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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210030714A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190112201A
申请日：2019-09-10
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01L27/11582 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
CPC classification number: H01L27/11582 , H01L27/11529 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11573
Abstract: 본 발명은 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 금속층과 절연층이 교대로 적층된 구조의 적층체를 상부에 형성한 기판을 준비하는 단계와, 상기 적층체의 상부에 레이저를 조사하고 상기 기판의 일부분이 노출되도록 V자 형의 경사면을 가진 홈(groove)을 식각 가공하는 단계와, 상기 홈 양측의 서로 대향한 제1 경사면 및 제2 경사면을 각각 계단 형태로 가공하여 제1 계단구조 및 제2 계단구조를 각각 형성하는 단계, 및 상기 노출된 기판의 일부분을 절단하여, 상기 적층체를 상기 제1 계단구조를 가진 제1 적층 블록 및 상기 제2 계단구조를 가진 제2 적층 블록으로 분리하는 단계를 포함하는 레이저 머시닝을 이용한 계단식 구조를 가지는 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 레이저 마이크로/나노 머시닝을 이용하여 3차원 NAND 멀티레이어 메모리의 계단식 구조를 보다 빠르고 정밀하게 안정적으로 제조함으로써 기존의 에칭 기반의 제조 공정에 비하여 제조 공정이 간단함은 물론 공정 시간과 비용 및 제조 수율을 크게 개선할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101608353B1
公开(公告)日：2016-04-05
申请号：KR1020140048226
申请日：2014-04-22
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본발명에따른백금촉매연속도포장치는공정챔버; 백금플라즈마를발생시키는플라즈마발생기; 상기플라즈마발생기에서발생한상기백금플라즈마에전기장을제공하여백금이온을분리및 가속시키는가속기; 상기백금이온이주입되는이온교환막또는가스확산층이회전가능하도록지지되는타겟롤; 및상기플라즈마발생기및 상기타겟롤사이에배치되어, 상기가속기에의해가속된상기백금이온을상기이온교환막또는상기가스확산층으로주입되도록가이드하는가이드부를제공한다. 본발명에따르면백금플라즈마에서발생한백금이온이연속적으로공급되는이온교환막또는가스확상층표면상에주입될수 있어서대량생산이가능한효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020160018972A
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：KR1020140102283
申请日：2014-08-08
Applicant: 강남대학교 산학협력단
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/04589 , H01M8/04559 , H01M8/04649 , H01M8/04679 , H01M8/04992 , H01M2250/20
Abstract: 본발명은연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부; 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부; 상기고조파왜곡률을이용하여단위시간당 THD의변화량을연산하는 THD 변화량연산부; 및상기 THD, 상기단위시간당 THD의변화량, 스택전류, 스택전압및 단위시간당스택전류의변화량등의스택의정보를입력으로하여스택의상태를진단하는진단부를포함하되, 상기진단부는퍼지로직또는뉴로네트워크를이용한다. 이와같이본 발명에따르면, 다이나믹상태의스택운전시에도지능형결정장치를이용하여스택의상태를진단할수 있다. 또한, 고조파왜곡률및 그변화율을이용하여스택의정상/비정상판단을용이하게할 수있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于监测燃料电池堆的装置和方法。 根据本发明的用于监测燃料电池堆的装置包括：测量单元，用于施加包括多个正弦波的多个频率的监视信号作为用于响应频率到堆栈的测量信号以测量堆叠电流或堆叠 电压; THD计算单元，用于转换堆叠电流或堆叠电压的频率以计算总谐波失真（THD）; THD变化计算单元，用于使用总谐波失真来计算每单位时间的TFD的变化; 以及监视单元，用于输入诸如THD的堆栈信息，每单位时间的TFD的变化，堆叠电流，堆叠电压和每单位时间的堆叠电流的变化以监视堆叠的状态，其中监视单元使用清除逻辑或 神经网络。 因此，根据本发明，即使在动态状态下的堆栈操作，也可以使用智能判定装置来监视堆栈的状态。 此外，可以使用总谐波失真及其变化容易地确定堆叠的正常性或异常。
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公开(公告)号：KR1020130127289A
公开(公告)日：2013-11-22
申请号：KR1020120051095
申请日：2012-05-14
