MEMS devices on a nanometer scale
    72.
    发明申请
    MEMS devices on a nanometer scale 失效
    MEMS器件纳米级

    公开(公告)号:US20030173647A1

    公开(公告)日:2003-09-18

    申请号:US10216654

    申请日:2002-08-12

    Abstract: An array of nanometric dimensions consisting of two or more arms, positioned side by side, wherein the arms are of such nanometric dimensions that the beams can be moved or deformed towards or away from one another by means of a low voltage applied between the beams, whereby to produce a desired optical, electronic or mechanical effect. At nanometer scale dimensions structures previously treated as rigid become flexible, and this flexibility can be engineered since it is a direct consequence of material and dimensions. Since the electrostatic force between the two arms is inversely proportional to the square of the distance, a very considerable force will be developed with a low voltage of the order of 1-5 volts, which is sufficient to deflect the elements towards or away from one another. As preferred, the bulk of the element may be comprises an insulating material, and an upper conductive layer is applied on the upper surface, where the element is formed by a nanolithography method such as nanoimprint lithography (NIL). Alternatively the elements may be formed completely of conductive material, where the elements are formed by a CMOS metalization process.

    Abstract translation: 由两个或更多个臂并排定位的纳米尺寸阵列,其中臂具有这样的纳米尺寸,使得梁可以通过施加在梁之间的低电压而朝向或远离彼此移动或变形, 从而产生期望的光学,电子或机械效应。 在纳米尺度上,先前被刚性处理的结构变得柔性,并且可以设计出这种灵活性,因为它是材料和尺寸的直接后果。 由于两个臂之间的静电力与距离的平方成反比,所以将以1-5伏特的低电压产生非常大的力,这足以将元件偏向或远离一个 另一个。 优选地,元件的主体可以包括绝缘材料,并且上导电层被施加在上表面上,其中元件通过纳米压印光刻(NIL)的纳米光刻方法形成。 或者,元件可以完全由导电材料形成,其中元件由CMOS金属化工艺形成。

    HEAT ACTIVATED NANOMETER-SCALE PUMP
    77.
    发明申请
    HEAT ACTIVATED NANOMETER-SCALE PUMP 审中-公开
    热激活纳米尺度泵

    公开(公告)号:WO2007012028A2

    公开(公告)日:2007-01-25

    申请号:PCT/US2006/028113

    申请日:2006-07-19

    Abstract: A pump is provided that includes a nanometer- scale beam that is suspended in a housing. The housing may include a number of apertures such that molecules can move in and out of the housing. The nanometer- scale beam may be suspended as a jump rope or as a cantilever. The movement of the nanometer- scale beam may be mechanically stopped from moving in a particular way (e.g. , towards a particular end of the housing) . Thus, for example, the beam and the stop work together to pump molecules in the direction that the beam bounces off the stop. The speed and movement of the nanometer- scale beam can also be influenced either electrostatically or electromagnetically . As such, the speed and direction that a working substance is pumped by a nanometer- scale beam may be electrically controlled.

    Abstract translation: 提供了一种泵,其包括悬挂在壳体中的纳米级梁。 壳体可以包括多个孔,使得分子可以进出壳体。 纳米级光束可以作为跳绳或悬臂悬挂。 纳米尺度光束的移动可以机械地停止,以特定的方式移动(例如,朝向壳体的特定端部)。 因此,例如,梁和停止件一起工作以沿着梁从弹簧停止的方向泵送分子。 纳米尺度光束的速度和运动也可以被静电或电磁影响。 因此,工作物质被纳米级光束泵送的速度和方向可以是电控制的。

    マイクロポンプおよびマイクロポンプシステム
    78.
    发明申请
    マイクロポンプおよびマイクロポンプシステム 审中-公开
    MICROPUMP和MICROPUMP系统

    公开(公告)号:WO2007000905A1

    公开(公告)日:2007-01-04

    申请号:PCT/JP2006/312125

    申请日:2006-06-16

    Inventor: 小城 良章

    CPC classification number: F04B43/043 B81B2201/036

    Abstract:  マイクロポンプ(1)においては、流路基板(2)に、一端部と他端部とを有し内部に液体を貯留する圧力室(3)が設けられ、この圧力室(3)の一端部には、液体の流れる向きによって異なる流路抵抗を有する流路(4)が接続され、圧力室(3)の他端部は開放部とされている。また、圧力室(3)内の液体に対して、一端部と他端部との間にわたって伝播する圧力波を発生させるためのアクチュエータ(6)が設けられている。この構成により、従来のものに比べ構造が簡単化され、小型化されたマイクロポンプ及びマイクロポンプシステムを提供することができる。

    Abstract translation: 在微型泵(1)中,通道基板(2)具有一端和另一端的压力室(3),其中包含液体,通道(4)的通道阻力根据流量方向而变化 液体连接到压力室(3)的一端,并且压力室(3)的另一端是开口部分。 此外,微型泵具有用于在压力室(3)中的液体中产生压力波的致动器(6),压力波在腔室(3)的一端和另一端之间传播。 微型泵和微型泵系统具有更简单的结构,并且尺寸比传统的小。

    DISPOSITIF MICROFLUIDIQUE MECANIQUE, LE PROCEDE DE FABRICATION D'UN EMPILEMENT INTERMEDIAIRE ET DE CE DISPOSITIF MICROFLUIDIQUE, ET UNE MICROPOMPE.
    79.
    发明申请
    DISPOSITIF MICROFLUIDIQUE MECANIQUE, LE PROCEDE DE FABRICATION D'UN EMPILEMENT INTERMEDIAIRE ET DE CE DISPOSITIF MICROFLUIDIQUE, ET UNE MICROPOMPE. 审中-公开
    机械微流体装置,用于生产中间层的方法和该微流体装置以及MICROPUMP

    公开(公告)号:WO2006056967A1

    公开(公告)日:2006-06-01

    申请号:PCT/IB2005/053953

    申请日:2005-11-29

    CPC classification number: B81C1/00357 B81B2201/036 B81C2201/019

    Abstract: Selon l'invention, le dispositif microfluidique (120 ; 140 ; 150 ; 170) comprend un empilement (110) recouvert d'une plaque de fermeture (102) et comportant une plaque de support (108), une couche intermédiaire et une plaquette, ladite couche intermédiaire (106) étant d'épaisseur constante sur sa surface, en définissant, entre ladite plaque de fermeture (102) et ladite plaquette (104), au moins une cavité avant (103) destinée à être remplie de liquide, ladite couche intermédiaire (106) étant conformée afin de définir, entre ladite plaque de support (108) et ladite plaquette (104), au moins une cavité arrière (107), ladite cavité arrière (107) étant au moins partiellement située en regard de la cavité avant (103), de l'autre côté de la plaquette (104), afin de définir, dans ladite plaquette (104), un organe mobile (1042 ; 1044 ; 1045 ; 1047) à se rapprocher, de manière réversible, de la plaque de fermeture (102).

    Abstract translation: 根据本发明,微流体装置(120; 140; 150; 170)包括由封闭板(102)覆盖并包括支撑板(108),中间层和晶片的堆叠(110),所述中间体 层(106)在其表面上具有恒定的厚度,同时在所述封闭板(102)和晶片(104)之间限定用于填充液体的至少一个前腔(103)。 中间层(106)被设计用于在支撑板(108)和晶片(104)之间限定至少一个后腔(107),该后空腔(107)至少部分地定位成使得其面向 前腔(103),并且在所述晶片(104)的另一侧上,用于在所述晶片(104)中限定移动元件(104→104

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