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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210030714A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190112201A
申请日：2019-09-10
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01L27/11582 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
CPC classification number: H01L27/11582 , H01L27/11529 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
Abstract: 본 발명은 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 금속층과 절연층이 교대로 적층된 구조의 적층체를 상부에 형성한 기판을 준비하는 단계와, 상기 적층체의 상부에 레이저를 조사하고 상기 기판의 일부분이 노출되도록 V자 형의 경사면을 가진 홈(groove)을 식각 가공하는 단계와, 상기 홈 양측의 서로 대향한 제1 경사면 및 제2 경사면을 각각 계단 형태로 가공하여 제1 계단구조 및 제2 계단구조를 각각 형성하는 단계, 및 상기 노출된 기판의 일부분을 절단하여, 상기 적층체를 상기 제1 계단구조를 가진 제1 적층 블록 및 상기 제2 계단구조를 가진 제2 적층 블록으로 분리하는 단계를 포함하는 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 레이저 마이크로/나노 머시닝을 이용하여 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 계단식 구조를 보다 빠르고 정밀하게 안정적으로 제조함으로써 기존의 에칭 기반의 제조 공정에 비하여 제조 공정이 간단함은 물론 공정 시간과 비용 및 제조 수율을 크게 개선할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101608353B1
公开(公告)日：2016-04-05
申请号：KR1020140048226
申请日：2014-04-22
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본발명에따른백금촉매연속도포장치는공정챔버; 백금플라즈마를발생시키는플라즈마발생기; 상기플라즈마발생기에서발생한상기백금플라즈마에전기장을제공하여백금이온을분리및 가속시키는가속기; 상기백금이온이주입되는이온교환막또는가스확산층이회전가능하도록지지되는타겟롤; 및상기플라즈마발생기및 상기타겟롤사이에배치되어, 상기가속기에의해가속된상기백금이온을상기이온교환막또는상기가스확산층으로주입되도록가이드하는가이드부를제공한다. 본발명에따르면백금플라즈마에서발생한백금이온이연속적으로공급되는이온교환막또는가스확상층표면상에주입될수 있어서대량생산이가능한효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020160018972A
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：KR1020140102283
申请日：2014-08-08
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/04589 , H01M8/04559 , H01M8/04649 , H01M8/04679 , H01M8/04992 , H01M2250/20
Abstract: 본발명은연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부; 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부; 상기고조파왜곡률을이용하여단위시간당 THD의변화량을연산하는 THD 변화량연산부; 및상기 THD, 상기단위시간당 THD의변화량, 스택전류, 스택전압및 단위시간당스택전류의변화량등의스택의정보를입력으로하여스택의상태를진단하는진단부를포함하되, 상기진단부는퍼지로직또는뉴로네트워크를이용한다. 이와같이본 발명에따르면, 다이나믹상태의스택운전시에도지능형결정장치를이용하여스택의상태를진단할수 있다. 또한, 고조파왜곡률및 그변화율을이용하여스택의정상/비정상판단을용이하게할 수있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于监测燃料电池堆的装置和方法。 根据本发明的用于监测燃料电池堆的装置包括：测量单元，用于施加包括多个正弦波的多个频率的监视信号作为用于响应频率到堆栈的测量信号以测量堆叠电流或堆叠 电压; THD计算单元，用于转换堆叠电流或堆叠电压的频率以计算总谐波失真（THD）; THD变化计算单元，用于使用总谐波失真来计算每单位时间的TFD的变化; 以及监视单元，用于输入诸如THD的堆栈信息，每单位时间的TFD的变化，堆叠电流，堆叠电压和每单位时间的堆叠电流的变化以监视堆叠的状态，其中监视单元使用清除逻辑或 神经网络。 因此，根据本发明，即使在动态状态下的堆栈操作，也可以使用智能判定装置来监视堆栈的状态。 此外，可以使用总谐波失真及其变化容易地确定堆叠的正常性或异常。
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公开(公告)号：KR101273689B1
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110038902
申请日：2011-04-26
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , G01R27/02
Abstract: 본 발명은 시험용 저항체들의 초기 저항값을 측정하고, 설정된 트리밍 길이로 가공하는 과정을 반복적으로 수행한 후, 트리밍 된 상기 시험용 저항체들의 최종 저항값을 반복적으로 측정하는 시험단계와, 상기 최종 저항값을 목표 저항값으로 설정하고, 상기 최종 저항값으로부터 상기 초기 저항값의 차를 상기 초기 저항값의 비로 나타내는 무차원 저항값을 연산하는 단계 및 상기 트리밍 길이를 상기 무차원 저항값에 대한 함수가 되도록 상관관계식을 도출하는 단계를 포함하는 저항체의 레이저 트리밍 방법을 제공한다.
