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公开(公告)号：KR1020090014798A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：KR1020070079049
申请日：2007-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: An infrared spectrometer capable of performing real-time process diagnosis is provided to perform spectrum analysis in a vacuum state using infrared rays to correctly measure beam intensity to thereby improve measurement sensitivity. An infrared spectrometer capable of real-time process diagnosis includes an incident window(11), a receiving part(12), a projecting window(13), a reactor(10), a detector(20), and an analyzer(30). A beam is inputted to the incident window. The receiving part receives the incident beam. The projecting window projects a beam obtained when the incident beam is refracted and scattered according to reaction by-product or reactant. The reactor includes a reflecting mirror(14) and has a vacuum state. The reflecting mirror reflects the beam inputted to the incident window such that the beam reciprocates in the receiving part at least once and is projected through the projecting window. The detector detects the beam projected from the reactor. The analyzer performs quantitative and qualitative analysis of a sample by using the intensity of the detected beam.
Abstract translation: 提供能够执行实时过程诊断的红外光谱仪，以使用红外线在真空状态下进行光谱分析，以正确地测量光束强度，从而提高测量灵敏度。 能够进行实时处理诊断的红外光谱仪包括入射窗（11），接收部（12），投影窗（13），反应器（10），检测器（20）和分析器（30） 。 光束被输入到入射窗口。 接收部分接收入射光束。 当入射光束根据反应副产物或反应物折射和散射时，投影窗投射出所获得的光束。 反应器包括反射镜（14）并且具有真空状态。 反射镜反射输入到入射窗的光束，使得光束在接收部分中往复运动至少一次，并通过投影窗口投影。 检测器检测从反应器投射的光束。 分析仪通过使用检测到的光束的强度来对样品进行定量和定性分析。
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公开(公告)号：KR1020200142479A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：KR1020200158562
申请日：2020-11-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은입자측정장치및 입자측정방법에관한것으로서, 여러파워의레이저를순서대로조사하는레이저파워스캐닝을이용하여, 높은정확도로크기범위별입자개수를측정할수 있다. 먼저, 복수개의서로다른입자크기에각각대응하여, 해당크기이상의입자를측정할수 있는최소파워의레이저를입자측정공간에일정시간동안조사하고, 산란된광을검출하여입자의크기별개수를측정한다. 그리고, 측정된실측값을이용하여, 각크기범위에속한입자의개수를알고리즘을이용하여정확하게산출한다. 이때, 측정되는입자개수와레이저파워에관한비례관계를이용할수 있다. 플로우노즐이나플랫-탑광학계등 추가적부품을사용하지않으므로, 입자측정장치의개발비용을절감할수 있으며, 상압(대기압)이나진공환경에상관없이사용가능하다. 또한, 기존장치에대한알고리즘업그레이드를통해서도정확도를개선할수 있다.
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公开(公告)号：KR101921567B1
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：KR1020160136438
申请日：2016-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H02S10/10 , H02S20/30 , H02S40/22 , H02N11/00 , H01L31/042 , H01L41/113 , H02K35/00 , H02S40/10
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 자체적으로운용에필요한기본전력을생산하여, 세정과정을구현하는태양광발전모듈이개시된다. 본발명에따르면, 물위에부유한상태로별도의외부전원의공급없이도, 압전모듈을이용하여주기적으로초음파세정을수행하여자체유지보수를구현하고, 구동에필요한기본전력을태양열과파랑에너지를이용한열전모듈과압전모듈을통해확보하는수상형복합발전장치를제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR101881304B1
公开(公告)日：2018-08-27
申请号：KR1020160093974
申请日：2016-07-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명고균일 2차원전이금속디칼코지나이드박막의제조방법에관한것이며, 보다구체적으로는 500℃이하의저온조건에서고균일 2차원전이금속디칼코지나이드박막을제조하는방법에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101884119B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020170033948
