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公开(公告)号:KR20210030714A
公开(公告)日:2021-03-18
申请号:KR1020190112201A
申请日:2019-09-10
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01L27/11582 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
CPC classification number: H01L27/11582 , H01L27/11529 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
Abstract: 본 발명은 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 금속층과 절연층이 교대로 적층된 구조의 적층체를 상부에 형성한 기판을 준비하는 단계와, 상기 적층체의 상부에 레이저를 조사하고 상기 기판의 일부분이 노출되도록 V자 형의 경사면을 가진 홈(groove)을 식각 가공하는 단계와, 상기 홈 양측의 서로 대향한 제1 경사면 및 제2 경사면을 각각 계단 형태로 가공하여 제1 계단구조 및 제2 계단구조를 각각 형성하는 단계, 및 상기 노출된 기판의 일부분을 절단하여, 상기 적층체를 상기 제1 계단구조를 가진 제1 적층 블록 및 상기 제2 계단구조를 가진 제2 적층 블록으로 분리하는 단계를 포함하는 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 레이저 마이크로/나노 머시닝을 이용하여 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 계단식 구조를 보다 빠르고 정밀하게 안정적으로 제조함으로써 기존의 에칭 기반의 제조 공정에 비하여 제조 공정이 간단함은 물론 공정 시간과 비용 및 제조 수율을 크게 개선할 수 있다.-
公开(公告)号:KR101608353B1
公开(公告)日:2016-04-05
申请号:KR1020140048226
申请日:2014-04-22
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본발명에따른백금촉매연속도포장치는공정챔버; 백금플라즈마를발생시키는플라즈마발생기; 상기플라즈마발생기에서발생한상기백금플라즈마에전기장을제공하여백금이온을분리및 가속시키는가속기; 상기백금이온이주입되는이온교환막또는가스확산층이회전가능하도록지지되는타겟롤; 및상기플라즈마발생기및 상기타겟롤사이에배치되어, 상기가속기에의해가속된상기백금이온을상기이온교환막또는상기가스확산층으로주입되도록가이드하는가이드부를제공한다. 본발명에따르면백금플라즈마에서발생한백금이온이연속적으로공급되는이온교환막또는가스확상층표면상에주입될수 있어서대량생산이가능한효과가있다.
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公开(公告)号:KR1020160018972A
公开(公告)日:2016-02-18
申请号:KR1020140102283
申请日:2014-08-08
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/04589 , H01M8/04559 , H01M8/04649 , H01M8/04679 , H01M8/04992 , H01M2250/20
Abstract: 본발명은연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부; 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부; 상기고조파왜곡률을이용하여단위시간당 THD의변화량을연산하는 THD 변화량연산부; 및상기 THD, 상기단위시간당 THD의변화량, 스택전류, 스택전압및 단위시간당스택전류의변화량등의스택의정보를입력으로하여스택의상태를진단하는진단부를포함하되, 상기진단부는퍼지로직또는뉴로네트워크를이용한다. 이와같이본 발명에따르면, 다이나믹상태의스택운전시에도지능형결정장치를이용하여스택의상태를진단할수 있다. 또한, 고조파왜곡률및 그변화율을이용하여스택의정상/비정상판단을용이하게할 수있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于监测燃料电池堆的装置和方法。 根据本发明的用于监测燃料电池堆的装置包括:测量单元,用于施加包括多个正弦波的多个频率的监视信号作为用于响应频率到堆栈的测量信号以测量堆叠电流或堆叠 电压; THD计算单元,用于转换堆叠电流或堆叠电压的频率以计算总谐波失真(THD); THD变化计算单元,用于使用总谐波失真来计算每单位时间的TFD的变化; 以及监视单元,用于输入诸如THD的堆栈信息,每单位时间的TFD的变化,堆叠电流,堆叠电压和每单位时间的堆叠电流的变化以监视堆叠的状态,其中监视单元使用清除逻辑或 神经网络。 因此,根据本发明,即使在动态状态下的堆栈操作,也可以使用智能判定装置来监视堆栈的状态。 此外,可以使用总谐波失真及其变化容易地确定堆叠的正常性或异常。
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公开(公告)号:KR1020130127289A
公开(公告)日:2013-11-22
申请号:KR1020120051095
申请日:2012-05-14
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Inventor: 이용현
