公开(公告)号：WO2017175957A1

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：PCT/KR2017/000641

申请日：2017-01-19

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  김신근 ,  이희관 ,  최지현 ,  김수학

IPC: A61B5/0478 ,  A61B5/04 ,  A61B5/00

CPC classification number: A61B5/00 ,  A61B5/04 ,  A61B5/0478

Abstract: 박막형 유연 기재; 상기 박막형 유연 기재 상에 형성된 전도성 물질, 접지전극, 기록전극 및 상호접속패드; 제1 커넥터 또는 제1 무선 통신 모듈; 및 제1 PCB 기판을 포함하며, 상기 접지전극과 상기 기록전극은 상기 전도성 물질을 통해 상기 상호접속패드에 연결되고, 상기 상호접속패드는 상기 제1 PCB 기판의 일면에 고정되어 상기 제1 커넥터 또는 제1 무선 통신 모듈과 연결되는, EEG 측정용 다채널 미세전극이 제공된다. 본 발명에 따르면, 마이크로미터 수준 두께의 박막형 유연 기재로 만들어진 미세 전극을 탈착의 염려없이 커넥터에 연결할 수 있어, 피검체의 움직임에 구애받지 않고 안정적으로 EEG를 측정할 수 있다.

Abstract translation: 薄膜型柔性基板; 在薄膜柔性基板上形成的导电材料，接地电极，记录电极和互连焊盘; 第一连接器或第一无线通信模块; 和第一包括PCB板，所述接地电极和所述记录电极通过所述导电材料被连接到互连焊盘，所述互连焊盘被固定到第一印刷电路板基板的一个表面上，所述第一连接器或 提供了用于EEG测量的多通道微电极，其连接到第一无线通信模块。 根据本发明，它是在微米级厚度制成薄膜状的柔性基板的微电极可以连接到连接器，而无需解吸的关注，它是能够测量EEG可靠不管被检体的运动的。

公开(公告)号：KR101604307B1

公开(公告)日：2016-03-18

申请号：KR1020140192392

申请日：2014-12-29

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  이종근 ,  이근우 ,  이병오 ,  이희관 ,  이용수 ,  김신근 ,  최지현

IPC: A61N5/06

CPC classification number: A61N5/0622 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/04001 ,  A61B5/04009 ,  A61B5/0484 ,  A61B5/4064 ,  A61N5/0601

Abstract: 본발명은마이크로탐침의제조방법및 그에의해제조된마이크로탐침에관한것으로서, 본체와, 상기본체의전면에도파로가형성되어, 광원을발광시켜광자극을유도하는마이크로탐침의제조방법에있어서, 기판상의일부영역에식각공정에의한도파로형태의패턴을형성하는제1단계와, 상기도파로형태의패턴영역에코아(core)와클래드(clad)를형성하여도파로를형성하는제2단계와, 상기도파로와본체와의경계면에광원과도파로의커플링을위한리플렉터를코팅하는제3단계와, 상기리플렉터상부에상기리플렉터를향해하향발광하도록광원을형성하는제4단계와, 상기기판에탐침형성을위한패턴을형성하여, 탐침모양의패턴을분리하는제5단계를포함하여이루어진것을특징으로하는하향발광방식의광원이도파로에커플링된마이크로탐침의제조방법및 그에의해제조된마이크로탐침을기술적요지로한다. 이에의해광원에의한빛이도파로를통해탐침의끝단부로제공되어광자극을유도하는것으로서, 탐침상에광원을포함하는전기적인회로구성이없어전자기장발생으로부터자유로우며, 탐침상에광원을하향발광되도록집적하여리플렉터에의해광원을도파로에직접커플링(direct coupling)시켜, 설계조건이까다롭지않아용이하게제작할수 있으며, 생산성및 경제성이향상되는이점이있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种微探针的制造方法及其制造的微型探针。 在制造包括主体和形成在主体前面的波导以引起光刺激的微型探针的方法中，制造具有向下的发光型光源耦合波导的微型探针的方法根据 本发明包括：通过蚀刻工艺在基板上的部分区域中形成波导形图案的第一步骤; 在波导形图案区域中形成芯和包层以形成波导的第二步骤; 在波导和主体的边界表面上涂覆用于耦合光源和波导的反射器的第三步骤; 在反射器的顶部上形成光源以使得光源向下发射到反射器的第四步骤; 以及在基板上形成用于形成探针的图案以分离探针形图案的第五步骤。 具有根据本发明的向下发光型光源耦合波导的微探针通过制造微型探针的方法制造。 根据本发明的微型探针通过波导将光源的光提供到探针的端部以引起光刺激，并且不产生电磁场而不包括包括光的电路的构造 探头上的源头。 根据本发明的微型探针的制造方法能够容易地制造微型探针，并且提高生产率和经济可行性，因为通过收集光源使得探针上的光源发射的设计条件不复杂 向下并使得反射器能够执行光源与波导的直接耦合。

