公开(公告)号：AU2003239180A1

公开(公告)日：2003-11-10

申请号：AU2003239180

申请日：2003-04-25

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY INC

Inventor： GOTTSCHALK CHRISTINE ,  FITTKAU JENS ,  SEIWERT JOHANNES

IPC: B01F1/00 ,  C01B13/00 ,  C01B13/10 ,  C02F1/78 ,  G05D21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  G05D21/02

Abstract: A method for mixing fluids for process tools comprises: receiving a first fluid having a first flow and a first concentration to be supplied to a first process tool; receiving a second fluid having a second flow and second concentration; and mixing the first and the second fluid to produce a third fluid having a third flow and third concentration to be supplied to a second process tool.

公开(公告)号：WO2004077022A2

公开(公告)日：2004-09-10

申请号：PCT/US2004/005827

申请日：2004-02-24

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. ,  GOODMAN, Daniel

Inventor： GOODMAN, Daniel

IPC: G01N

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32082

Abstract: The invention features RF plasma generation systems, methods for operating the systems, methods for calibrating the systems, and calibration apparatus. One RF plasma generation system includes an impedance matching network having an input port to receive an RF signal from an RF generator, and an output port to deliver the RF signal to an input port of a plasma. vessel associated with a load. The system includes an RF signal probe in electromagnetic communication with the input port of the impedance matching network to detect at least one RF signal parameter associated with the RF signal at the input port of the impedance matching network. The system can include a calibration storage unit that stores calibration data. The calibration data includes an association of values of the RF signal parameter with values of at least one characteristic of the load.

Abstract translation: 本发明的特征在于RF等离子体生成系统，用于操作系统的方法，用于校准系统的方法以及校准装置。 一个RF等离子体发生系统包括阻抗匹配网络，其具有用于从RF发生器接收RF信号的输入端口和用于将RF信号传送到等离子体的输入端口的输出端口。 与负载相关的容器。 该系统包括与阻抗匹配网络的输入端口电磁通信的RF信号探测器，以在阻抗匹配网络的输入端口处检测与RF信号相关联的至少一个RF信号参数。 该系统可以包括存储校准数据的校准存储单元。 校准数据包括RF信号参数的值与负载的至少一个特性的值的关联。

公开(公告)号：WO1996006800A1

公开(公告)日：1996-03-07

申请号：PCT/US1995010764

申请日：1995-08-24

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. ,  BESEN, Matthew, M. ,  SMITH, Donald, K.

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J19/088 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/74

Abstract: A generator cell (10) includes a high voltage assembly (12) having a high voltage electrode (24), a low voltage assembly (14) having a low voltage electrode (102), a barrier dielectric (28, 92) between the electrodes defining a discharge region (110) for producing a reactive gas, and a welded seal joining the assemblies to create a permanently sealed chamber between the assemblies including the discharge region. The generator cell may have a gap in the discharge region (110) of 0.005 inch or less. The cells may be modularly combined to form a reactive gas generator system.

Abstract translation: 发电机电池（10）包括具有高电压电极（24）的高电压组件（12），具有低压电极（102）的低电压组件（14），电极之间的阻挡电介质（28,92） 限定用于产生反应性气体的放电区域（110），以及焊接密封件，其接合所述组件以在包括所述放电区域的组件之间形成永久密封的室。 发生器单元可以在放电区域（110）中具有0.005英寸或更小的间隙。 电池可以模块化地组合以形成反应性气体发生器系统。

公开(公告)号：WO2003107384A1

公开(公告)日：2003-12-24

申请号：PCT/US2003/015147

申请日：2003-05-14

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： GOODMAN, Daniel

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3299

Abstract: A method for controlling a plasma used for materials processing includes generating a power for forming an electronegative plasma, detecting a signal that is related to a parameter of the plasma, and modulating the power generated in response to the signal. Modulation of the power causes a reduction in an instability of the parameter of the plasma. An apparatus for controlling a materials processing electronegative plasma includes a signal detector for detecting a signal that is related to a parameter of the plasma, and a power modulator for causing a modulation of the power for forming the plasma in response to the signal.

