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公开(公告)号：KR101370812B1
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020110128440
申请日：2011-12-02
Applicant: (주)가하
Abstract: 본 발명은 개별 칩으로 분할된 웨이퍼의 불량 칩 분류를 위한 위한 웨이퍼 표시자 마킹 방법으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 공정 중 웨이퍼 크랙(crack)과 같이 예기치 못한 공정 어택(attack)이 발생하더라도 이에 상관없이 불량이 발생된 칩의 위치 정보를 정확히 인식하여 불량 칩을 분류할 수 있도록 하는 웨이퍼 표시자 마킹 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 표시자 마킹 방법은, 웨이퍼의 일측 면에 접착비닐을 부착하는 단계와; 상기 접착비닐이 부착된 웨이퍼의 타측 면에 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 단계와; 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 웨이퍼를 복수의 개별 칩으로 분할하는 단계와; 상기 접착비닐에 상기 개별 칩으로 분할된 웨이퍼가 부착된 상태에서 상기 접착비닐을 사방으로 확장시키는 단계; 및 상기 접착비닐의 확장을 완전히 완료한 후에 상기 접착비닐에 적어도 두 개의 표시자를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020130062041A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110128440
申请日：2011-12-02
Applicant: (주)가하
CPC classification number: H01L21/67282 , G01N21/8806 , H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A method for marking a wafer alignment key is provided to improve the throughput of semiconductor chips by accurately recognizing the position information of bad chips. CONSTITUTION: An adhesion vinyl(20) is adhered to one surface of a wafer(10). Two or more indicators(30a-30d) are formed in the adhesion vinyl. A scribe line is formed in the other surface of the wafer. The wafer is divided into chips along a scribe line. The adhesion vinyl is expanded in all directions.
Abstract translation: 目的：提供一种用于标记晶圆对准键的方法，通过精确识别不良芯片的位置信息来提高半导体芯片的吞吐量。 构成：粘合乙烯基（20）粘附到晶片（10）的一个表面。 在粘合乙烯基中形成两个或更多个指示剂（30a-30d）。 在晶片的另一个表面上形成刻划线。 晶片沿划线划分成芯片。 粘合乙烯基在各个方向扩展。
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公开(公告)号：KR1020150044291A
公开(公告)日：2015-04-24
申请号：KR1020130123511
申请日：2013-10-16
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G02B7/09 , G02B7/30 , G02B21/365 , G02B27/4211 , H04N5/23212
Abstract: 본발명은자동초점조절장치에관한것으로서, 상이한파장의레이저광을출력하는복수개 레이저광원을이용하여이를피사체에조사하고, 조사된광 중에서반사되는광을이용하여각 레이저광별빔강도를이용하는색수차방식을이용한자동초점조절장치가제공된다. 본발명에서는피사체에조사하고반사되는복수개 레이저광중에서어느하나의레이저광만을필터링하고, 필터링된레이저광의빔강도를이용하는광삼각법을적용하여자동초점을조절하는기술도제시된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用多个激光源输出不同波长的激光的自动聚焦装置，并且使用从照射的光自动聚焦反射的光，使用每个光学激光束的光束强度来研究该对象 提供了使用该方法的装置。 本发明提供了对来自多个激光的仅激光中的一个进行滤光，对受试者进行照射和反射的光，并且通过使用激光束的滤光强度进行三角测量，还提出了用于控制自动聚焦的技术 。
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公开(公告)号：KR1020110023992A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090081818
申请日：2009-09-01
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G02B21/241 , G02B7/28 , G02B21/361 , G03B13/36
Abstract: PURPOSE: An apparatus for adjusting a focus automatically is provided to minimize the increase the volume of the device due to the increase in focal distance of a tube lens. CONSTITUTION: An apparatus for adjusting a focus comprises: an optical output unit; a first tube lens making a light from the optical output unit parallel; an object lens guiding the light, passing through the first tube lens, on a sample; a first optical member(120) which is arranged in an optical path and reflects a part of an incident light and passes the other light; an optical detector(110) receiving reflection light and converting it into an electrical signal; and a mirror.
Abstract translation: 目的：提供一种用于自动调节焦点的设备，以最小化由于管透镜的焦距的增加引起的装置体积的增加。 构成：用于调整焦点的装置包括：光输出单元; 使来自光输出单元的光平行的第一管透镜; 物镜，将通过第一管透镜的光引导到样品上; 第一光学构件（120），其布置在光路中并且反射入射光的一部分并使另一个光通过; 接收反射光并将其转换成电信号的光学检测器（110）; 和镜子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101568980B1
公开(公告)日：2015-11-13
申请号：KR1020130123511
申请日：2013-10-16
Applicant: (주)가하
Abstract: 본발명은자동초점조절장치에관한것으로서, 상이한파장의레이저광을출력하는복수개 레이저광원을이용하여이를피사체에조사하고, 조사된광 중에서반사되는광을이용하여각 레이저광별빔강도를이용하는색수차방식을이용한자동초점조절장치가제공된다. 본발명에서는피사체에조사하고반사되는복수개 레이저광중에서어느하나의레이저광만을필터링하고, 필터링된레이저광의빔강도를이용하는광삼각법을적용하여자동초점을조절하는기술도제시된다.
