使用流体射束开孔的方法
    79.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102781637B

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201080065172.7

    申请日:2010-12-22

    Abstract: 一种用于在层(4)中开孔(5)的方法,包括在支撑件(2)的表面上设置第一和第二粘附区域(1a和1b)。所述第一区域(1a)的尺寸与所述孔(5)的尺寸相对应。所述方法包括将层(4)沉积在所述第一和第二粘附区域(1a和1b)上。所述层(4)的材料在所述第二粘附区域(1b)的粘附系数大于在所述第一粘附区域(1a)的粘附系数。使用流体射束(6)除去所述层的布置在所述第一区域(1a)上方的部分。

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