Abstract translation: 用于控制用于材料处理的等离子体的方法包括产生用于形成电负离子的功率，检测与等离子体的参数相关的信号，以及调制响应于该信号产生的功率。 功率的调制导致等离子体参数的不稳定性的降低。 用于控制材料处理电负性等离子体的装置包括用于检测与等离子体的参数相关的信号的信号检测器和用于响应于该信号而形成等离子体的功率的调制的功率调制器。

公开(公告)号：WO1989012948A1

公开(公告)日：1989-12-28

申请号：PCT/US1989002714

申请日：1989-06-21

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. ,  SMITH, Donald, K.

IPC: H05B06/70

CPC classification number: H05B6/802

Abstract: A microwave reactive gas generator (10) including a microwave power source (14) with a waveguide (12) coupled to the power source (14) for transmitting microwave radiation. A cavity (22) for establishing a microwave mode is attached to the waveguide (12), and there is a passage tube (24) through the cavity (22) transverse to the direction of propagation of the microwave radiation in the waveguide (12) for passing the gas to be excited through the cavity (22). The generator (10) also includes a device (16, 18, 20) for matching the impedance of the load to the microwave power source. The cavity (22) couples the microwave power from the waveguide (12) to the passage tube (24) to energize the gas into a reactive state.

公开(公告)号：WO2003091815A1

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：PCT/US2003/012973

申请日：2003-04-25

Applicant: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： FITTKAU, Jens ,  SEIWERT, Johannes ,  GOTTSCHALK, Christine

IPC: G05D21/02

CPC classification number: G05D11/132 ,  B01F3/04496 ,  B01F5/0603 ,  B01F5/0606 ,  B01F2003/04886 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/78 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/40 ,  G05D11/139 ,  Y10S134/902 ,  Y10S261/42

Abstract: The invention features an apparatus and a method for supplying ozonated water to more than one process tool. Ozonated water of a first concentration received from an ozonated water generator and water received from a source are mixed to produce ozonated water of a second concentration. The ozonated water of a second concentration is supplied to a frst process tool. Ozonated water from the ozonated water generator is supplied to a second process tool while supplying the ozonated water of the second concentration to the first process tool.

Abstract translation: 本发明的特征在于将臭氧水提供给多于一种的加工工具的装置和方法。 将从臭氧发生器接收的第一浓度的臭氧水和从源收集的水混合，以产生第二浓度的臭氧化水。 将第二浓度的臭氧水提供给第一工艺工具。 将来自臭氧水发生器的臭氧水供应到第二处理工具，同时将第二浓度的臭氧化水供应到第一处理工具。

公开(公告)号：US20030213559A1

公开(公告)日：2003-11-20

申请号：US10151722

申请日：2002-05-20

Applicant: Applied Science and Technology, Inc.

Inventor： Daniel Goodman

IPC: H01L021/306 ,  C23C016/00

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3299

Abstract: A method for controlling a plasma used for materials processing includes generating a power for forming an electronegative plasma, detecting a signal that is related to a parameter of the plasma, and modulating the power generated in response to the signal. Modulation of the power causes a reduction in an instability of the parameter of the plasma. An apparatus for controlling a materials processing electronegative plasma includes a signal detector for detecting a signal that is related to a parameter of the plasma, and a power modulator for causing a modulation of the power for forming the plasma in response to the signal.

Abstract translation: 用于控制用于材料处理的等离子体的方法包括产生用于形成电负离子的功率，检测与等离子体的参数相关的信号，以及响应于该信号调制产生的功率。 功率的调制导致等离子体参数的不稳定性的降低。 用于控制材料处理电负性等离子体的装置包括用于检测与等离子体的参数相关的信号的信号检测器和用于响应于该信号而形成等离子体的功率的调制的功率调制器。

公开(公告)号：TW200428912A

公开(公告)日：2004-12-16

申请号：TW093104434

申请日：2004-02-23

Applicant: 應用科學及技術股份有限公司 APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： 丹尼爾古德曼 GOODMAN, DANIEL