CPC classification number: G01R31/3662 , G01R31/3631 , H01M8/04634
Abstract: The present invention relates to a device and a method for monitoring a fuel cell using step signals. The device for monitoring a fuel cell using step signals according to one embodiment comprises a signal generator applying step signals to a fuel cell; a signal processor calculating impedance of the fuel cell using measured step response signals when the step signals are applied; and a determination unit determining the abnormality of the fuel cell by comparing the calculated impedance of the fuel cell to a predetermined reference impedance. As a result, the device quickly monitors the fuel cell by applying the step signals to the fuel cell, analyzing a response thereof, and calculating the impedance of the fuel cell. [Reference numerals] (20) Load;(31) Signal generation unit;(32) Signal processing unit;(33) Determination unit
Abstract translation: 本发明涉及使用步骤信号监测燃料电池的装置和方法。 根据一个实施例的使用步骤信号来监测燃料电池的装置包括将步骤信号施加到燃料电池的信号发生器; 信号处理器,当施加步进信号时,使用测量的步进响应信号来计算燃料电池的阻抗; 以及确定单元,通过将计算出的燃料电池的阻抗与预定的参考阻抗进行比较来确定燃料电池的异常。 结果,该设备通过将步骤信号施加到燃料电池来快速监视燃料电池,分析其响应并计算燃料电池的阻抗。 (附图标记)(20)负载;(31)信号生成单元;(32)信号处理单元;(33)判定单元
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公开(公告)号:KR101273689B1
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:KR1020110038902
申请日:2011-04-26
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , G01R27/02
Abstract: 본 발명은 시험용 저항체들의 초기 저항값을 측정하고, 설정된 트리밍 길이로 가공하는 과정을 반복적으로 수행한 후, 트리밍 된 상기 시험용 저항체들의 최종 저항값을 반복적으로 측정하는 시험단계와, 상기 최종 저항값을 목표 저항값으로 설정하고, 상기 최종 저항값으로부터 상기 초기 저항값의 차를 상기 초기 저항값의 비로 나타내는 무차원 저항값을 연산하는 단계 및 상기 트리밍 길이를 상기 무차원 저항값에 대한 함수가 되도록 상관관계식을 도출하는 단계를 포함하는 저항체의 레이저 트리밍 방법을 제공한다.
본 발명에 의한 저항체의 레이저 트리밍 방법은 상관관계식에 의하여 목표 저항값 및 초기 저항값으로부터 트리밍 길이를 매우 빠르게 연산할 수 있기 때문에, 가공 속도가 신속해져서 생산성이 향상되는 효과가 있다. 또한 상관관계식을 통하여 목표 저항값에 근접한 트리밍 길이로 저항체의 가공이 가능하여 허용오차 범위를 감소시킬 수 있고, 이에 따른 공정수가 감소되는 효과가 있다.-
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公开(公告)号:KR101808655B1
公开(公告)日:2018-01-18
申请号:KR1020160009121
申请日:2016-01-26
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Inventor: 홍성근
Abstract: 복수의링거수액을환자에투여하는진행과정을관리하기위해 LPWAN을이용하는수액관리시스템으로서, 건물내에분산배치되고수액과연결되어수액투여상태를감지하는센서부와센서부로부터의감지신호를 ISM 대역신호로출력하는무선부를포함하는수액감시단말기와; 건물에분산배치되고수액감시단말기의 ISM 대역신호를수신하여수신된신호를기초로수액투여를관리하기위한초기조건설정및 수액투여상태를관리하는관리자측단말기와; 관리자측단말기측에유무선으로연결되어수액감시단말기로부터의 ISM 대역신호를수신하여관리자측단말기에중계하고관리자측단말기로부터의명령신호를수액감시단말기로전달하는 ISM 신호송수신기를구비하고, 수액감시단말기와관리자측단말기는상호간 LPWAN 망을통해 ISM 대역신호를양방향통신으로송수신하며, 수액감시단말기는충전식또는배터리식전원전지를포함하는한편, 상하서열순위를가진복수의동작모드를포함하고, 하순위동작모드는상순위동작모드보다 ISM 대역신호의데이터전송량및 전송주기가상대적으로작고, 수액감시단말기자체의하드웨어구성요소들의동작량도상대적으로작다. 이에따라서, 단순한구조로넓은범위의링거수액을효율적으로관리할수 있는저렴한수액관리시스템을제공할수 있다.
