公开(公告)号：WO2009089499A3

公开(公告)日：2009-10-08

申请号：PCT/US2009030671

申请日：2009-01-09

Applicant: FEI CO ,  UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

Inventor： UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0279 ,  G03F1/84 ,  H01J37/228 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3056 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/2633

Abstract: A multibeam system in which a charged particle beam and one or more additional beams can be directed to the target within a single vacuum chamber. A first beam column preferably produces a beam for rapid processing, and a second beam column produces a beam for more precise processing. A third beam column can be used to produce a beam useful for forming an image of the sample while producing little or no change in the sample.

公开(公告)号：WO2009089499A2

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：PCT/US2009030671

申请日：2009-01-09

Applicant: FEI CO ,  UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

Inventor： UTLAUT MARK W ,  SMITH NOEL ,  TESCH PAUL P ,  MILLER TOM ,  NARUM DAVID H ,  HENRY CRAIG ,  HONG LIANG ,  STONE STACEY ,  TUGGLE DAVID

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0279 ,  G03F1/84 ,  H01J37/228 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3056 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/2633

Abstract: A multibeam system in which a charged particle beam and one or more additional beams can be directed to the target within a single vacuum chamber. A first beam column preferably produces a beam for rapid processing, and a second beam column produces a beam for more precise processing. A third beam column can be used to produce a beam useful for forming an image of the sample while producing little or no change in the sample.

Abstract translation: 多光束系统，其中带电粒子束和一个或多个附加光束可以在单个真空室内被引导到目标物。 第一梁柱优选地产生用于快速加工的梁，并且第二梁柱产生用于更精确加工的梁。 可以使用第三光束柱来产生用于形成样品图像的光束，同时产生很少或没有变化的样品。

公开(公告)号：WO2008049133A2

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：PCT/US2007/082163

申请日：2007-10-22

Applicant: FEI COMPANY ,  BLACKWOOD, Jeff ,  STONE, Stacey ,  ARJAVAC, Jason

Inventor： BLACKWOOD, Jeff ,  STONE, Stacey ,  ARJAVAC, Jason

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 新颖的样品结构和铣削图案的新颖应用允许产生薄至50nm的S / TEM样品，而没有显着的弯曲或翘曲。 本发明的优选实施方案提供了部分或全部自动化TEM样品制备的方法，使TEM样品的创建和分析过程减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

公开(公告)号：WO2008051937A2

公开(公告)日：2008-05-02

申请号：PCT/US2007082159

申请日：2007-10-22

Applicant: FEI CO ,  BLACKWOOD JEFF ,  STONE STACEY

Inventor： BLACKWOOD JEFF ,  STONE STACEY

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 基于机器视觉的计量和图像识别，高精度基准标记和自动基准放置的组合被用于显着提高薄片放置精度和精度。 本发明的优选实施方案提供了部分或全部自动化TEM样品制备的方法，使TEM样品的创建和分析过程减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

公开(公告)号：WO2008051937A3

公开(公告)日：2008-05-02

申请号：PCT/US2007/082159

申请日：2007-10-22

Applicant: FEI COMPANY ,  BLACKWOOD, Jeff ,  STONE, Stacey

Inventor： BLACKWOOD, Jeff ,  STONE, Stacey

IPC: G01R31/305

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

公开(公告)号：WO2008049133A3

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：PCT/US2007082163

申请日：2007-10-22

Applicant: FEI CO ,  BLACKWOOD JEFF ,  STONE STACEY ,  ARJAVAC JASON

Inventor： BLACKWOOD JEFF ,  STONE STACEY ,  ARJAVAC JASON

IPC: G01R31/305

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 新颖的样品结构和铣削图案的新颖应用允许产生薄至50nm的S / TEM样品，而没有显着的弯曲或翘曲。 本发明的优选实施方案提供了部分或全部自动化TEM样品制备的方法，使TEM样品的创建和分析过程减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。