure et à pivoter dans un deuxième sens en présence d'une deuxième différence de potentiel appliquée entre une deuxième partie (BR12, BR21) de la structure.
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公开(公告)号:FR2994020A1
公开(公告)日:2014-01-31
申请号:FR1257354
申请日:2012-07-30
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: MARINET FABRICE , FORNARA PASCAL
Abstract: L'invention concerne une élément (C3') d'écoulement de charges électriques comportant, sur un support isolant (23), un empilement d'une première électrode (18'), d'une couche diélectrique (ONO, G01) dont au moins une portion (29) est adaptée à laisser circuler des charges par effet tunnel, et d'une seconde électrode (17), dans lequel au moins une des électrodes (18') est en silicium polycristallin non dopé.
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公开(公告)号:FR2984010B1
公开(公告)日:2014-01-03
申请号:FR1161408
申请日:2011-12-09
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: RIVERO CHRISTIAN , FORNARA PASCAL , DI-GIACOMO ANTONIO
IPC: H01L27/00
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公开(公告)号:FR2982080B1
公开(公告)日:2013-11-22
申请号:FR1159718
申请日:2011-10-26
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: FORNARA PASCAL , RIVERO CHRISTIAN
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