MICRO-ELECTROMECHANICAL RELAYS
    83.
    发明公开
    MICRO-ELECTROMECHANICAL RELAYS 失效
    MIKRO-ELEKTROMECHANISCHES RELAIS

    公开(公告)号:EP0968530A4

    公开(公告)日:2001-04-25

    申请号:EP97906500

    申请日:1997-02-04

    CPC classification number: H01H50/005 H01H2001/0063

    Abstract: A micro-electromechanical relay ('micro-relay') designed to both miniaturize and improve upon present day electromechanical relays. The micromachining fabrication process used to make the inventive micro-relay is based upon technology originally used by integrated circuit (IC) manufacturers. In simplest terms, the preferred inventive process consists of three steps, all performed using micromachining techniques. First, a layer of magnetic material is laid down on a substrate and patterned into a desired shape. Next, an electromagnetic coil (3) is created adjacent this material. Finally, a second layer of very efficient magnetic material is laid down adjacent the first two layers, forming a magnetic circuit, and having a portion fashioned into a deflectable structure, such as a cantilever beam (4A). The deflectable structure (4A, 4B) has at least a portion that is suspended over or adjacent to at least one electrical contact. In operation, current passes through the coil (3), clausing the deflectable structure (4A, 4B) to defect, and either make or break contact with the electrical contacts. The invention includes a unique unpowered hold feature. By integrating an electrostatic actuating capacitor into the micro-relay, an electrostatic force can be generated between the cantilever beam and the substrate (1) of the micro-relay that is strong enough to hold the relay in the 'ON' position. Turning the relay 'OFF' requires only that the voltage be removed.

    Abstract translation: 微机电继电器(“微型继电器”)设计用于小型化和改进当前的机电继电器。 用于制造本发明的微型继电器的微加工制造工艺基于最初由集成电路(IC)制造商使用的技术。 简单来说,优选的本发明方法由三个步骤组成,全部使用微加工技术进行。 首先,将一层磁性材料放置在基底上并图案化成所需的形状。 接下来,在该材料附近形成电磁线圈(3)。 最后,第二层非常有效的磁性材料铺设在邻近前两层的地方,形成一个磁路,并将一部分形成为可偏转的结构,如悬臂梁(4A)。 可偏转结构(4A,4B)具有至少一部分悬挂在至少一个电触头上或与至少一个电触点相邻的部分。 在操作中,电流通过线圈(3),使可偏转结构(4A,4B)发生缺陷,并且与电触点断开或断开。 本发明包括独特的无动力保持特征。 通过将静电驱动电容器集成到微型继电器中,可以在悬臂梁和微型继电器的基板(1)之间产生足够强的静电力,以将继电器保持在“接通”位置。 关闭继电器“OFF”仅需要去除电压。

    VALVULA MICROFLUIDICA CON UN MIEMBRO DE LIBRE FLOTACION Y SU METODO DE FABRICACION.

    公开(公告)号:MX2009001504A

    公开(公告)日:2009-08-31

    申请号:MX2009001504

    申请日:2007-08-10

    Abstract: Micro válvulas de retención con una flotación libre para el control de los flujos de líquido en aplicaciones de microfluídos y biomédicas y sus métodos de fabricación. Una microválvula incluye un asiento de la válvula, una tapa de la válvula que pone en contacto con el asiento de la válvula flotante y un miembro sin ataduras que puede moverse entre el asiento de la válvula y la tapa de la válvula. Algunas microválvulas tienen apertura con cero o poca presión y no flujo reverso. Algunos otros tipos de válvulas pueden ser configuradas para permitir el flujo de líquido dentro de un rango de presiones. El miembro flotante puede ser sólido o definir un orificio, y el asiento de la válvula puede tener uno o dos niveles. Estas Válvulas pueden ser configuradas para permitir el flujo de líquido cuando el miembro flotante es empujado por el fluido contra la tapa de la válvula o en contra del asiento de la válvula. El asiento de la válvula puede ser de silicio u otro material que sea compatible con los micro-procesos, la tapa de la válvula y el miembro flotante pueden ser de un polímero como Parylene.

    A NORMALLY CLOSED IN-CHANNEL MICRO CHECK VALVE

    公开(公告)号:CA2391842C

    公开(公告)日:2005-08-16

    申请号:CA2391842

    申请日:2000-09-25

    Abstract: An in-channel check valve assembly (116) is disclosed comprising, an in- channel check valve (100), connected between the front (110) and rear (114) of a channel (102) attached to a silicon substrate (106). The channel may have a width between 10 microns and 400 microns, and the check valve may have a wid th between about 50 microns and 500 microns. The check valve may be generally circular in shape. The check valve may also be normally closed, that is, sealed in the absence of a pressure differential between the front and the rear portions of the channel. The check valve may include a sealing cap (122 ) that contacts a valve seat (120) to seal the valve. The valve seat may inclu de a metal layer (130) to separate the contacting surfaces of the valve seat an d the sealing cap in the closed position.

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