申请日：2017-03-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은압력가변형열량계에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른압력가변형열량계는챔버; 상기챔버의내부로가스를유입및 배출시켜, 내부압력을제어하는가스제어부; 챔버의내부에배치되고, 시편이장착되는제 1 반응조; 상기제 1 반응조와나란히이격되어배치되고, 상기제 1 반응조와동일한재질및 형상으로형성되는제 2 반응조; 상기제 1 반응조및 상기제 2 반응조의하부에배치되며, 상기제 1 반응조및 상기제 2 반응조에균일한온도를전달하기위한로딩부; 상기로딩부를가열시키는히팅부; 상기히팅부의온도를제어하고, 상기제 1 반응조및 상기제 2 반응조의온도를측정하는온도측정부; 및상기온도측정부로부터측정된상기제 1 반응조의온도및 상기제 2 반응조의온도변화로부터, 상기시편의열량변화를산출하는제어부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101857950B1
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：KR1020160077117
申请日：2016-06-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광원부와; 상기광원부의전면에위치하며집속되는광을평행광의형태로변형할수 있도록하는 Flat-top모듈과; 상기 Flat-top모듈을통과한광을집속하여유입된입자에조사시켜회절흡수, 투과, 반사등의현상을발생하는플로우채널및; 상기플로우채널을통과한입사광을수광하여산란및 소멸광강도를감지하여입자의크기를측정하는광측정부를포함하는것으로서, 플로우채널내에유입된입자에광을조사하고이때발생되는산란및 소멸광의강도를이용하여입자의크기를측정함에있어 Flat-top모듈을이용하여집속된입사광은 r축방향으로균일광이고, z축에따라변화여도레지던스타임(Residence time)을이용하여정확한입자크기측정이가능한효과를도모할수 있도록하는실시간미세입자크기및 개수측정장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR20180011899A
公开(公告)日：2018-02-05
申请号：KR20160093974
申请日：2016-07-25
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C16/305 , C23C16/0218 , C23C16/0227 , C23C16/0245 , C23C16/4488 , C23C16/52 , C30B25/16 , C30B29/46
Abstract: 본발명고균일 2차원전이금속디칼코지나이드박막의제조방법에관한것이며, 보다구체적으로는 500℃이하의저온조건에서고균일 2차원전이금속디칼코지나이드박막을제조하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明和均匀的二维过渡涉及更具体地制造金属基团浩二砷化物薄膜，以的方法的方法，以及在小于500℃均匀二维过渡金属的低温条件，以制备自由基浩二砷化薄膜。
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公开(公告)号：KR101820675B1
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：KR1020170044617
申请日：2017-04-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/28 , H01L21/67 , H01L21/768 , G01N21/95
Abstract: 본발명에따른다층저항식다점온도측정웨이퍼센서(1)는, 웨이퍼(10) 상에복수개의전극배선(21)이형성되어이루어지는전극부(20); 웨이퍼(10) 상에서전극부(20)와다른층에위치하도록설치되며, 복수개의단위저항(31)이연결배선(32)에의해직렬연결되어이루어지는저항부(30); 전극부(20)와저항부(30) 사이에설치되는층간절연층(50); 및전극배선(21) 각각의일단이단위저항(31)들의양단에전기적으로연결되도록층간절연층(50)의비아홀에설치되는도전플러그(55); 를포함하여이루어짐으로써, 전극부(20)를통하여저항부(30)에서의전위차를측정하여웨이퍼(10)의온도균일도를간파하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 전극부(20)와저항부(30)가서로다른층에형성되기때문에저항부(30)의단위저항(31)과연결배선(32)을전극부(20)의방해를받지않고웨이퍼(10)의전면적에설치할수 있다. 따라서웨이퍼(10)의전면적에대해서온도균일도를세밀하게파악할수 있게된다.
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公开(公告)号：KR1020180000015A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：KR1020160077117
申请日：2016-06-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/0211 , G01N21/85 , G01N2021/8592
Abstract: 본발명은광원부와; 상기광원부의전면에위치하며집속되는광을평행광의형태로변형할수 있도록하는 Flat-top모듈과; 상기 Flat-top모듈을통과한광을집속하여유입된입자에조사시켜회절흡수, 투과, 반사등의현상을발생하는플로우채널및; 상기플로우채널을통과한입사광을수광하여산란및 소멸광강도를감지하여입자의크기를측정하는광측정부를포함하는것으로서, 플로우채널내에유입된입자에광을조사하고이때발생되는산란및 소멸광의강도를이용하여입자의크기를측정함에있어 Flat-top모듈을이용하여집속된입사광은 r축방향으로균일광이고, z축에따라변화여도레지던스타임(Residence time)을이용하여정확한입자크기측정이가능한효과를도모할수 있도록하는실시간미세입자크기및 개수측정장치에관한것이다.
Abstract translation: 光源装置技术领域本发明涉及一种光源装置， 平顶模块，位于光源单元的前表面上并适于将聚焦的光转换成平行光; 流动通道，用于聚焦穿过平顶模块的光并照射入射粒子以产生衍射吸收，透射，反射等现象; 作为通过接收入射光通过流动通道已经通过包括散射和消光光学测量检测的光强度用于测量颗粒的尺寸，光被照射到在流道中流动的粒子，此时产生的光强度的散射和消光 在使用平顶模块测量粒径时，聚焦光是沿r轴方向的均匀光，并且即使它沿着z轴变化，也可以使用停留时间精确测量粒径 更具体地说，涉及一种能够实现效果的实时细粒度和数量测量装置。
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