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公开(公告)号：WO2020141669A1
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：PCT/KR2019/007463
申请日：2019-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본 발명은 액상 전구체 디개서에 관한 것으로, 디개싱(degassing)시킬 액상 전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터; 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 캐니스터에서 액상 전구체가 수용된 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및 캐니스터 내 수용공간에 마련되며, 수용공간 내에 수용된 액상 전구체가 수용공간 내 빈 공간인 디개싱 공간 상에 노출되는 표면적을 증대시켜주는 노출 표면적 증대수단이 마련되어 있어, 액상 전구체의 디개싱 효율을 증대시켜주며, 액상 전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다.
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公开(公告)号：WO2019240482A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/KR2019/007046
申请日：2019-06-12
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에서는 로드락 챔버를 이용하여 장시간 열안정성 평가 시 대기와의 접촉을 방지하고, 테스트를 연속적으로 진행하면서 원하는 시간마다 샘플링이 가능한 고온 보관 장치가 개시된다. 재료가 수용되는 보관 용기; 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터; 보관 용기의 상부에 배치되며, 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더; 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고, 액추에이터는, 구동에 의해 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고, 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될기판을 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하는 고온 보관장치가 개시된다.
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公开(公告)号：KR102204607B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173328
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448
Abstract: 본발명은반도체제조공정에이용되는액상전구체의디개싱에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 및상기캐니스터에장착되며, 상기액상전구체를상기수용공간내 빈공간인디개싱공간상에분산시켜주는분산수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱(degassing)효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정정확성을증진시켜줄수 있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR102005728B1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：KR1020170135345
申请日：2017-10-18
Applicant: 한국표준과학연구원 , 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/285 , H01L21/02
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101880519B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020160136439
申请日：2016-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 수상에서태양의위치를추적할수 있는발전장치가개시된다. 본발명은태양광발전의효율을극대화하기위해, 태양을추적하여실시간으로조도센서를적용하여태양광의세기가최대인지점을향하도록제어하여, 태양광의집광율을극대화할수 있는발전장치를제공할수 있도록하며, 기본적인발전장치의전력을소모하여상술한동작을구현하여추가전력없이도고효율의발전을구현하는바경제적인장점도구현된다.
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公开(公告)号：KR102204627B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173329
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본발명은반도체제조공정등에이용되는액상전구체디개서에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 상기캐니스터내의상기수용공간내에배치되며, 상면에공급된상기액상전구체가원심력에의해상면상에고르게분산도포된후 테두리측으로이동되도록회전하는스핀디스크(spin disk); 및상기스핀디스크를회전시켜주는회전수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정의정확성을향상시켜줄수 있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR101921567B1
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：KR1020160136438
申请日：2016-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H02S10/10 , H02S20/30 , H02S40/22 , H02N11/00 , H01L31/042 , H01L41/113 , H02K35/00 , H02S40/10
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 자체적으로운용에필요한기본전력을생산하여, 세정과정을구현하는태양광발전모듈이개시된다. 본발명에따르면, 물위에부유한상태로별도의외부전원의공급없이도, 압전모듈을이용하여주기적으로초음파세정을수행하여자체유지보수를구현하고, 구동에필요한기본전력을태양열과파랑에너지를이용한열전모듈과압전모듈을통해확보하는수상형복합발전장치를제공할수 있다.
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