Abstract translation: 使用LPWAN来管理给药多个林格氏流体到患者的过程中的流体管理系统,分布式装置与流体传感器相关联,用于在建筑物中的ISM频带信号感测流体管理状态和传感器robuteoui检测信号 以及用于向接收机输出无线电信号的无线电单元; 分布在建筑物和用于管理的初始条件,并设置接收器状态管理对所接收的信号的基础上管理流体施用以接收ISM频带信号的管理员终端侧的流体监控装置; 是有线或连接到管理员侧终端侧无线由管理员侧端子和用于发送管理员侧端子robuteoui命令信号到所述接收器监视终端一个ISM信号收发器上的中继站接收从所述流体监控装置的ISM频带信号,和所述接收器监视终端和 管理员侧终端是通过帧间LPWAN网络发送并通过双向通信接收到的ISM频带信号,接收器监视装置,包括是否可再充电的或电池之前在另一方面餐核,包括具有垂直序列分级,和排名的操作模式的多个操作模式 ISM频带信号的数据传输量和传输周期相对较小,并且液体接收终端本身的硬件组件的操作量相对较小。 因此,可以提供一种低成本的流体管理系统,其能够以简单的结构有效地管理各种林格解决方案。
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公开(公告)号:KR1020140085803A
公开(公告)日:2014-07-08
申请号:KR1020120155395
申请日:2012-12-27
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: G01R31/40 , G01R31/3606 , H01M8/0432 , H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M8/04679 , Y02E60/50
Abstract: The present invention relates to a fuel cell stack diagnosis system for diagnosing malfunction and state of a fuel cell stack. According to an embodiment of the present invention, a fuel cell stack diagnosis system includes a diagnosis control analyzer for analyzing a state of a fuel cell stack by measuring a voltage and current of the fuel cell stack; an AC signal generator for generating an AC signal for diagnosis according to a control of the diagnosis control analyzer; and an AC component driving device driven according to an AC signal outputted from the AC signal generator to include an AC component for diagnosing a current of the fuel cell stack. The diagnosis control analyzer diagnoses the fuel cell stack on the basis of the current and voltage of the fuel cell stack including the AC component passing a load.
Abstract translation: 本发明涉及用于诊断燃料电池堆的故障和状态的燃料电池堆诊断系统。 根据本发明的实施例,燃料电池堆诊断系统包括:诊断控制分析器,用于通过测量燃料电池堆的电压和电流来分析燃料电池堆的状态; AC信号发生器,用于根据诊断控制分析器的控制产生用于诊断的AC信号; 以及AC分量驱动装置,其根据从AC信号发生器输出的AC信号驱动,以包括用于诊断燃料电池堆的电流的AC分量。 诊断控制分析器基于包括通过负载的AC分量的燃料电池堆的电流和电压来诊断燃料电池堆。
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公开(公告)号:KR1020140085802A
公开(公告)日:2014-07-08
申请号:KR1020120155394
申请日:2012-12-27
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단
CPC classification number: H01M8/04649 , G01R31/3662 , H01M8/04559 , H01M8/04589
Abstract: The present invention relates to a method and system for measuring an impedance of fuel cell stack in order for a state diagnosis of a fuel cell stack, which quickly measure an impedance for a plurality of frequencies of a fuel cell stack by using a sinusoidal signal, obtained by synthesizing different frequencies, as an impedance measurement input signal. According to an embodiment of the present invention, an impedance measurement method for a state diagnosis of a fuel cell stack includes synthesizing a plurality of sinusoidal signals having different frequencies; applying the synthesized signal as a measurement input signal to the fuel cell stack; measuring a current and voltage of the fuel cell stack; converting the measured current and voltage of the fuel cell stack in a set method; and calculating an impedance of the fuel cell stack for the different frequencies on the basis of the current and voltage of the fuel cell stack converted in the set method.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量燃料电池堆的阻抗的方法和系统,以便通过使用正弦信号快速测量燃料电池堆的多个频率的阻抗来进行燃料电池堆的状态诊断, 通过合成不同的频率获得,作为阻抗测量输入信号。 根据本发明的实施例,用于燃料电池堆状态诊断的阻抗测量方法包括合成具有不同频率的多个正弦信号; 将所述合成信号作为测量输入信号施加到所述燃料电池堆; 测量燃料电池堆的电流和电压; 以设定的方式转换测量的燃料电池堆的电流和电压; 并且根据在所述设定方法中转换的燃料电池堆的电流和电压,计算不同频率的燃料电池堆的阻抗。