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Inventor： 이용현
CPC classification number: G01R31/3662 , G01R31/3631 , H01M8/04634
Abstract: The present invention relates to a device and a method for monitoring a fuel cell using step signals. The device for monitoring a fuel cell using step signals according to one embodiment comprises a signal generator applying step signals to a fuel cell; a signal processor calculating impedance of the fuel cell using measured step response signals when the step signals are applied; and a determination unit determining the abnormality of the fuel cell by comparing the calculated impedance of the fuel cell to a predetermined reference impedance. As a result, the device quickly monitors the fuel cell by applying the step signals to the fuel cell, analyzing a response thereof, and calculating the impedance of the fuel cell. [Reference numerals] (20) Load;(31) Signal generation unit;(32) Signal processing unit;(33) Determination unit
Abstract translation: 本发明涉及使用步骤信号监测燃料电池的装置和方法。 根据一个实施例的使用步骤信号来监测燃料电池的装置包括将步骤信号施加到燃料电池的信号发生器; 信号处理器，当施加步进信号时，使用测量的步进响应信号来计算燃料电池的阻抗; 以及确定单元，通过将计算出的燃料电池的阻抗与预定的参考阻抗进行比较来确定燃料电池的异常。 结果，该设备通过将步骤信号施加到燃料电池来快速监视燃料电池，分析其响应并计算燃料电池的阻抗。 （附图标记）（20）负载;（31）信号生成单元;（32）信号处理单元;（33）判定单元
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公开(公告)号：KR101273689B1
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110038902
申请日：2011-04-26
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 강남대학교 산학협력단
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , G01R27/02
Abstract: 본 발명은 시험용 저항체들의 초기 저항값을 측정하고, 설정된 트리밍 길이로 가공하는 과정을 반복적으로 수행한 후, 트리밍 된 상기 시험용 저항체들의 최종 저항값을 반복적으로 측정하는 시험단계와, 상기 최종 저항값을 목표 저항값으로 설정하고, 상기 최종 저항값으로부터 상기 초기 저항값의 차를 상기 초기 저항값의 비로 나타내는 무차원 저항값을 연산하는 단계 및 상기 트리밍 길이를 상기 무차원 저항값에 대한 함수가 되도록 상관관계식을 도출하는 단계를 포함하는 저항체의 레이저 트리밍 방법을 제공한다.
본 발명에 의한 저항체의 레이저 트리밍 방법은 상관관계식에 의하여 목표 저항값 및 초기 저항값으로부터 트리밍 길이를 매우 빠르게 연산할 수 있기 때문에, 가공 속도가 신속해져서 생산성이 향상되는 효과가 있다. 또한 상관관계식을 통하여 목표 저항값에 근접한 트리밍 길이로 저항체의 가공이 가능하여 허용오차 범위를 감소시킬 수 있고, 이에 따른 공정수가 감소되는 효과가 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101702224B1
公开(公告)日：2017-02-03
申请号：KR1020150089177
申请日：2015-06-23
Applicant: 강남대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은스펙트럼을이용한연료전지스택의상태진단장치및 그방법에관한것이다. 본발명에따른연료전지스택의상태진단장치는, 주파수응답용진단신호로서복수의정현파로이루어진다중주파수의진단신호를스택에인가하여스택전류또는스택전압을측정하는측정부, 상기스택전류또는스택전압을주파수변환하여고조파왜곡률(THD)을연산하는 THD 연산부, 상기고조파왜곡률과제1 임계치를비교하고, 상기고조파왜곡률이상기제1 임계치미만인경우, 상기고조파왜곡률과상기제1 임계치보다작은값인제2 임계치를비교하는 THD 비교부, 상기고조파왜곡률이상기제2 임계치보다크고, 상기제1 임계치보다작은경우, 출력되는주파수의스펙트럼과기 저장된정상상태에서의스펙트럼의차이인스펙트럼변화량을연산하고, 상기스펙트럼변화량을기준값과비교하는연산부, 그리고상기고조파왜곡률또는상기스펙트럼변화량의비교결과를이용하여상기연료전지스택의상태를진단하는진단부를포함한다. 이와같이본 발명에따르면, 노이즈또는입력주파수에해당하는출력전압성분의증가로인한스택상태의오진을극복하고, 정확하게스택의상태를진단할수 있다.