公开(公告)号：KR101528558B1

公开(公告)日：2015-06-15

申请号：KR1020140030449

申请日：2014-03-14

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  최지현 ,  강호관 ,  김신근 ,  박범두

IPC: A61B5/0484 ,  A61B5/0478

Abstract: 본발명은마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침의제조방법에있어서, 기판을준비하는제1단계와, 상기기판상의일부영역에마이크로칩을형성하는제2단계와, 상기기판상에형성하며, 상기마이크로칩과전기적으로연결된금속배선전극을형성하는제3단계와, 상기마이크로칩과, 상기기판상의전 영역및 상기금속배선전극을감싸도록절연막을형성하는제4단계와, 상기기판에탐침형성을위한패턴을형성하는제5단계와, 상기기판의두께를낮추기위해폴리싱또는에칭하는제6단계와, 상기기판상에서탐침모양의패턴을분리하는제7단계를포함하여이루어진것을특징으로하는마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침의제조방법및 그에의해제조된마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은기판상에마이크로칩을모놀리식집적화하여탐침을기판화하여제작함으로써탐침의두께가줄어들어의학적효용성이높아지고, 따로기판소재가소모되지않고공정이단순하여제품의단가를낮출수 있는이점이있다.

Abstract translation: 本发明提供一种具有单片集成微芯片的探针和由其制造的微芯片的制造方法。 本发明的制造方法包括：准备基板的第一工序; 在所述基板上的区域中形成微芯片的第二步骤; 形成与所述基板上的所述微芯片电连接的金属布线电极的第三工序; 形成绝缘膜以包裹微芯片，基板的所有区域和金属布线电极的第四步骤; 在衬底上形成用于形成探针的图案的第五步骤; 用于减小基板的厚度的第六步骤; 以及将探针形状的图案与基板分开的第七步骤。 因此，本发明通过将微芯片整体集成在基板上来使探针成为基板，以减小探针的厚度，并增加医疗用途。 本发明还可以通过简单的工艺降低产品的单价，而不消耗单独的基材。

公开(公告)号：KR101749511B1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：KR1020160041683

申请日：2016-04-05

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  김신근 ,  이희관 ,  최지현 ,  김수학

IPC: A61B5/0478 ,  A61B5/04 ,  A61B5/00

CPC classification number: A61B5/00 ,  A61B5/04 ,  A61B5/0478 ,  A61B5/0006 ,  A61B5/04004 ,  A61B2562/166

Abstract: 박막형유연기재; 상기박막형유연기재상에형성된전도성물질, 접지전극, 기록전극및 상호접속패드; 제1 커넥터또는제1 무선통신모듈; 및제1 PCB 기판을포함하며, 상기접지전극과상기기록전극은상기전도성물질을통해상기상호접속패드에연결되고, 상기상호접속패드는상기제1 PCB 기판의일면에고정되어상기제1 커넥터또는제1 무선통신모듈과연결되는, EEG 측정용다채널미세전극이제공된다. 본발명에따르면, 마이크로미터수준두께의박막형유연기재로만들어진미세전극을탈착의염려없이커넥터에연결할수 있어, 피검체의움직임에구애받지않고안정적으로 EEG를측정할수 있다.