公开(公告)号：CN101071760A

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200710097915.9

申请日：2007-04-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 马国蕾 ,  黄智洪 ,  江文忠 ,  谢敏瑜 ,  李虹慧

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G37/00 ,  B65G1/04 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67736 ,  B65G37/00 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明是有关于一种缓冲仓储装置，包含一高架式输送轨道以及至少一输送系统或输送带。高架式输送轨道是供支撑多数个用来输送晶圆盒的高架式输送车。至少一输送系统或输送带是设于该高架式输送轨道下方，以供接收高架式输送轨道上的高架式输送车中的晶圆盒。举例来说，该缓冲仓储装置可吸收晶圆盒在仓储装置与制程机台间移动的过多流量；例如可促进在半导体制造厂中多数个输送车间具有一种有秩序且高效率的移动流量。

公开(公告)号：CN1537797A

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：CN200410035218.7

申请日：2004-01-27

Applicant: 应用材料有限公司

Inventor： 迈克尔·R·赖斯 ,  罗伯特·B·劳伦斯 ,  马丁·R·埃利奥特 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  埃里克·安德鲁·恩格尔哈德

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G17/20 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/135

Abstract: 本发明提供了一第一传送系统，适合于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体。该第一传送系统包括一根带条，该带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成了一个闭合回路。该带条适合于(1)在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；和(2)在半导体器件制造设备的至少一部分内部传送若干衬底载体。按照本发明的这些以及其他方面，提供了多种其他形式，比如系统、方法和计算机程序产品。

公开(公告)号：CN108666232A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201710193707.2

申请日：2017-03-28

Applicant: 雷仲礼

Inventor： 雷仲礼

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: C23C16/4583 ,  B65G47/248 ,  B65G2201/0297 ,  H01L31/075 ,  H01L31/1876

Abstract: 本申请公开了一种基板翻转装置及翻转方法，此外，本申请还公开了一种基板处理系统。在该基板处理系统内设置有翻转室，该翻转室内设置有基板翻转装置。当基板的一个表面处理完成后，该基板由传送室内的基板传送装置传送至翻转室，利用翻转室内的基板翻转装置可以在真空环境下实现基板的翻转，翻转后，再由传送室内的基板传送装置传送至工艺反应室，对基板的另一表面进行处理，完成基板正、背两面上的处理。如此，通过本申请提供的基板处理系统无需将基板传送至系统外进行翻转，通过其包括的翻转室以及翻转室内的基板翻转装置就能够使得基板在基板处理系统内完成翻转，因此，通过本申请提供的基板处理系统能够提高基板加工效率，减少基板污染几率。

公开(公告)号：CN108001979A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201711026972.8

申请日：2017-10-27

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 新山隆志 ,  堀井高宏

IPC: B65G35/06

CPC classification number: H01L21/67715 ,  B61B3/02 ,  B61J1/06 ,  B65G43/10 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67775 ,  B65G35/06

Abstract: 物品搬运设备具备搬运装置，前述搬运装置具有与保管装置连结的连结部，并且对物品进行搬运。连结部相对于第一路径被配置于第一侧，并且对象路径相对于第一路径被配置于第二侧，基于搬运装置的物品的搬运路径被配置成，相对于第一路径在俯视时交叉，从连结部相对于第一路径延伸至第二侧。在搬运路径的相对于第一路径被配置于第二侧的部分上，设定有第一移载部，前述第一移载部借助在对象路径上行进的搬运车来移载物品。

公开(公告)号：CN107924856A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048893.4

申请日：2016-06-20

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 村田正直 ,  山路孝

IPC: H01L21/673 ,  B65G1/00

CPC classification number: H01L21/67389 ,  B65G1/00 ,  B65G1/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/673

Abstract: 本发明提供一种能够与容器的种类对应而适当地进行吹净的吹净装置。吹净装置(4A)具备:种类检测部(41)，其对吹净对象的容器(F)的种类进行检测；吹净控制部(42)，其基于种类检测部的检测结果来决定对容器的吹净条件。

公开(公告)号：CN107239073A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201710196847.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 株式会社大福 ,  北阳电机株式会社