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公开(公告)号：KR101038418B1
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090081818
申请日：2009-09-01
Applicant: (주)가하
Abstract: 본 발명은 자동초점 조절장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 장치의 정밀도를 높이기 위해 렌즈의 초점거리를 증가시킬 경우 장치가 커지는 문제점을 해결할 수 있는 자동초점 조절장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 자동초점 조절장치는 광을 출사하는 광출력부와; 상기 광출력부에서 출사되는 광을 평행광으로 만들어 주는 제 1튜브렌즈와; 상기 제 1튜브렌즈를 통과한 광을 검사시편 상에 조명하는 대물렌즈와; 상기 광의 진행 경로 상에 설치되어, 입사되는 광의 일부는 반사시키고 일부는 통과시키는 제 1광학부재와; 상기 검사시편으로부터 반사된 광을 입력받아 전기적인 신호로 바꾸어 주는 광검출기; 및 상기 대물렌즈와 상기 광검출기 사이의 광 경로상에 위치하고, 입사되는 광을 적어도 2회 이상 반사시킨 후 출사하는 지미러(Z-Mirror)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
자동 초점 조절, 초점거리, 광 삼각법-
公开(公告)号：KR100939679B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
Abstract: 본 발명은 자동 초점 조절 수단으로서 레이저 스팟 간의 간격 거리를 제 1 차 수단으로 사용하고, 레이저 스팟의 형상은 제 2 차 수단으로 채용함으로써, 검사 시편에 의해 발생될 수 있는 패턴 영향, 난반사 문제에 유연하게 대응하여 자동 초점 조절을 수행할 수 있고, 정확히 측정된 좌표값을 근거로 하여 산출된 길이 데이터를 제 1 차 초점 조절 수단으로 이용하여 정확한 자동 초점 조절이 가능한 자동 초점 조절 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 자동 초점 조절 장치는 레이저 광 출력부, 시준 렌즈, 핀홀, 회절 격자, 집광 렌즈, 광 분할기, 대물 렌즈, 원기둥 렌즈 및 광 검출기로 구성된 광학 시스템과 상기 광 검출기에 검출된 레이저 광선 스팟의 형상 및 스팟 간의 거리를 판독하는 연산 장치와; 초점이 맞을 경우의 스팟 간의 간격 거리값 (기준값)이 저장되는 기억 매체와; 새로운 검사 시편 로딩 시 검출된 형상 및 스팟 간의 거리를 상기 기억 매체에 저장된 기준값과 비교하여 초점이 맞을 때의 형상 및 스팟 간의 거리를 유지하도록 제어하는 제어 장치; 및 상기 제어 장치에 의한 제어 신호에 따라 구동되는 구동 모터를 포함하도록 구성되어 있다.
자동 초점 조절-
公开(公告)号：KR1020090061138A
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
CPC classification number: G02B27/40 , G02B7/04 , G02B21/245 , G11B7/0908 , H04N5/232
Abstract: An auto focusing apparatus and a method thereof are provided, which perform the auto focusing by flexibly coping with the diffuse reflection problem and the pattern influence generated by the inspection specimen. An auto focusing apparatus(120) comprises the laser beam output part(10), the diffraction grating(40), the beam splitter(60), the objective lens(70), cylindrical lenses, the convex lens(100), the optical detector(110), arithmetic and logic unit, the storage media, the control device, and the drive motor. In the laser beam output part, the circular laser beam controlling the quantity of light is outputted. The diffraction grating radially divides the laser into a plurality of rays. The beam splitter makes the divided light ray incident in the specimen(80). The convex lens gathers the light passing through the cylindrical lens to the domain of the optical detector. The drive motor is driven according to the control signal by the control device.
Abstract translation: 提供了一种自动对焦装置及其方法，其通过灵活地应对由检查样本产生的漫反射问题和图案影响来执行自动聚焦。 自动聚焦装置（120）包括激光束输出部分（10），衍射光栅（40），分束器（60），物镜（70），柱面透镜，凸透镜（100） 检测器（110），算术和逻辑单元，存储介质，控制装置和驱动电机。 在激光束输出部中，输出控制光量的圆形激光束。 衍射光栅将激光器径向地分成多个射线。 分束器使分离的光线入射到样品（80）中。 凸透镜将通过柱面透镜的光聚焦到光学检测器的区域。 驱动电机根据控制装置的控制信号进行驱动。
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公开(公告)号：KR100764465B1
公开(公告)日：2007-10-08
申请号：KR1020060062383
申请日：2006-07-04
Applicant: (주)가하
Abstract: A contact-type three dimensional surface shape measuring device is provided to minimize a non-linear movement of a stylus and to prevent load of a position sensor from being delivered to the stylus. A contact-type three dimensional surface shape measuring device comprises a stylus moving unit(180), a body unit, and a laser unit(116). The stylus moving unit is a long bar-type having at least one slit(150), and has a stylus(160) at one end portion. The body unit supports the stylus moving unit with at least one leaf spring and formed with an optical position sensor(170) corresponding to the slit. The laser unit is installed at a front surface of the slit to radiate a laser beam to the slit.
Abstract translation: 提供一种接触式三维表面形状测量装置，以最小化触针的非线性移动并防止位置传感器的负载被传送到触针。 接触式三维表面形状测量装置包括触笔移动单元（180），主体单元和激光单元（116）。 触针移动单元是具有至少一个狭缝（150）的长条形，并且在一个端部具有触针（160）。 身体单元支撑具有至少一个板簧的触针移动单元，并且形成有与狭缝对应的光学位置传感器（170）。 激光单元安装在狭缝的前表面，以将激光束辐射到狭缝。
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