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公开(公告)号:KR100877689B1
公开(公告)日:2009-01-09
申请号:KR1020070017226
申请日:2007-02-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/737
Abstract: 본 발명은 실리콘-게르마늄 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 실리콘-게르마늄 반도체 소자의 제조방법은 기판상에 형성된 매몰 컬렉터 영역에 이온을 주입하여 매몰 컬렉터를 형성하는 단계; 상기 매몰 컬렉터가 형성된 상기 기판상에 실리콘 에피층을 형성하여 활성소자 영역인 컬렉터층 및 컬렉터 전극 영역을 형성하는 단계; 상기 기판상에 소자분리막을 형성한 다음 상기 컬렉터층과 상기 컬렉터 전극 영역을 노출시키는 단계; 상기 컬렉터 전극 영역 상에 컬렉터 패드 산화막을 형성하는 단계; 상기 컬렉터 패드 산화막이 형성된 상기 기판상에 베이스 에피층과 패드 산화막을 적층한 후, 상기 패드 산화막을 식각하는 단계; 상기 패터닝된 패드 산화막 상에 제1 실리콘 다결정막을 형성하는 단계; 상기 제1 실리콘 다결정막을 식각하여 상기 패터닝된 패드 산화막의 적어도 일영역을 노출시키는 단계; 상기 제1 실리콘 다결정막 상에 금속막을 증착하여 실리사이드막을 형성하는 단계; 상기 실리사이드막이 형성된 기판 상에 산화막을 형성한 후 베이스-에미터 접합부 및 컬렉터 전극 영역을 노출시키는 단계; 상기 노출된 베이스-에미터 접합부 및 상기 컬렉터 전극 영역 상에 제2 실리콘 다결정막을 증착하여 에미터 전극 및 컬렉터 전극을 형성하는 단계; 상기 에미터 전극 및 컬렉터 전극 상에 금속막을 증착한 후 실리사이드막을 형성하고, 베이스, 에미터 및 컬렉터 단자를 형성하는 단계를 포함한다.
이에 따라, 베이스 기생저항을 감소시키고 실리사이드 박막 형성시 게르마늄 에 의한 응집 현상에 의한 전기적 단락을 방지할 수 있으며, 패드산화막을 이용하여 베이스-에미터 접합부를 외부 공정으로부터 보호함으로써, 공정의 안정성 및 신뢰도를 높일 수 있다.
실리콘-게르마늄, 이종접합 쌍극자 트랜지스터, 실리사이드, 최대발진 주파수-
公开(公告)号:KR1020080052232A
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:KR1020070057085
申请日:2007-06-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L33/48 , H01L27/14 , H01L31/0224
Abstract: An optical interconnection electronic device is provided to eliminate the necessity of a serializing unit, a paralleling unit, a modulating unit and the like by using a multiple channel fiber. A first silicon chip(301) is formed on a silicon substrate(300). A light emitting unit(302) receives an electrical signal from the first silicon chip and outputs a multiple light signal, formed on the silicon substrate to be connected to the first silicon chip. A light detecting unit(304) detects the multiple light signal and converts the detected multiple light signal into a multiple electrical signal, formed on the silicon substrate to be connected to the light emitting unit. A second silicon chip(305) receives the multiple electrical signal outputted from the light emitting unit, formed on the silicon substrate to be connected to the light detecting unit. The light emitting unit is connected to the light detecting unit by a multiple channel fiber(307). The light emitting unit can include a silicon-germanium intermediate layer and a III-V group compound semiconductor layer formed on the silicon-germanium intermediate layer.
Abstract translation: 提供光互连电子器件,以通过使用多通道光纤来消除串行化单元,并联单元,调制单元等的必要性。 在硅衬底(300)上形成第一硅芯片(301)。 发光单元(302)从第一硅芯片接收电信号,并输出形成在硅衬底上以连接到第一硅芯片的多光信号。 光检测单元(304)检测多个光信号,并将检测到的多个光信号转换成形成在硅基板上以连接到发光单元的多个电信号。 第二硅芯片(305)接收从与发光单元连接的硅基板上形成的发光单元输出的多个电信号。 发光单元通过多通道光纤(307)连接到光检测单元。 发光单元可以包括硅 - 锗中间层和形成在硅 - 锗中间层上的III-V族化合物半导体层。
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公开(公告)号:KR1020080052196A
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:KR1020070046872
申请日:2007-05-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01F27/00
Abstract: A symmetric inductor with a branching-typed structure and a method for manufacturing the same are provided to improve quality factor and a phase noise characteristic by forming the integrated inductor in a symmetric shape. A symmetric inductor includes a first metal wiring, a second metal wiring(120), and a via(130). The metal wiring is formed on a substrate(100) and has a spiral structure in which an input unit(111) and an output unit(112) are mutually symmetric with respect to a central axis. The second metal wiring is formed on the first metal wiring in a spiral shape arranged in parallel with the first metal wiring. The via electrically connects the first metal wiring and the second metal wiring. The symmetric inductor further includes an insulating layer formed between the first metal wiring and the second metal wiring.