IPC: H05H

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32082

Abstract: 本發明提供一種射頻電漿產生系統、運作該系統之方法、校準該系統之方法、以及校準裝置，該射頻電漿產生系統包括一阻抗匹配網路，該阻抗匹配網路具有一輸入端及一輸出端，該輸入端用以接收源自於一射頻產生器的一射頻信號，該輸出端用以傳送該射頻信號至有關一負載之一電漿容置器的一輸入端；該系統包括電磁連接於該阻抗匹配網路之該輸入端，用以偵測有關該阻抗匹配網路之該輸入端上的該射頻信號之至少一射頻信號參數，該系統亦包括儲存一校準資料的一校準儲存單元，該校準資料包括該射頻信號參數之值和該負載之至少一特性之值的一組合。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种射频等离子产生系统、运作该系统之方法、校准该系统之方法、以及校准设备，该射频等离子产生系统包括一阻抗匹配网络，该阻抗匹配网络具有一输入端及一输出端，该输入端用以接收源自于一射频产生器的一射频信号，该输出端用以发送该射频信号至有关一负载之一等离子容置器的一输入端；该系统包括电磁连接于该阻抗匹配网络之该输入端，用以侦测有关该阻抗匹配网络之该输入端上的该射频信号之至少一射频信号参数，该系统亦包括存储一校准数据的一校准存储单元，该校准数据报括该射频信号参数之值和该负载之至少一特性之值的一组合。

公开(公告)号：TW200505292A

公开(公告)日：2005-02-01

申请号：TW093110545

申请日：2004-04-15

Applicant: 應用科學暨科技公司 APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： 席格 陳 CHEN, XING ,  安德魯B 考威 COWE, ANDREW B. ,  馬修M 畢森 BESEN, MATTHEW M. ,  羅納德W 康利恩 二世 COLLINS JR., RONALD W. ,  蘇珊C 妥利 TRULLI, SUSAN C. ,  邵壽潛 SHAO, SHOUQIAN ,  威廉M 豪博 HOLBER, WILLIAM M.

IPC: H05H ,  H01J

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32467 ,  H01J37/32522

Abstract: 本發明揭示一種用於電漿系統之電漿點火與冷卻設備及方法。一設備可包括一容器及至少一鄰近該容器之點火電極。該至少一點火電極之尺寸的總長度大於該容器通道之長度的10％。該設備可包括一介電質環形容器；一散熱器，其具有藉由一彈簧負載機構向前推進之多個區段；以及一熱介面，其位於該容器與該散熱器之間。一方法可包括提供具有一流量與一壓力之一氣體並將該氣體之該流量的一部分導入一容器通道。在該通道中點燃該氣體，同時將該流量之其餘部分導離該通道。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用于等离子系统之等离子点火与冷却设备及方法。一设备可包括一容器及至少一邻近该容器之点火电极。该至少一点火电极之尺寸的总长度大于该容器信道之长度的10％。该设备可包括一介电质环形容器；一散热器，其具有借由一弹簧负载机构向前推进之多个区段；以及一热界面，其位于该容器与该散热器之间。一方法可包括提供具有一流量与一压力之一气体并将该气体之该流量的一部分导入一容器信道。在该信道中点燃该气体，同时将该流量之其余部分导离该信道。

公开(公告)号：TW200606611A

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：TW093123712

申请日：2004-08-06

Applicant: 應用科學暨科技公司 APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC.

Inventor： 捷克O 丁恩 DEEM, JAKE O. ,  丹 蘇琳格 THURINGER, DAN

IPC: G05F

Abstract: 本發明大致有關穩定化一放大器。在一觀點中，其提供能與該放大器電溝通的一穩定化模組。該穩定化模組包括一開迴路控制系統與一閉迴路控制系統。該開迴路控制系統能用來修改該穩定化模組接收的一輸入信號的至少一特性，並將控制傳遞給該閉迴路控制系統。該閉迴路控制系統然後用來修改該輸入信號的至少一特性。該修改的輸入信號能提供給放大器。

Abstract in simplified Chinese: 本发明大致有关稳定化一放大器。在一观点中，其提供能与该放大器电沟通的一稳定化模块。该稳定化模块包括一开回路控制系统与一闭回路控制系统。该开回路控制系统能用来修改该稳定化模块接收的一输入信号的至少一特性，并将控制传递给该闭回路控制系统。该闭回路控制系统然后用来修改该输入信号的至少一特性。该修改的输入信号能提供给放大器。