Inventor： 前岛洋治 ,  西川直 ,  田中芳孝

IPC: G05D1/02

CPC classification number: B65G43/00 ,  B65G1/0421 ,  B65G35/08 ,  B65G47/681 ,  B65G2201/0297 ,  G05D1/0289 ,  G05D1/03 ,  G05D2201/0216 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0214 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0259 ,  G05D1/0276 ,  G05D2201/02

Abstract: 由输送控制装置执行以下步骤：合流点附近区域进入探测控制步骤，探测对设定在输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测步骤，探测在该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信步骤，若探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地进行无线通讯；以及合流点通过控制步骤，当由障碍物探测步骤探测到在所述合流点附近区域存在其他输送台车时启动无线通信步骤，在通过无线通信步骤与其他输送台车的信号交换成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

公开(公告)号：CN104960820B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201510235972.3

申请日：2010-10-15

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G1/04 ,  B65G35/00

CPC classification number: B61B3/02 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 目的是提供一种行进部能够沿着设定移动路径平顺地行进、并且能够准确地进行物品的交接的顶棚输送车。在具备分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）沿着设定移动路径导引的一对导引体（40）的顶棚输送车中，具备：一对接触体（41），能够沿着与行进部（16）的行进方向正交的横宽方向进行相互远离的移动和相互接近的移动而支承在行进部（16）上；切换部（42），为了切换为使一对接触体（41）分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）的相对于导轨（4）的横宽方向上的位置定位保持在物品移载位置上的保持状态、以及使一对接触体（41）从导轨（4）离开的保持解除状态，使上述一对接触体分别移动，以使其相互离开及相互接近。

公开(公告)号：CN104956473B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201480006225.6

申请日：2014-02-12

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 长峰翔平

IPC: H01L21/673 ,  B65G1/00 ,  B65G1/14

CPC classification number: B65G1/02 ,  A47B55/00 ,  B65G1/026 ,  B65G2201/0297 ,  B65G2207/20 ,  B65G2207/28 ,  B65G2207/40 ,  F16F15/08 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种能够确保耐载荷并且降低振动的保管架。保管架(1)具备供FOUP(100)载置的载置部(20a～20d)、以及支承载置部(20a～20d)的框部(10)，载置部(20a、20c)具备经由第一弹性体(40、41)配置于框部(10)的框架(22a、22c)、以及经由第二弹性体(60、61)配置于框架(22a、22c)并且供FOUP(100)载置的架板(24)。

公开(公告)号：CN105984687A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610150834.X

申请日：2016-03-16

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 柳东奎 ,  金在允

IPC: B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  B65G1/04

Abstract: 本发明提供在天花板上存储和处理物品的装置，其包括：内部轨道，悬挂在天花板；存储系，悬挂在所述天花板，并且具有第一列搁架与第二列搁架及出入库端口，其中所述第一列搁架与第二列搁架相互面对地配置在所述内部轨道的两侧方，出入库端口连接于所述第一列搁架与第二列搁架中的其中之一；及内部搬送机器人，可移动地连接于所述内部轨道，并且在所述第一列搁架及所述第二搁架中其中之一与所述出入库端口之间搬送物品。所述内部搬送机器人包括：双方向滑动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架中的其中之一方向滑动夹持所述物品的所述夹持单元；及升降驱动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架的高度方向升降驱动所述双方向滑动单元。

公开(公告)号：CN105722769A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201480063670.6

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G1/04 ,  B23Q1/48

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G47/902 ,  B65G47/905 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6773

Abstract: 实现一种直线运动转动装置，该直线运动转动装置能够实现物品支承部沿第1方向的移动和绕其移动轴心的转动这两者，同时能够抑制大型化及重量的增加。直线运动转动装置具备：支承部（23），该支承部（23）将一体地设有物品支承部（S）的被操作部件（24）绕移动轴心（X1）转动自如地支承并沿第1方向（D1）移动自如地支承；直线移动体（21a），该直线移动体（21a）借助驱动部（M1）而沿着第1方向（D1）移动。被操作部件（24）在沿着移动轴心（X1）的方向观察，在从移动轴心（X1）离开的部分处与直线移动体（21a）连结。直线运动转动装置具备向直线运动状态和转动状态切换自如的动作状态切换部（L），在所述直线运动状态中，限制被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并容许被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动，在所述转动状态中，容许被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并限制被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动。