Abstract translation: 提供具有分支型结构的对称电感器及其制造方法,以通过将集成电感器形成为对称形状来改善品质因数和相位噪声特性。 对称电感器包括第一金属布线,第二金属布线(120)和通孔(130)。 金属布线形成在基板(100)上并具有输入单元(111)和输出单元(112)相对于中心轴线相互对称的螺旋结构。 第二金属布线以与第一金属布线平行布置的螺旋形状形成在第一金属布线上。 通孔电连接第一金属布线和第二金属布线。 对称电感器还包括形成在第一金属布线和第二金属布线之间的绝缘层。
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公开(公告)号:KR100807307B1
公开(公告)日:2008-02-28
申请号:KR1020060064484
申请日:2006-07-10
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 대화형 음성 인터페이스 시스템 및 그 응답 방법에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 시스템은, 입력된 사용자 음성을 인식하는 음성 인식부와, 복수개의 문장 정보 컨텐츠에서 매칭되는 정보를 검색하는 지식 검색부와, 인식된 음성의 문자열 신호에 대응하는 정보를 지식 검색부에 전달하고 검색된 정보로 대화 모델을 설정하는 대화 모델부와, 설정된 대화 모델에 기인하여 문틀 후보를 생성하고, 사용자 발성 문장에 조응 및 시스템 상황에 따른 문장의 어미 양태를 결정하여 출력 문장을 생성하는 시스템 응답부와, 출력 문장을 음성으로 변환하여 출력하는 음성 합성부를 포함한다. 그러므로, 본 발명은 사용자 의도에 조응하며 시스템 상황에 적절한 시스템 양태를 표현하기 위한 출력 문장을 생성함으로써, 사람간의 대화처럼 자연스러운 대화형 음성 인터페이스를 구현할 수 있다.
대화형 음성 인터페이스, 어미 양태, 억양 양태-
公开(公告)号:KR100737358B1
公开(公告)日:2007-07-09
申请号:KR1020050069041
申请日:2005-07-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G10L25/93
Abstract: 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 음성과 비음성을 보다 명확히 구분함으로써, 음성 인식부의 부하를 낮출 수 있고, 비음성 신호를 음성 신호로 판단하고 음성인식함으로써 발생하는 음성인식의 오류를 줄일 수 있는 음성/비음성 검증 방법 및 이를 이용한 음성 인식 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 입력되는 음성 데이터로부터 특징 벡터를 추출하고, 음성/비음성 모델을 이용하여 특징 벡터가 음성에 해당하는 것인지 비음성에 해당하는 것인지 구분하는 음성/비음성 검증부; 및 상기 음성/비음성 검증부가 음성으로 판단한 구간에 대응하는 데이터로부터 음성을 인식하는 음성 인식부를 포함하되, 상기 음성/비음성 검증부는, 상기 입력되는 음성 데이터를 프레임 단위로 나누어 상기 프레임 단위의 음성 데이터로부터 필터 뱅크 에너지, 피치, 프레임내에 필터 뱅크간의 에너지 값의 변화량, 프레임간의 필터뱅크 에너지 값의 변화량 및 멜 필터 뱅크 계수 중 적어도 어느 하나의 특징 벡터를 추출하며, 상기 음성/비음성 모델을 이용하여 상기 프레임 단위의 음성 데이터에 대하여 음성/비음성 결정을 수행한 후, 연속하는 복수의 프레임의 음성/비음성 결정 값을 창의 길이만큼 버퍼링하여 창 단위로 음성/비음성 결정을 내리는 것을 특징으로 하는 음성 인식 장치를 제공한다.-
公开(公告)号:KR1020070061188A
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:KR1020060056935
申请日:2006-06-23
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A method for enhancing convenience in a spoken dialog interface system is provided to offer a user-friendly service while reducing input load of a user by constructing various information databases including user information and user environment setting information by learning a user usage pattern. A convenience enhancement information database for storing available information to enhance the convenience of the spoken dialog interface system is constructed(210). An event for starting search of the convenience enhancement information database and a use condition of the searched information are set(220). If the event for starting the search is generated, it is checked the use condition of the information searched in relation to the event is satisfied by searching the database(230). If the use condition is satisfied, the searched information is used to one of processes for recognizing a voice, analyzing an input sentence, processing a dialog, and generating an output sentence(240).
