Abstract:
본 발명은 기판 상에 내마모성과 윤활성 그리고 내마멸성을 증진시키기 위해 다이아몬드상 카본 필름(diamond-like carbon film: DLC 필름)을 코팅하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 기판과 DLC 필름간에 텅스텐층과 텅스텐-탄소의 혼합물층을 접착력 증진층으로 삽입함으로서 DLC 필름의 접착력을 증진시킬 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A method is provided to form an electric field emitting device using a glass-like amorphous carbon of excellent electric conductivity and strong mechanical strength. CONSTITUTION: In a method of forming an electric field emitting device, an electrolytic bath (10) is filled by a solution mixed with a glass-like amorphous carbon powder, and then is processed by a supersonic washer during two hours so that the powder is distributed uniformly. A glass substrate(16) for an electric field emitting device, on which Mo thin film(18) is coated, is connected to a cathode of an electrolysis apparatus, and then a predetermined voltage is applied to each of an anode(14) and a cathode(12), respectively, thus a carbon powder particle is coated on the Mo thin film(18) of the substrate(16).
Abstract:
본 발명은 고 경도 다이아몬드상 경질 카본 필름인 1차 코팅층 위에 저경도의 다이아몬드상 경질 카본 필름인 2차 코팅층이 합성되는 서로 다른 특성의 이중막으로 코팅되는 헤드 드럼에 관한 것이다. 2차 코팅층의 경도는 1차 코팅층의 경도보다 작으며, 양호하게는 테이프의 자기기록층의 경도보다 작다. 상기 이중코팅은 헤드 드럼이 적층되고 전원 전극에 부착되는 시편 지지대, 적층된 헤드 드럼의 표면으로부터 선정된 거리만큼 떨어진 동심원 상에 배치된 원형의 접지 전극을 포함하는 반응기를 갖고 있는 합성 장치에 의해 달성되며, 상기 시편 지지대는 헤드 드럼을 안정하게 적층하기 위한 공간 보상 링을 포함한다.
Abstract:
본 발명은 기판에 탄소 공급원을 플라즈마 화학 증착하여 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성할 때, 100 KHz 내지 500KHz 대의 고주파 전원과 직류 전원을 중첩시켜 사용함으로써 플라즈마 전류와 기판의 바이어스 전압을 독립적으로 조절하여, 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성하는 방법이 기재되어 있다. 이에 따라 다이아몬드상 경질 카본 필름의 광범위한 구조와 특성 변화를 유도하는 것이 가능하여진다.
Abstract:
본 발명은 공기 또는 산소플라즈마를 이용하여 기판을 세척하여 기판 표면에 잔류하는 오일이나 유기물 등을 제거하고, 아르곤 플라즈마를 이용하여 기판의 표면을 스퍼터링(sputtering)한 후, 본 합성에 들어가기 전에 전이 합성 처리를 행하는 것으로 이루어진 다이아몬드상 경질 카본 필름의 접착력 증진방법에 관한 것이다.