公开(公告)号：CN103376367A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201310064113.3

申请日：2013-02-28

Applicant: 株式会社NOISE研究所

Inventor： 石田武志 ,  井出正彦 ,  近藤健司 ,  藤井显司

IPC: G01R29/08 ,  G01H17/00 ,  G01T1/36 ,  G01K13/00

CPC classification number: G01J3/443 ,  G01B11/22 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/283 ,  G01K3/14 ,  G01K11/12 ,  G01K2213/00 ,  G01R29/0871 ,  G01R29/0892 ,  G06T17/20 ,  G06T2219/012 ,  G06T2219/2012

Abstract: 本发明提供一种放射信号可视化装置，包括：正面用摄像机(12)，其从正面拍摄被测量对象物；信号检测传感器(11)，其检测从被测量对象物产生的放射信号；侧面用摄像机(13)，其从侧面拍摄信号检测传感器；频谱分析仪(15)；以及分析主体部(100)，该放射信号可视化装置记录由信号检测传感器(11)检测出的信号的空间性分布的状况并进行分析。

公开(公告)号：CN1898547B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200480038289.0

申请日：2004-10-20

Applicant: 兰姆研究有限公司

Inventor： B·K·麦米林 ,  F·C·达萨帕

IPC: G01N21/00 ,  G01J3/30 ,  G01J3/443

CPC classification number: G01N21/68 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32963

Abstract: 一般地说，本发明提供了一种用于监测等离子体光辐射的手段。具体地说，本发明提供了通过可变开口监测等离子体光辐射来检测出等离子体蚀刻工序终点的方法，该方法不具有可能导致伪终点呼叫的扰动。该方法包括通过由可移动构件界定的开口从等离子体收集光辐射数据。上述可移动构件能改变上述开口的配置。该方法还在特定时间内将上述可移动构件保持在固定状态。该方法还包含在将上述可移动构件保持固定的同时检测等离子体光辐射中的特定扰动之操作。

公开(公告)号：CN101439443A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810182338.8

申请日：2008-11-21

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 浅野健司 ,  森数洋司 ,  高桥邦充

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  B23K26/067

CPC classification number: G01N21/73 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0853 ,  G01J3/443 ,  G01N2021/8416 ,  G01N2201/0697 ,  H01L21/67253

Abstract: 本发明提供一种不会在焊盘上开孔而能在晶片基板上形成到达焊盘的贯通孔的激光加工装置。该激光加工装置具有：保持晶片的卡盘工作台；以及向由卡盘工作台保持的晶片照射脉冲激光光线的激光光线照射单元，该激光加工装置具有等离子体检测单元和控制单元，该等离子体检测单元具有：等离子体受光单元，其接收通过从激光光线照射单元向被加工物照射激光光线而产生的等离子体；以及光谱分析单元，其分析由等离子体受光单元所接收的等离子体的光谱，该控制单元根据来自等离子体检测单元的光谱分析单元的光谱分析信号来判定被加工物的材质，并控制激光光线照射单元。

公开(公告)号：CN100365678C

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN01817977.0

申请日：2001-10-26

Applicant: 科学应用国际公司

Inventor： 爱德华·维克托里·乔治 ,  罗杰·拉弗内·约翰逊 ,  艾伯特·迈伦·格林 ,  纽厄尔·孔韦尔·韦思

IPC: G09G3/10 ,  H01J1/62 ,  H01J63/04

CPC classification number: H01J11/18 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/443 ,  G09G3/288 ,  G09G2300/0426 ,  G09G2300/0439 ,  G09G2300/08 ,  H01J17/49 ,  H01J61/30 ,  H01J61/305

Abstract: 本发明公开了一种等离子体显示板及其插孔的形成方法，这种改进的等离子体显示板具有多个微型部件(40)，所述微型部件至少部分地设置在插孔(30)内，并被夹在两衬底(10，20)之间。每个微型部件(40)都包括气体或气体混合物，在借助至少两个电极给微型部件施加电压时，所述气体或气体混合物能够电离。

公开(公告)号：CN1296685C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN01821887.3

申请日：2001-11-29

Applicant: 赖特温德公司

Inventor： 加里·鲍威尔 ,  理查德·L·哈泽德

IPC: G01J3/30 ,  G01J3/443 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/28 ,  G01J3/443 ,  G01N1/2226 ,  G01N21/15 ,  G01N21/68

Abstract: 本发明多个方面提供创新的方法和装置，用于对气体取样，激发取样的气体以发射射线，并根据发射的射线实时检测发射光谱的多个波带。可根据所检测的波带，调节用于激发取样气体的能量。可根据检测的波带，实时控制过程。可利用创新的界面，以显示检测的部分波带。一基准气体的已知流量可包含在基准气体的流量中，并确定未知流量气体的未知流量。

公开(公告)号：CN1898547A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038289.0

申请日：2004-10-20

Applicant: 兰姆研究有限公司

Inventor： B·K·麦米林 ,  F·C·达萨帕

IPC: G01N21/00 ,  G01J3/30

CPC classification number: G01N21/68 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32963