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公开(公告)号：KR101448766B1
公开(公告)日：2014-10-10
申请号：KR1020120155395
申请日：2012-12-27
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: G01R31/40 , G01R31/3606 , H01M8/0432 , H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M8/04679 , Y02E60/50
Abstract: 본 발명은 연료전지 스택의 고장 및 상태를 진단하는 연료전지 스택의 진단 시스템에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 실시예는, 연료전지 스택의 진단 시스템으로서, 연료전지 스택의 전압 및 전류를 측정하여 상기 연료전지 스택의 상태를 진단 분석하는 진단 제어 분석기; 상기 진단 제어 분석기의 제어에 따라 진단용 교류신호를 발생하는 교류신호 발생기; 상기 교류신호 발생기에서 출력되는 교류신호에 따라 구동되어 상기 연료전지 스택의 전류에 진단을 위한 교류 성분이 포함되도록 하는 교류성분 구동 소자;를 포함하고, 상기 진단 제어 분석기는 부하를 경유한 상기 교류 성분이 포함된 상기 연료전지 스택의 전류 및 전압을 기초로 상기 연료전지 스택을 진단하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020140110141A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：KR1020130022838
申请日：2013-03-04
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: B60L15/007 , B60L1/02 , B60L3/0053 , B60L3/12 , B60L7/04 , B60L7/12 , B60L7/22 , B60L11/1883 , B60L11/1885 , B60L11/189 , B60L11/1892 , B60L11/1894 , B60L2240/36 , B60L2240/425 , B60L2240/445 , B60L2240/662 , B60L2260/56 , G01R31/40 , H01M8/0432 , H01M8/04559 , H01M8/04567 , H01M8/04589 , H01M2250/20 , Y02T10/645 , Y02T10/7291 , Y02T90/16 , Y02T90/32 , Y02T90/34
Abstract: The present invention relates to an apparatus and a method for utilizing a power transistor included in a fuel cell stack diagnostic system. The fuel cell stack diagnostic system according to an embodiment, includes a diagnosis control analyzer that diagnoses and analyzes the status of the fuel cell stack by measuring the current and the voltage of the fuel cell stack, an AC signal generator that generates a diagnostic AC signal in accordance with control of the diagnosis control analyzer, and the power transistor that is driven in response to an AC signal outputted from the AC signal generator and includes a diagnostic AC component into the current of the fuel cell stack. According to an embodiment of the present invention, the apparatus includes a regenerative braking detector that detects regenerative braking of a fuel cell vehicle equipped with a fuel cell stack diagnostic system; a voltage rise determiner that determines whether a voltage rise due to regenerative braking of a fuel cell vehicle is a predetermined value or more; and a power transistor controller that controls an AC signal generator so that the voltage due to the regenerative braking is discharged by the power transistor, when the voltage rise due to regenerative braking determined by the voltage rise determiner is a predetermined value or more.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于利用包括在燃料电池堆诊断系统中的功率晶体管的装置和方法。 根据实施例的燃料电池堆诊断系统包括诊断控制分析器，其通过测量燃料电池堆的电流和电压来诊断和分析燃料电池堆的状态，产生诊断AC信号的AC信号发生器 根据诊断控制分析器的控制，以及响应于从AC信号发生器输出的AC信号而驱动的功率晶体管，并且将诊断AC分量包括在燃料电池堆的电流中。 根据本发明的实施例，该装置包括：再生制动检测器，其检测装备有燃料电池堆诊断系统的燃料电池车辆的再生制动; 确定燃料电池车辆的再生制动的电压上升是否为规定值以上的电压上升判定部， 以及功率晶体管控制器，当由电压上升判定器确定的由再生制动引起的电压上升是预定值以上时，控制交流信号发生器使得由再生制动引起的电压由功率晶体管放电。
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公开(公告)号：KR101416399B1
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120143882
申请日：2012-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: H01M8/04679 , H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M2250/20 , Y02E60/50 , Y02T90/32
Abstract: 고장 진단 장치는 연료 전지 스택의 고장 진단을 하기 위하여, 연료 전지 스택에 연결되어 있으며, 인가되는 교류 신호에 따라 스위칭되어 연료 전지 스택으로부터의 전류가 흐르는 교류 전류 흡입부와 교류 신호를 생성하여 교류 전류 흡입부로 공급하는 교류 신호 발생부를 포함한다. 교류 신호에 따라 연료 전지 스택으로부터의 전류가 교류 전류 흡입부로 흡입됨에 따라 진단 처리부로 입력되는 스택 전류가 교류 성분을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140085803A
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120155395
申请日：2012-12-27
Applicant: 현대자동차주식회사 , 강남대학교 산학협력단 , 현대오트론 주식회사
CPC classification number: G01R31/40 , G01R31/3606 , H01M8/0432 , H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M8/04679 , Y02E60/50
Abstract: The present invention relates to a fuel cell stack diagnosis system for diagnosing malfunction and state of a fuel cell stack. According to an embodiment of the present invention, a fuel cell stack diagnosis system includes a diagnosis control analyzer for analyzing a state of a fuel cell stack by measuring a voltage and current of the fuel cell stack; an AC signal generator for generating an AC signal for diagnosis according to a control of the diagnosis control analyzer; and an AC component driving device driven according to an AC signal outputted from the AC signal generator to include an AC component for diagnosing a current of the fuel cell stack. The diagnosis control analyzer diagnoses the fuel cell stack on the basis of the current and voltage of the fuel cell stack including the AC component passing a load.
Abstract translation: 本发明涉及用于诊断燃料电池堆的故障和状态的燃料电池堆诊断系统。 根据本发明的实施例，燃料电池堆诊断系统包括：诊断控制分析器，用于通过测量燃料电池堆的电压和电流来分析燃料电池堆的状态; AC信号发生器，用于根据诊断控制分析器的控制产生用于诊断的AC信号; 以及AC分量驱动装置，其根据从AC信号发生器输出的AC信号驱动，以包括用于诊断燃料电池堆的电流的AC分量。 诊断控制分析器基于包括通过负载的AC分量的燃料电池堆的电流和电压来诊断燃料电池堆。
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