Abstract translation: 提供了一种提高口语对话界面系统便利性的方法,通过学习用户使用模式,通过构建包括用户信息和用户环境设置信息的各种信息数据库,同时减少用户的输入负载,从而提供用户友好的服务。 构建用于存储可用信息以增强口语对话界面系统的便利性的方便增强信息数据库(210)。 设置用于开始搜索便利性增强信息数据库的事件和所搜索的信息的使用条件(220)。 如果生成用于开始搜索的事件,则检查通过搜索数据库(230)来满足与事件相关的搜索信息的使用条件。 如果满足使用条件,则将搜索到的信息用于识别语音,分析输入句子,处理对话和生成输出句子的过程之一(240)。
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公开(公告)号:KR100720175B1
公开(公告)日:2007-05-18
申请号:KR1020050106861
申请日:2005-11-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G10L13/08
Abstract: 본 발명은 코퍼스 기반 음성합성을 수행함에 있어 합성음의 자연성에 매우 중요한 문장내 구단위 끊어읽기(phrase break prediction)에 관한 것으로서, 기존 끊어읽기 규칙이 통계적으로 모델링되는 바, 대용량 텍스트에서 화자독립 끊어읽기 규칙이 추출되고, 이러한 끊어읽기 규칙은 발성화자의 화자종속적 끊어읽기 패턴과 다소 상이하여 합성음의 자연성을 저하시키는 요인이 되어 왔다. 이에 이러한 문제점을 해결하고자 통계적 끊어읽기 모델링을 적용하여 다수개(N-best)의 끊어읽기 결과를 출력하고, 다수개의 끊어 결과 중 화자의 끊어읽기 패턴과 유사한 끊어읽기를 선택하여 합성음질을 개선하고자 한다.
음성합성, 끊어읽기, 코퍼스 기반 음성합성, 화자독립 끊어읽기, 화자종속 끊어읽기-
公开(公告)号:KR100684160B1
公开(公告)日:2007-02-20
申请号:KR1020050119975
申请日:2005-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G06F17/20
Abstract: A device and a method for analyzing a dialog with NE(Named Entity) recognition are provided to correct an error of an NE with the dialog during the dialog with a user, and solve an ambiguity problem or a new vocabulary through the dialog by performing diverse dialogs with utilization of the NE. An input part(10) inputs a text, which is a speech recognition result, or receives characters from a user. An intention analyzer(20) analyzes a user intention from the inputted text. An NE recognizer(30) checks over whether the inputted text includes a thing to be recognized by the NE. A dialog manager(40) manages the user dialog for the inputted dialog checked in the NE recognizer. A dialog output generator(50) generates an answer according to the user intention. An output part(60) outputs a result of the dialog output generator to the user.
Abstract translation: 提供一种用于分析具有NE(命名实体)识别的对话的设备和方法,以在与用户对话期间用对话来纠正NE的错误,并且通过执行多样化来通过对话解决歧义问题或新词汇 使用NE的对话框。 输入部分(10)输入作为语音识别结果的文本,或者从用户接收字符。 意图分析器(20)从输入的文本分析用户意图。 NE识别器(30)检查输入的文本是否包括要被NE识别的东西。 对话管理器(40)管理NE识别器中检查的输入对话的用户对话。 对话输出生成器(50)根据用户意图生成答案。 输出部分(60)将对话输出生成器的结果输出给用户。
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公开(公告)号:KR1020060064494A
公开(公告)日:2006-06-13
申请号:KR1020050069041
申请日:2005-07-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G10L25/93
Abstract: 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 음성과 비음성을 보다 명확히 구분함으로써, 음성 인식부의 부하를 낮출 수 있고, 비음성 신호를 음성 신호로 판단하고 음성인식함으로써 발생하는 음성인식의 오류를 줄일 수 있는 음성/비음성 검증 방법 및 이를 이용한 음성 인식 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 입력되는 음성 데이터로부터 특징 벡터를 추출하고, 음성/비음성 모델을 이용하여 특징 벡터가 음성에 해당하는 것인지 비음성에 해당하는 것인지 구분하는 음성/비음성 검증부; 및 상기 음성/비음성 검증부가 음성으로 판단한 구간에 대응하는 데이터로부터 음성을 인식하는 음성 인식부를 포함하는 음성 인식 장치를 제공한다.-
公开(公告)号:KR1020050063642A
公开(公告)日:2005-06-28
申请号:KR1020040016498
申请日:2004-03-11
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: H01L21/02381 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , H01L29/7782
Abstract: 본 발명은 감압 화학 기상 증착(RPCVD)법을 이용하여 실리콘 기판 상에 응력이 완화된 실리콘-게르마늄 완충층(Relaxed SiGe buffer layer)을 형성하는 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판 상에 소정의 게르마늄 조성 기울기를 갖는 조성 변화층을 형성하는 단계와, 상기 조성 변화층 상에 소정의 게르마늄 조성을 갖는 제 1 조성 일정층을 형성한 후 열처리하는 단계와, 상기 제 1 조성 일정층을 소정 두께 제거하여 표면을 평탄화하는 단계와, 상기 제 1 조성 일정층 상에 제 2 조성 일정층을 형성하여 상기 조성 변화층과 상기 조성 일정층으로 이루어진다. 비교적 얇은 두께를 가지며, 표면 전위 밀도가 낮고, 벌크 실리콘과 유사한 표면 거칠기를 갖는 충분히 응력이 완화된 실리콘-게르마늄 완충층을 형성하므로써 실리콘 기반 MOSFET 소자나 MODFET 소자에서 긴장된 실리콘 혹은 실리콘-게르마늄 채널을 형성할 수 있어 현재의 소자보다 채널 전도 및 고주파 특성이 우수한 소자의 제작이 가능해진다.
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