Abstract: 一般地说，本发明提供了一种用于监测等离子体光辐射的手段。具体地说，本发明提供了通过可变开口监测等离子体光辐射来检测出等离子体蚀刻工序终点的方法，该方法不具有可能导致伪终点呼叫的扰动。该方法包括通过由可移动构件界定的开口从等离子体收集光辐射数据。上述可移动构件能改变上述开口的配置。该方法还在特定时间内将上述可移动构件保持在固定状态。该方法还包含在将上述可移动构件保持固定的同时检测等离子体光辐射中的特定扰动之操作。

公开(公告)号：CN109211877A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810716205.8

申请日：2018-07-03

Applicant: 爱科来株式会社

Inventor： 桐山健太郎

IPC: G01N21/66 ,  G01N21/67

CPC classification number: G01N33/493 ,  G01J3/443 ,  G01N1/38 ,  G01N21/25 ,  G01N21/69 ,  G01N21/73 ,  G01N21/66 ,  G01N21/67

Abstract: 本发明提供等离子体分光分析方法，抑制测定尿检体中的汞或铅时，由属于内源性的物质引起的对照用金属成分的铊导致的等离子体发光的发光量的偏差。稀释假设包括汞或铅的尿检体，进而向该稀释的尿检体添加已知浓度的铊，并向导入铊的测定容器中的一对电极施加电流，从而将上述尿检体中的汞或铅及铊浓缩到一个电极的附近之后，向上述一对电极施加电流而产生等离子体来检测所生成的汞或铅及铊的发光，由在该检测中得到的发光谱，利用与铊对应的波长即对照波长中的净发光量即对照发光量来校正与汞或铅对应的波长即分析波长中的净发光量即分析发光量，并将该校正的值与在预先已知的浓度的汞或铅的测定中得到的校准线比较来将上述尿检体中的汞或铅定量。

公开(公告)号：CN108445056A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201810140172.7

申请日：2018-02-11

Applicant: 爱科来株式会社

Inventor： 笠井督夫

IPC: G01N27/28 ,  G01N27/30

CPC classification number: C25B9/16 ,  C25B9/06 ,  C25B11/02 ,  C25B11/12 ,  G01J3/443 ,  G01N21/67 ,  G01N21/69 ,  G01N27/28 ,  G01N27/30

Abstract: 本发明涉及一种电解装置，其包括：容纳溶液的电解池；安装在所述电解池中的一对电极；以及连接到所述一对电极的电压施加装置。所述一对电极中的一个电极是小电极，所述一对电极中的另一个电极是大电极。小电极与溶液的液体接触部分的面积小于大电极与溶液的液体接触部分的面积。在所述电解池中容纳有所述溶液的状态下，在所述小电极的液体接触部分与所述小电极的液体接触部分的竖直方向上方的溶液液面之间仅存在所述溶液。

公开(公告)号：CN105431719B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201480043168.9

申请日：2014-06-12

Applicant: 钾肥和盐类集团钾肥有限公司

Inventor： U-W·利斯纳 ,  T·雷斯特 ,  J·韦希特 ,  J·马科韦 ,  V·莫尔肯斯 ,  C·D·盖伦

IPC: G01J3/443 ,  G01N21/71 ,  G01N21/85

CPC classification number: G01N21/718 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/443 ,  G01N21/8507 ,  G01N2021/152 ,  G01N2021/8592 ,  G01N2201/06113 ,  G02B7/023

Abstract: 本发明涉及一种LIBS测量管，用于竖直地插入在水平流中运动的所要分析的材料，其特征在于：测量管竖直地延伸且内部是空心的并至少在下端敞开，以在下端形成有下边缘，测量管在上端具有用于输入激光束的入口并具有用于输出发射光谱的出口，该测量管构造为使得在测量管中，激光束聚焦到所要分析的材料上，特别是松散材料，尤其是来自制备钾肥、镁肥或者制备岩盐或食盐时的初级产品、中间产品和最终产品，而不发生附加的散射和转向，从而在不发生附加的散射或转向的情况下，通过激光辐射在测量管内部产生所要分析的材料的等离子体，并且所要分析的材料的发射光谱通过测量管的内部到达出口以便输出，在内管壁和外管比上，优选在聚焦管(3)的相同高度上环形地贴合刮除器(1、2)，各刮除器设置为能够相对于聚焦管(3)竖直移动，以通过聚焦管(3)相对于刮除器(1、2)的相对运动而在下部区域中刮除在内部和外部粘附在聚焦管(3)上的所要分析的材料。

公开(公告)号：CN106461463B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201580025951.7

申请日：2015-04-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 江浦茂 ,  铃木健吾 ,  池村贤一郎 ,  井口和也

IPC: G01J3/443 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/64 ,  G01J3/0254 ,  G01J3/443 ,  G01N2201/12753

Abstract: 光测量装置向配置有试样的积分球内输入激发光，使激发光以规定的光束截面照射至试样，并利用光检测器检测来自积分球的测量光而取得试样的强度数据。光测量装置包括：存储部，其存储有修正数据；及光特性计算部，其基于试样的强度数据及修正数据，计算出试样的光特性。修正数据基于对第1光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第1修正用强度数据、以及对第2光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第2修正用强度数据而计算出。规定的光束截面被第1光吸收构件覆盖并且覆盖第2光吸收构件。