본 발명에 의한 저항체의 레이저 트리밍 방법은 상관관계식에 의하여 목표 저항값 및 초기 저항값으로부터 트리밍 길이를 매우 빠르게 연산할 수 있기 때문에, 가공 속도가 신속해져서 생산성이 향상되는 효과가 있다. 또한 상관관계식을 통하여 목표 저항값에 근접한 트리밍 길이로 저항체의 가공이 가능하여 허용오차 범위를 감소시킬 수 있고, 이에 따른 공정수가 감소되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020120121119A
公开(公告)日：2012-11-05
申请号：KR1020110038902
申请日：2011-04-26
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , G01R27/02
Abstract: PURPOSE: A laser trimming method for a resistor is provided to reduce an allowable error range and the number of processes by processing resisters to a trimming length close to a target resistance value according to a correlation formula. CONSTITUTION: A laser trimming method for a resistor comprises the steps of: measuring the initial resistance value of test resistors processing the resistors to a predetermined trimming length, repeating the mentioned steps and repetitively measuring the final resistance value of the trimmed resisters, setting the final resistance value as a target resistance value, calculating a dimensionless resistance value indicating the difference of the initial resistance value from the final resistance value, as a ratio of the initial resistance value, and drawing a correlation formula to express the trimming length in a function for the dimensionless resistance value.
Abstract translation: 目的：提供一种用于电阻器的激光修整方法，以根据相关公式减小容许误差范围和通过将电阻加工到接近目标电阻值的修剪长度的工艺数量。 构成：用于电阻器的激光修整方法包括以下步骤：测量将电阻器加工成预定的修剪长度的测试电阻器的初始电阻值，重复所述步骤并重复测量修剪电阻器的最终电阻值， 电阻值作为目标电阻值，计算表示初始电阻值与最终电阻值的差的无量纲电阻值作为初始电阻值的比率，并绘制相关公式以表示在功能中的修整长度 无量纲电阻值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101090705B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020100117862
申请日：2010-11-25
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단
CPC classification number: H01M8/04992 , G01R31/3606 , H01M8/04313 , H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M2008/1095 , H01M2250/20 , Y02E60/50 , Y02T90/32
Abstract: PURPOSE: A method for monitoring a fuel cell stack state is provided to use a diagnostic signal for responding to a frequency, thereby increasing diagnostic analyzing performance. CONSTITUTION: A diagnostic device(30) includes a signal generator(31) which generates a diagnostic signal for responding to a frequency. The signal generator applies the diagnostic signal to a load connection terminal of a fuel cell stack(10) through a signal line. The signal generator generates a diagnostic signal for responding to a multiple frequency. The diagnostic device measures the voltage and the current of the stack. The diagnostic device connects a load(20) in case of diagnosis.
Abstract translation: 目的：提供一种用于监测燃料电池堆状态的方法，以使用诊断信号来响应频率，从而增加诊断分析性能。 构成：诊断装置（30）包括产生用于响应频率的诊断信号的信号发生器（31）。 信号发生器通过信号线将诊断信号施加到燃料电池堆（10）的负载连接端子。 信号发生器产生用于响应多个频率的诊断信号。 诊断装置测量堆的电压和电流。 诊断装置在诊断的情况下连接负载（20）。
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公开(公告)号：KR1020170000455A
公开(公告)日：2017-01-03
申请号：KR1020150089177
申请日：2015-06-23
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은스펙트럼을이용한연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부, 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부, 상기고조파왜곡률과제1 임계치를비교하고, 상기고조파왜곡률이상기제1 임계치미만인경우, 상기고조파왜곡률과상기제1 임계치보다작은값인제2 임계치를비교하는 THD 비교부, 상기고조파왜곡률이상기제2 임계치보다크고, 상기제1 임계치보다작은경우, 출력되는주파수의스펙트럼과기 저장된정상상태에서의스펙트럼의차이인스펙트럼변화량을연산하고, 상기스펙트럼변화량을기준값과비교하는연산부, 그리고상기고조파왜곡률또는상기스펙트럼변화량의비교결과를이용하여상기연료전지스택의상태를진단하는진단부를포함한다. 이와같이본 발명에따르면, 노이즈또는입력주파수에해당하는출력전압성분의증가로인한스택상태의오진을극복하고, 정확하게스택의상태를진단할수 있다.
