TRANSISTOR MOS A EFFET BOSSE REDUIT

    公开(公告)号:FR3069374A1

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:FR1756937

    申请日:2017-07-21

    Abstract: Circuit intégré (CI) comprenant au moins un transistor MOS (T3) réalisé sur et dans une zone active (ZA) comportant une région de source (13), une région de drain (11), la zone active (ZA) étant entourée d'une région isolante (10), le transistor ayant une région de grille (14) comprenant deux flancs (FLA, FLB) s'étendant transversalement à la direction source-drain, chevauchant deux bords opposés (BD1, BD2) de la zone active, et possédant au niveau de chaque zone de chevauchement au moins une languette (17) saillant au pied d'au moins un flanc de la région de grille (14) et recouvrant une partie de la zone active et une partie de la région isolante.

    PROCEDE D'ELABORATION D'UN MASQUE DE PHOTOLITOGRAPHIE DESTINE A LA FORMATION DE CONTACTS, MASQUE ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANTS

    公开(公告)号:FR3003962A1

    公开(公告)日:2014-10-03

    申请号:FR1352894

    申请日:2013-03-29

    Abstract: Procédé d'élaboration d'un masque de photolithographie destiné à la formation de plots de contact électriquement conducteurs entre des pistes d'un niveau de métallisation et des zones électriquement actives de circuits intégrés réalisés dans et sur une plaquette semi-conductrice, comprenant une élaboration (10) d'une première région de masque (RM1) comportant des premières zones d'ouvertures (30) destinées à la formation desdits plots de contact et possédant un premier taux d'ouverture inférieur à une valeur seuil, et une élaboration (11) d'une deuxième région de masque (RM2) comportant des zones d'ouvertures supplémentaires, le taux global d'ouverture dudit masque (MQ) étant supérieur ou égal à ladite valeur seuil.

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