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公开(公告)号:KR1020140075983A
公开(公告)日:2014-06-20
申请号:KR1020120143883
申请日:2012-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: H01M8/04679 , H01M8/04492 , H01M8/04649 , Y02E60/50
Abstract: The method for diagnosing a failure of a fuel cell stack comprises the following steps: supplying a driving current having a first optimal frequency of a first frequency area to diagnose a cell voltage decrease and a second optimal frequency of a second frequency area to diagnose a cause of the cell voltage decrease to a fuel cell stack; calculating a distortion rate based on a voltage of the fuel cell stack according to the driving current of the first optimal frequency; diagnosing the cell voltage decrease based on the calculated distortion rate; calculating impedance based on the voltage and a current of the fuel cell stack according to the driving current of the second optimal frequency; and diagnosing the cause of the cell voltage decrease based on the calculated impedance.
Abstract translation: 用于诊断燃料电池堆故障的方法包括以下步骤:提供具有第一频率区域的第一最佳频率的驱动电流以诊断电池电压降低和第二频率区域的第二最佳频率以诊断原因 的电池电压降低到燃料电池堆; 根据第一最佳频率的驱动电流,计算出基于燃料电池堆的电压的失真率; 基于计算的失真率诊断电池电压降低; 根据第二最佳频率的驱动电流,计算出基于燃料电池堆的电压和电流的阻抗; 并根据计算出的阻抗来诊断电池电压的原因。
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公开(公告)号:KR1020120121119A
公开(公告)日:2012-11-05
申请号:KR1020110038902
申请日:2011-04-26
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , G01R27/02
Abstract: PURPOSE: A laser trimming method for a resistor is provided to reduce an allowable error range and the number of processes by processing resisters to a trimming length close to a target resistance value according to a correlation formula. CONSTITUTION: A laser trimming method for a resistor comprises the steps of: measuring the initial resistance value of test resistors processing the resistors to a predetermined trimming length, repeating the mentioned steps and repetitively measuring the final resistance value of the trimmed resisters, setting the final resistance value as a target resistance value, calculating a dimensionless resistance value indicating the difference of the initial resistance value from the final resistance value, as a ratio of the initial resistance value, and drawing a correlation formula to express the trimming length in a function for the dimensionless resistance value.
Abstract translation: 目的:提供一种用于电阻器的激光修整方法,以根据相关公式减小容许误差范围和通过将电阻加工到接近目标电阻值的修剪长度的工艺数量。 构成:用于电阻器的激光修整方法包括以下步骤:测量将电阻器加工成预定的修剪长度的测试电阻器的初始电阻值,重复所述步骤并重复测量修剪电阻器的最终电阻值, 电阻值作为目标电阻值,计算表示初始电阻值与最终电阻值的差的无量纲电阻值作为初始电阻值的比率,并绘制相关公式以表示在功能中的修整长度 无量纲电阻值。
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