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公开(公告)号：KR101607759B1
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：KR1020140102283
申请日：2014-08-08
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01M8/04
Abstract: 본발명은연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부; 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부; 상기고조파왜곡률을이용하여단위시간당 THD의변화량을연산하는 THD 변화량연산부; 및상기 THD, 상기단위시간당 THD의변화량, 스택전류, 스택전압및 단위시간당스택전류의변화량등의스택의정보를입력으로하여스택의상태를진단하는진단부를포함하되, 상기진단부는퍼지로직또는뉴로네트워크를이용한다. 이와같이본 발명에따르면, 다이나믹상태의스택운전시에도지능형결정장치를이용하여스택의상태를진단할수 있다. 또한, 고조파왜곡률및 그변화율을이용하여스택의정상/비정상판단을용이하게할 수있다.
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公开(公告)号：KR1020150121954A
公开(公告)日：2015-10-30
申请号：KR1020140048226
申请日：2014-04-22
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
Abstract: 본발명에따른백금촉매연속도포장치는공정챔버; 백금플라즈마를발생시키는플라즈마발생기; 상기플라즈마발생기에서발생한상기백금플라즈마에전기장을제공하여백금이온을분리및 가속시키는가속기; 상기백금이온이주입되는이온교환막또는가스확산층이회전가능하도록지지되는타겟롤; 및상기플라즈마발생기및 상기타겟롤사이에배치되어, 상기가속기에의해가속된상기백금이온을상기이온교환막또는상기가스확산층으로주입되도록가이드하는가이드부를제공한다. 본발명에따르면백금플라즈마에서발생한백금이온이연속적으로공급되는이온교환막또는가스확상층표면상에주입될수 있어서대량생산이가능한효과가있다.
Abstract translation: 根据本发明，提供一种用于连续施加铂催化剂的装置，其包括：处理室; 产生铂等离子体的等离子体发生器; 加速器，其通过在等离子体发生器中产生的铂等离子体提供电场来分离和加速铂的离子; 被支撑以能够旋转离子交换膜或其中注入铂离子的气体扩散层的目标辊; 以及引导单元，其布置在等离子体发生器和目标辊之间，并且引导由加速器加速的铂离子以插入到离子交换膜或气体扩散层。 根据本发明，由于能够将从铂等离子体产生的铂离子注入到连续设置的离子交换膜或气体扩散层的表面上，所以可以进行批量生产。
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公开(公告)号：KR101702224B1
公开(公告)日：2017-02-03
申请号：KR1020150089177
申请日：2015-06-23
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은스펙트럼을이용한연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부, 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부, 상기고조파왜곡률과제1 임계치를비교하고, 상기고조파왜곡률이상기제1 임계치미만인경우, 상기고조파왜곡률과상기제1 임계치보다작은값인제2 임계치를비교하는 THD 비교부, 상기고조파왜곡률이상기제2 임계치보다크고, 상기제1 임계치보다작은경우, 출력되는주파수의스펙트럼과기 저장된정상상태에서의스펙트럼의차이인스펙트럼변화량을연산하고, 상기스펙트럼변화량을기준값과비교하는연산부, 그리고상기고조파왜곡률또는상기스펙트럼변화량의비교결과를이용하여상기연료전지스택의상태를진단하는진단부를포함한다. 이와같이본 발명에따르면, 노이즈또는입력주파수에해당하는출력전압성분의증가로인한스택상태의오진을극복하고, 정확하게스택의상태를진단할수 있다.
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